磨削装置制造方法及图纸

磨削装置(1)具有在水平滑动面(42h)配置多个静压腔(42p)，从泵(50)向各静压腔(42p)供给流体而滑动支承砂轮座(42)的静压支承构造，磨削装置(1)具备：对砂轮(43)的上下方向的振动量进行测定的浮起传感器35以及砂轮轴传感器(36)；改变从泵(50)向各静压腔(42p)供给的流体的流量的电磁可变节流阀(60)；以及以减少由浮起传感器(35)以及砂轮轴传感器(36)测定的砂轮(43)的上下方向振动量的方式，控制电磁可变节流阀(60)来调整向各静压腔(42p)供给的流体的流量的控制部(30)。

Grinding device

【技术实现步骤摘要】
磨削装置
本专利技术涉及磨削装置。
技术介绍
一般在用于磨削加工的砂轮中存在质量的不平衡。因此，公知有在利用磨削装置使砂轮高速旋转的情况下，由于由砂轮的质量不平衡引起的振动，加工品质恶化，或装置产生故障。因此，以往为了获得砂轮的平衡，测定砂轮的不平衡的方向以及大小，基于该测定结果，对砂轮适当地附加重物。并且，提出了在砂轮的内部安装具备重物和使该重物移动的马达等移动机构的自动平衡器从而获得平衡的装置。例如参照日本特开2003-103459号公报。在重物安装于上述砂轮的方法中，除了需要平衡测定用的测定器之外，而且为了高精度地取得平衡还需要很多的经验，所以存在难以自动化这样的问题，但在使用了自动平衡器的装置中，能够自动地抑制不平衡振动。然而，在使用了上述自动平衡器的现有技术中，是将自动平衡器安装在砂轮轴的构造，需要确保安装位置，或重量变大，所以存在妨碍砂轮轴的小型化/轻量化这样的问题。并且，在由自动平衡器进行的平衡修正中，还存在无法抑制修正质量的定位分辨率以下的振动这样的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种以利用了静压支承构造的简单的构成而能够抑制振动的磨削装置。本专利技术的一实施方式的磨削装置具备：主轴箱，其旋转驱动工件；固定体，其具有引导面；砂轮座，其旋转驱动砂轮并且具有与上述引导面对置的滑动面；流体供给部，其向上述引导面与上述滑动面之间供给流体；以及驱动部，其使经由上述流体被上述固定体支承为能够滑动的上述砂轮座、相对于上述主轴箱沿着引导方向而相对移动。上述磨削装置分别使上述工件和上述砂轮旋转并且使上述砂轮相对于上述工件相对移动，由此磨削上述工件。构成了在上述滑动面配置多个静压腔，从上述流体供给部向上述各静压腔供给上述流体并滑动支承上述砂轮座的静压支承构造。上述磨削装置还具备：振动量传感器，其对上述砂轮的上下方向的振动量进行测定；流量可变部，其改变从上述流体供给部向上述各静压腔供给的上述流体的流量；以及控制部，其以减少由上述振动量传感器测定的上述砂轮的上下方向振动量的方式，控制上述流量可变部来调整向上述各静压腔供给的上述流体的流量。根据该结构，在滑动面配置多个静压腔，从流体供给部向各静压腔供给流体并滑动支承砂轮座的静压支承构造中，控制部控制流量可变部来调整向各静压腔供给的流体的流量，由此能够减少由振动量传感器测定的砂轮的上下方向振动量。因此，能够以利用了静压支承构造的简单的构成来抑制振动抑制。特别是，与使用了自动平衡器的以往构成比较，能够实现装置的小型化/轻量化。附图说明本专利技术的前述和其他特征和优点将从以下参照附图的实施方式的描述中变得清楚，附图中相同标号用来表示相同元件，附图中：图1是实施方式的磨削装置的俯视图。图2是表示实施方式的磨削装置的静压支承构造的局部剖面侧视图。图3是示意性表示实施方式的静压腔与电磁可变节流阀的配置的砂轮座的俯视图。图4是表示实施方式的电磁可变节流阀以及砂轮座的静压腔周边的剖视图。图5是表示实施方式的磨削装置的动作的流程的流程图。图6是用于说明砂轮的不平衡相位以及不平衡量的说明图。图7是表示浮起量的变动以及流量调整模式的一个例子的说明图。具体实施方式以下，参照附图来说明将本专利技术具体化了的磨削装置的实施方式。如图1所示，本实施方式磨削装置1是具备床身10、工作台11、主轴箱13、尾架17、控制部30、砂轮支承装置40、以及泵50等而构成的圆筒磨床。工作台11以通过Z轴伺服马达12能够在Z轴方向(图1的左右方向)移动的方式被引导支承在床身10上。在工作台11上设置以能够旋转的方式轴支承主动轴(mastershaft)Cm的主轴箱13，在主动轴Cm的前端安装支承工件W的一端的中央部14。主动轴Cm利用进退驱动装置15在轴线方向进退规定量，并且被主伺服马达16旋转驱动。并且，在工作台11上在与主轴箱13对置的位置设置尾架17。该尾架17以能够在与主动轴Cm同轴上旋转的方式轴支承从属主轴(slaveshaft)Cs，在从属主轴Cs的前端设置支承工件W的另一端的中央部18。从属主轴Cs利用中央部加压控制用的伺服马达19而在轴线方向进退，并且利用从属伺服马达20而与主动轴Cm同步地被旋转驱动。另外，在床身10上的工作台11的后方位置设置有砂轮支承装置40。砂轮支承装置40具备基座41、砂轮座42、圆板状的砂轮43以及砂轮旋转用马达44等。基座41被形成为矩形的平板状，被配置于床身10的上表面。在该基座41的上表面以沿X轴方向延伸的方式、且相互平行地配置固定有砂轮座42能够滑动的一对X轴导轨41a。在本说明书中，在需要区别一对X轴导轨41a的各个的情况下，以将与砂轮43接近的一侧设为第一列X轴导轨41a-1、将远离的一侧设为第二列X轴导轨41a-2的方式标注分支序号。第一列X轴导轨41a-1具有沿水平方向延伸的成为上表面的第一水平引导面41h-1、和沿铅垂方向延伸的成为内侧面的第一铅垂引导面41v-1。同样，第二列X轴导轨41a-2具有沿水平方向延伸的成为上表面的第二水平引导面41h-2、和沿铅垂方向延伸的成为内侧面的第二铅垂引导面41v-2。另外，在第一水平引导面41h-1与第二水平引导面41h-2不需要区分两者的情况下，省略分支序号而记载为水平引导面41h。同样，第一铅垂引导面41v-1与第二铅垂引导面41v-2也省略分支序号而记载为铅垂引导面41v。并且，在基座41的上表面的一对X轴导轨41a间配置有永久磁铁板单元22b。由该永久磁铁板单元22b、和被安装于砂轮座42下表面的电磁线圈单元22a构成线性马达22。砂轮座42以通过线性马达22的驱动，能够沿着一对X轴导轨41a并在与Z轴方向正交的X轴方向(图1的上下方向)移动的方式而被引导支承。线性马达22基于由未图示的读取头读取的线性标尺的位置信息而被控制动作。该砂轮座42以能够绕Z轴旋转的方式支承砂轮轴45。而且，在该砂轮轴45的一端同轴地安装有圆板状的砂轮43。在砂轮座42与砂轮轴45同轴地固定有砂轮旋转用马达44。砂轮43被砂轮旋转用马达44旋转驱动。另外，在砂轮座42与砂轮轴45对置地设置有砂轮轴传感器36。砂轮轴传感器36是公知的距离传感器，作为测定砂轮轴45的位移的位移传感器而发挥功能。并且，能够在砂轮座42与砂轮轴45同轴地设置能够对砂轮轴45的旋转角进行绝对值检测的相位传感器37，作为相位传感器37例如能够使用作为非接触的光学式编码器、电位计。如图1、图2所示，静压支承构造A具备控制部30、具有作为固定体的基座41以及作为移动体的砂轮座42的砂轮支承装置40、作为流体供给部的泵50、将流体的流路控制为固定的开口面积的固定节流阀69以及作为流量可变部的电磁可变节流阀60而构成，是使砂轮座42经由作为流体的润滑油能够滑动地支承于基座41的机构。如图2、图3所示，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磨削装置，其特征在于，包含：/n主轴箱，其旋转驱动工件；/n固定体，其具有引导面；/n砂轮座，其旋转驱动砂轮并且具有与上述引导面对置的滑动面；/n流体供给部，其向上述引导面与上述滑动面之间供给流体；以及/n驱动部，其使经由上述流体被上述固定体支承为能够滑动的上述砂轮座相对于上述主轴箱沿着引导方向相对移动；/n上述磨削装置分别使上述工件和上述砂轮旋转并且使上述砂轮相对于上述工件相对移动，由此磨削上述工件，/n构成在上述引导面以及上述滑动面的至少一方配置多个静压腔，从上述流体供给部向上述各静压腔供给上述流体而滑动支承上述砂轮座的静压支承构造，/n上述磨削装置还具备：/n振动量传感器，其对上述砂轮的上下方向的振动量进行测定；/n流量可变部，其改变从上述流体供给部向上述各静压腔供给的上述流体的流量；以及/n控制部，其以减少由上述振动量传感器测定的上述砂轮的上下方向振动量的方式，控制上述流量可变部来调整向上述各静压腔供给的上述流体的流量。/n

