【技术实现步骤摘要】
被加工物自动搬运车
本专利技术涉及对加工装置以自动的方式搬运被加工物的被加工物自动搬运车。
技术介绍
在组装至电子设备等的器件芯片的制造工序中,通过各种加工装置对以半导体晶片、树脂封装基板为代表的板状的被加工物进行加工。在对该加工装置搬运被加工物时,例如大多情况下使用包含以自动方式搬运被加工物的被加工物自动搬运车的搬运系统(例如,参照专利文献1和专利文献2)。专利文献1:日本特开平10-250836号公报专利文献2:日本特开平10-320049号公报但是,在上述那样的包含被加工物自动搬运车的搬运系统中,无需对被加工物的搬运的状况进行确认的操作者,但另一方面,由于操作者不在场而无法适当地发现被加工物自动搬运车的碰撞等事故。因此,例如有时即使由于被加工物自动搬运车的碰撞等事故而使搬运中的被加工物破损,也未注意到该破损而继续对被加工物进行搬运,从而在破损的状态下进行加工。另外,也无法证明未产生这样的事故。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该问题点而完成的,其目的在于提供被加工物自动搬运车, ...
【技术保护点】
1.一种被加工物自动搬运车,其被包含在对多个加工装置分别搬运被加工物的搬运系统中,其中,/n该被加工物自动搬运车具有:/n被加工物支承部,其对该被加工物进行支承;/n行驶机构,其设置于该被加工物支承部;/n振动检测单元,其检测该被加工物支承部的振动并作为振动数据进行记录;以及/n接收机,其接收从该搬运系统所包含的控制单元发送的控制信号,该控制信号指示将该被加工物向该加工装置进行搬运。/n
【技术特征摘要】
20180718 JP 2018-1352271.一种被加工物自动搬运车,其被包含在对多个加工装置分别搬运被加工物的搬运系统中,其中,
该被加工物自动搬运车具有:
被加工物支承部,其对该被加工物进行支承;
行驶机构,其设置于该被加工物支承部;
振动检测单元,其检测该被加工物支承部的振动并作为振动数据进行记录;以及
接收机,其接收从该搬运系统所包含的控制单元发送的控制信号,该控制信号指示将该被加工物向该加工装置进行搬运。
2.根据权利要求1所述的被加工物自...
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