基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法技术方案

本发明专利技术提供基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法。能预测伴随使用的劣化等引起的FOUP等基板收纳容器的更换时期的基板收纳容器管理系统不是应用设置传感器等设备类的基板收纳容器、而是应用现在通用的基板收纳容器来实现。通过能进行使基板(W)相对于具有搬出搬入口(41)的基板收纳容器即FOUP(4)出入的处理的装载端口(2)，读取附加于FOUP的个体识别用ID(4x)，将个体识别用ID和设于装载端口的传感器(2c)的传感器值发送至上位系统(C)，在上位系统将个体识别用ID和传感器值相互关联，储存并储备在数据库(Cd)，解析数据库内的数据并输出每个个体识别用ID的FOUP的状态。

Substrate storage container management system, loading port, substrate storage container management method

The invention provides a substrate storage container management system, a loading port and a substrate storage container management method. The base plate storage container management system, which can predict the replacement period of the base plate storage container such as FOUP caused by the deterioration of the use, is not implemented by setting the base plate storage container such as sensors, but by using the current general base plate storage container. Through the loading port (2) which can process the substrate (W) relative to the substrate storage container with moving out and moving in (41), i.e. FOUP (4), read the ID (4x) for individual identification attached to FOUP, send the ID for individual identification and the sensor value of the sensor (2C) set at the loading port to the upper system (c), in the upper system, associate the ID for individual identification and the sensor value, store and Reserve in the database (CD), analyze the data in the database and output the status of FOUP with ID for each individual identification.

