【技术实现步骤摘要】
一种手动上光阻上片载具
本专利技术涉及半导体领域，具体而言涉及一种手动上光阻上片载具。
技术介绍
在半导体的制造过程中，使用镊子夹取晶圆放置在旋转平台上，然后使用镊子推晶圆侧面使晶圆圆心位置尽量在旋转平台中心。整个操作过程易造成晶圆表面的夹伤，亦存在掉片的风险。
技术实现思路
本专利技术以设计制造一种手动上光阻上片载具以取代镊子夹取的动作，旨在有效的降低晶圆破片及夹伤风险，大幅降低成本损失。为了实现以上目的，本专利技术采取以下方案：一种手动上光阻上片载具，包括取片手柄和限位弧块，取片手柄一端设置有C型开口槽；另一端为把手，所述C型开口槽上固定有晶圆存放槽，限位弧块固定在取片手柄上，且可外切紧密连接在设备旋转平台外，限位弧块圆心、C型开口槽中心与设备上旋转平台中心重合。优选的，晶圆存放槽为C型开口槽与内接的C型凸起环构成，所述C型凸起环的开口宽度小于晶圆的直径，晶圆存放槽可以存放晶圆。优选的，C型凸起环上至下设有至少两个台阶，最上层台阶存放晶圆。优选的，C型凸起环由不...
【技术保护点】
1.一种手动上光阻上片载具，其特征在于，包括取片手柄和限位弧块，所述取片手柄一端设置有C型开口槽；另一端为把手，所述C型开口槽上固定有晶圆存放槽，所述限位弧块固定在所述取片手柄上，且可外切紧密连接在设备旋转平台外，限位弧块圆心、C型开口槽中心与设备上旋转平台中心重合。/n
【技术特征摘要】
1.一种手动上光阻上片载具，其特征在于，包括取片手柄和限位弧块，所述取片手柄一端设置有C型开口槽；另一端为把手，所述C型开口槽上固定有晶圆存放槽，所述限位弧块固定在所述取片手柄上，且可外切紧密连接在设备旋转平台外，限位弧块圆心、C型开口槽中心与设备上旋转平台中心重合。
2.根据权利要求1所述的手动上光阻上片载具，其特征在于，所述晶圆存放槽为C型开口槽与内接的C型凸起环构成，所述C型凸起环的开口宽度小于晶圆的直径。
3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁康，
申请(专利权)人：江苏索尔思通信科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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