温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种手动上光阻上片载具包括取片手柄和限位弧块，所述取片手柄一端设置有C型开口槽；另一端为把手，所述C型开口槽上固定有晶圆存放槽，所述限位弧块固定在所述取片手柄上，且可外切紧密连接在设备旋转平台外，限位弧块圆心、C型开口槽中心与设...
该专利属于江苏索尔思通信科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏索尔思通信科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。