晶圆映射传感器的安装机构制造技术

本发明专利技术涉及半导体附属设备领域，提供晶圆映射传感器的安装机构。该安装机构包括：轴承座组件，包括轴承座板和设于轴承座板下的直线滑轨以及一对安装孔；推板，推板设有沿其长度方向延伸并朝向其宽度方向倾斜的斜槽；驱动机构，驱动机构与推板连接；滑块，固设有第一连接轴并安装在斜槽中，滑块与直线滑轨滑动连接，滑块上设有一对长槽孔；一对驱动转臂组件，包括驱动转臂，驱动转臂设有转动端和安装端，转动端固设有第二连接轴，驱动转臂通过对应的第二连接轴安装在滑块的长槽孔中；一对转轴组件；一对安装转臂，安装转臂与转轴组件连接并用于安装传感器。本发明专利技术能够避免旋转空间与晶圆所处空间相交，导致出现与晶圆碰撞事故的问题。

Installation mechanism of wafer mapping sensor

【技术实现步骤摘要】
晶圆映射传感器的安装机构
本专利技术涉及半导体附属设备
，尤其涉及晶圆映射传感器的安装机构。
技术介绍
目前半导体附属设备晶圆加载机(Loadport)基本都包含有晶圆映射功能，通过一对传感器检测晶圆的数量和状态，由于动作要求，需要传感器的安装机构在工作过程中可实现前、后两个不同的工作位置的转换。现有技术中，主要有两种可改变传感器位置的安装机构。一种是安装机构带动传感器直接前后移动以实现改变工作位置要求；另一种是安装机构带动传感器转动以实现改变工作位置要求。然而，在带动传感器前后移动以实现改变工作位置要求的方案中，由于传感器安装支架较长，执行端和驱动端距离太远，导致整个机构刚性差，容易导致传感器在工作过程中发生抖动，从而导致检测结果出现错误。在带动传感器转动以实现改变工作位置要求的方案中，通常将传感器安装到一个横臂上，通过两个转臂带动横臂完成旋转动作，横臂旋转空间与晶圆所处空间相交，容易出现与晶圆碰撞事故。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术实施例提出一种晶圆映射传感器的安装机构，能够避免旋转空间与晶圆所处空间相交，导致出现与晶圆碰撞事故的问题。根据本专利技术实施例的晶圆映射传感器的安装机构，包括：轴承座组件，包括轴承座板和沿所述轴承座板的宽度方向设于所述轴承座板的下表面的直线滑轨，所述轴承座板位于所述直线滑轨的两侧分别设有一安装孔；推板，所述推板设有沿其长度方向延伸并朝向其宽度方向倾斜的斜槽；驱动机构，所述驱动机构连接在所述推板位于长度方向的一端；滑块，固设有第一连接轴，所述第一连接轴远离所述滑块的一端设有第一辊轮，所述滑块通过所述第一辊轮安装在所述斜槽中，所述滑块与所述直线滑轨滑动连接，所述滑块位于其长度方向的两端分设有沿其长度方向延伸的长槽孔；一对驱动转臂组件，每个所述驱动转臂组件包括驱动转臂，所述驱动转臂设有转动端和安装端，所述转动端固设有第二连接轴，所述第二连接轴远离所述驱动转臂的一端设有第二辊轮，所述驱动转臂通过对应的所述第二辊轮安装在所述滑块的长槽孔中；一对转轴组件；一对安装转臂，每个所述安装转臂包括转动端和安装端，所述安装转臂的转动端通过所述转轴组件与所述驱动转臂的安装端连接，所述安装转臂的安装端用于安装传感器。本专利技术实施例的晶圆映射传感器的安装机构，通过驱动机构的伸缩带动推板沿推板的长度方向来回移动，通过斜槽和滑块上的第一辊轮带动滑块在直线滑轨上沿推板的宽度方向移动，此时通过滑块上的长槽孔与驱动转臂上的第二辊轮，将滑块沿推板宽度方向的滑动转换为驱动转臂的转动，进而转换为两个安装转臂的转动，即可满足该晶圆映射传感器的安装机构在工作过程中前、后两个不同的工作位置的转换要求，安装转臂转动过程中，安装转臂的旋转区域与晶圆所在区域分开，消除了晶圆碰撞事故发生的隐患。根据本专利技术的一个实施例，所述转轴组件包括转轴和固定套设在所述转轴上的轴承，所述轴承的上端设有轴承端盖，所述轴承端盖的内周挡设在所述轴承的外圈处，所述转轴靠近所述轴承端盖的一端与所述安装转臂的转动端固定连接；所述转轴靠近所述轴承的一端与所述驱动转臂的安装端固定连接，所述轴承的外圈固定在所述轴承座板的安装孔中。根据本专利技术的一个实施例，所述驱动转臂的安装端设有安装座，所述转轴靠近所述轴承的一端固定插装在所述安装座中。根据本专利技术的一个实施例，所述轴承座板朝向晶圆所在区域的一侧分别设有用于所述安装转臂限位的限位柱。根据本专利技术的一个实施例，所述安装转臂用于安装所述传感器的一端设为朝向晶圆所在区域弯折的弯折段。根据本专利技术的一个实施例，所述滑块上的长槽孔为与所述驱动转臂的端部连通的开口槽，所述第二辊轮的外表面与所述开口槽的内壁面相切。根据本专利技术的一个实施例，所述第一辊轮和第二辊轮均为滚动轴承。