【技术特征摘要】
20180521 JP 2018-0972731.一种磨削装置，其特征在于，包含：
主轴箱，其旋转驱动工件；
固定体，其具有引导面；
砂轮座，其旋转驱动砂轮并且具有与上述引导面对置的滑动面；
流体供给部，其向上述引导面与上述滑动面之间供给流体；以及
驱动部，其使经由上述流体被上述固定体支承为能够滑动的上述砂轮座相对于上述主轴箱沿着引导方向相对移动；
上述磨削装置分别使上述工件和上述砂轮旋转并且使上述砂轮相对于上述工件相对移动，由此磨削上述工件，
构成在上述引导面以及上述滑动面的至少一方配置多个静压腔，从上述流体供给部向上述各静压腔供给上述流体而滑动支承上述砂轮座的静压支承构造，
上述磨削装置还具备：
振动量传感器，其对上述砂轮的上下方向的振动量进行测定；
流量可变部，其改变从上述流体供给部向上述各静压腔供给的上述流体的流量；以及
控制部，其以减少由上述振动量传感器测定的上述砂轮的上下方向振动量的方式，控制上述流量可变部来调整向上述各静压腔供给的上述流体的流量。


2.根据权利要求1所述的磨削装置，其特征在于，
还包括检测上述砂轮的相位的相位传感器，
上述控制部具有基于上述相位传感器的输出和上述振动量传感器的输出，计算上述砂轮的不平衡相位以及不平衡量的不平衡计算部，上述控制部基于由上述不平衡计算部计算出...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林久修，近藤隆，金箱孝则，
申请(专利权)人：株式会社捷太格特，
类型：发明
国别省市：日本;JP