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本实用新型提供一种内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，包括内部可供镀膜管通过的连续镀膜室，所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述固定套管的两端设有真空密封阀，并且设有贯通内外的抽气口与布气管；所述靶材具有数个并且...
该专利属于河北道荣新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北道荣新能源科技有限公司授权不得商用。

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