根据本专利技术的一个实施例，所述驱动机构通过支撑座安装在所述轴承座板的下表面，所述驱动机构的长度方向沿所述轴承座板的长度方向。根据本专利技术的一个实施例，所述驱动机构为驱动气缸，所述驱动气缸外罩设有护罩。根据本专利技术的一个实施例，一对所述安装孔关于所述直线滑轨的轴线呈中心对称设置；所述推板包括水平板和设于所述水平板一侧的竖直板，所述斜槽设于所述水平板，所述驱动机构与所述竖直板连接。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例晶圆映射传感器的安装机构整体安装后的结构示意图；图2是图1的爆炸示意图；图3是本专利技术实施例晶圆映射传感器的安装机构中转轴组件的剖视示意图；图4是本专利技术实施例晶圆映射传感器的安装机构中轴承座组件的拆分示意图；图5是本专利技术实施例晶圆映射传感器的安装机构中驱动转臂组件的结构示意图。附图标记：1：轴承座组件；2：第一安装转臂；3：转轴组件；4：第二安装转臂；5：驱动转臂组件；6：滑块；7：第一辊轮；8：推板；9：支撑座；10：驱动机构；11：转轴；12：轴承端盖；13：轴承；14：轴承座板；15：直线滑轨；16：限位柱；17：驱动转臂；18：安装座；19：晶圆所在区域；20：第二辊轮。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不能用来限制本专利技术的范围。在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术实施例中的具体含义。在本专利技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆映射传感器的安装机构，其特征在于，包括：/n轴承座组件，包括轴承座板和沿所述轴承座板的宽度方向设于所述轴承座板的下表面的直线滑轨，所述轴承座板位于所述直线滑轨的两侧分别设有一安装孔；/n推板，所述推板设有沿其长度方向延伸并朝向其宽度方向倾斜的斜槽；/n驱动机构，所述驱动机构连接在所述推板位于长度方向的一端；/n滑块，固设有第一连接轴，所述第一连接轴远离所述滑块的一端设有第一辊轮，所述滑块通过所述第一辊轮安装在所述斜槽中，所述滑块与所述直线滑轨滑动连接，所述滑块位于其长度方向的两端分设有沿其长度方向延伸的长槽孔；/n一对驱动转臂组件，每个所述驱动转臂组件包括驱动转臂，所述驱动转臂设有转动端和安装端，所述转动端固设有第二连接轴，所述第二连接轴远离所述驱动转臂的一端设有第二辊轮，所述驱动转臂通过对应的所述第二辊轮安装在所述滑块的长槽孔中；/n一对转轴组件；/n一对安装转臂，每个所述安装转臂包括转动端和安装端，所述安装转臂的转动端通过所述转轴组件与所述驱动转臂的安装端连接，所述安装转臂的安装端用于安装传感器。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆映射传感器的安装机构，其特征在于，包括：
轴承座组件，包括轴承座板和沿所述轴承座板的宽度方向设于所述轴承座板的下表面的直线滑轨，所述轴承座板位于所述直线滑轨的两侧分别设有一安装孔；
推板，所述推板设有沿其长度方向延伸并朝向其宽度方向倾斜的斜槽；
驱动机构，所述驱动机构连接在所述推板位于长度方向的一端；
滑块，固设有第一连接轴，所述第一连接轴远离所述滑块的一端设有第一辊轮，所述滑块通过所述第一辊轮安装在所述斜槽中，所述滑块与所述直线滑轨滑动连接，所述滑块位于其长度方向的两端分设有沿其长度方向延伸的长槽孔；
一对驱动转臂组件，每个所述驱动转臂组件包括驱动转臂，所述驱动转臂设有转动端和安装端，所述转动端固设有第二连接轴，所述第二连接轴远离所述驱动转臂的一端设有第二辊轮，所述驱动转臂通过对应的所述第二辊轮安装在所述滑块的长槽孔中；
一对转轴组件；
一对安装转臂，每个所述安装转臂包括转动端和安装端，所述安装转臂的转动端通过所述转轴组件与所述驱动转臂的安装端连接，所述安装转臂的安装端用于安装传感器。


2.根据权利要求1所述的晶圆映射传感器的安装机构，其特征在于，所述转轴组件包括转轴和固定套设在所述转轴上的轴承，所述轴承的上端设有轴承端盖，所述轴承端盖的内周挡设在所述轴承的外圈处，所述转轴靠近所述轴承端盖的一端与所述安装转臂的转动端固定连接；所述转轴靠近所述轴承的一端与所述驱动转臂的安装端固定连接，所述轴承的外圈固定在所述轴承座板的安装孔中。

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【专利技术属性】
技术研发人员：刘洪亮，卢俊男，梁明亮，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11