【技术实现步骤摘要】
基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法
本专利技术涉及对能够收纳晶片的容器(基板收纳容器)的劣化信息进行管理的基板收纳容器管理系统、以及能够应用于基板收纳容器管理系统的装载端口、以及基板收纳容器管理方法。
技术介绍
在半导体的制造工序中，为了提高成品率、品质，在洁净室内进行晶片的处理。近年来，采用仅对晶片的周围的局所的空间进一步提高清洁度的“小型围绕方式”，并采用晶片的搬运及其它处理的措施。在小型围绕方式中，在箱体的内部构成大致封闭的晶片搬运室(以下“搬运室”)的壁面的一部分，并且载置在高清洁的内部空间收纳有晶片的容器即FOUP(Front-OpeningUnifiedPod)，在搬运室相邻地设有装载端口(LoadPort)，该装载端口具有在贴紧于FOUP的门(以下“FOUP门”)的状态下使该FOUP门开闭的功能。装载端口是用于在与搬运室之间进行晶片的出入的装置，作为搬运室与FOUP之间的接口部发挥功能。并且，构成为，若能够与FOUP门卡合来使FOUP门开闭的装载端口的门(以下为“装载端口门”)敞开，则通过配置在搬运室内的搬运机器人(晶片搬运装置)，能够向搬运室内取出FOUP内的晶片、或者将晶片从搬运室内收纳到FOUP内。并且，在半导体的制造工序中，为了适当地维持晶片周边的气氛，使用上述的称为FOUP的储存筒，在FOUP的内部容纳晶片来进行管理。尤其是近年来，促进了元件的高集成化、电路的细微化，要求将晶片周边维持为高清洁度，以免产生颗粒、水分向晶片表面的附着。因此，为了不使晶片表面氧化等表面的性状发生变化，在FOUP的内部填充氮气，使晶片周边处于作为惰性气体的氮气气氛、或者还进行成为真空状态的处理(清洗处理)。但是，FOUP由于在内部滞留有尘埃或者在处理工序中使用的杂质，因此定期地进行热水清洗而被再利用。由于反复进行该热水清洗，树脂制的FOUP逐渐变形。气密性因这样的FOUP的变形而降低，气体相对于FOUP的流入、漏出(泄漏)成为问题。例如，在FOUP主体中的能够由FOUP门开闭的搬出搬入口产生了歪斜的情况下，FOUP门的气密性降低。其结果，在实施了将FOUP内的气体置换为氮气的清洗处理之后，在利用OHT等进行的搬运中，出现FOUP内的氮气向FOUP外漏出、或者周围的大气容易流入到FOUP内的状况，产生FOUP内的氧气浓度上升之类的问题。为了应对这样的问题，考虑了通过对每个FOUP测定FOUP的形状来判定FOUP的劣化的程度的方法(以下为“前者的方法”)、一律更换超过了预先设定的预定的使用次数、使用期间的FOUP的方法(以下为“后者的方法”)。然而，前者的方法需要逐个测定FOUP的形状，因此需要在半导体的制造工序中、或者在半导体的制造工序的前后的适当时机确保实施这样的形状测定的时间，因此花费时间，效率低。另外，如果是后者的方法，则会产生更换没有劣化到需要更换的程度的FOUP的事态，新购买FOUP所需要的成本多得超过所需，通过持续使用在达到预定的使用次数、使用期间之前变形的程度变大的FOUP直到达到预定的使用次数、使用期间，有时会产生气体相对于FOUP的流入、漏出(泄漏)。原来FOUP的变形一点一点地进行，难以对每个FOUP准确地把握劣化导致的更换时期，如果是后者的方法那样的忽视FOUP的个体差的更换方法，则效率低，产生不需要的更换费用、或者认为能够提前防止气流相对于FOUP流入、漏出(泄漏)的事态的概率不高。因此，提出了如下管理系统，其具备：设于基板收纳容器来检测其使用状态的检测机构；设于基板收纳容器来判断其检查检验时期的小型的无线通信机构；对检查检验时期的基板收纳容器进行检查检验的检查检验装置；以及报告与无线通信机构进行的基板收纳容器的检查检验时期的判断结果和检查检验装置进行的基板收纳容器的检查检验结果的任一结果相应的内容的报告机构，无线通信机构利用运算处理部至少对检测机构的检测值和与基板收纳容器相关的检查检验值进行比较，根据该比较结果，来判断基板收纳容器的检查检验时期(参照专利文献1)。在上述专利文献1中记载了如下技术：根据这样的管理系统，由设于基板收纳容器的检测机构检测该基板收纳容器的使用状态，在作为检测值的输出目的地的无线通信机构中，对检测值和与基板收纳容器相关的阈值进行比较，其结果，在检测值小于阈值、或者未接近阈值的情况下，判断为能够仍然继续使用基板收纳容器，另一方面，在检测值接近阈值、或者超过了阈值的情况下，判断为基板收纳容器的性能或品质下降，接近基板收纳容器的使用限度，能够选定基板收纳容器的更换品。现有技术文献专利文献1：日本特开2017－212322号公报然而，如果是专利文献1记载的管理系统，则必须在作为基板收纳容器的FOUP设置传感器以及通信机构(以下为“传感器等设备类”)，因此除了需要在FOUP安装传感器等设备类的作业以外，还要求在每个FOUP安装传感器用的电源。因此，为了实现专利文献1所记载的系统，不能使用现在使用的一般的FOUP作为基板收纳容器，需要全部更换为新的FOUP。在半导体制造生产线中，大量的FOUP已被广泛使用，更换其全部数量而采用该文献的管理系统对于用户来说负担较大，认为难以导入制造现场。并且，对分别赋予大量的FOUP的传感器等设备类进行个别维修的作业需要庞大的劳动力，还需要留意对FOUP进行热水清洗时的热、浸水引起的传感器等设备类的故障，难以万无一失地进行用于在正常的状态下使用传感器等设备类的事前准备或维修。并且，如果传感器等设备类的事前准备或维修不充分，则无法利用传感器进行准确的检测处理，或者陷入不稳定的无线通信状态，不能适当地选定成为更换对象的FOUP，通过使用本来成为更换对象的FOUP，也会产生气体相对于FOUP的流入、漏出(泄漏)，FOUP内的晶片的表面被氧化之类的问题。这样的问题在FOUP以外的基板收纳容器中也同样会产生。
技术实现思路
本专利技术是着眼于这样的课题而提出的方案，主要的目的在于，为了抑制容纳在FOUP等基板收纳容器内的晶片的表面被氧化，能够预测伴随使用的劣化等引起的基板收纳容器的更换时期的基板收纳容器管理系统不是应用设置了传感器等设备类的FOUP、而是应用现在通用的FOUP来实现。此外，本专利技术是即使在FOUP以外的基板收纳容器中也能够对应的技术。本专利技术的基板收纳容器管理系统的特征在于，具备：装载端口，其相对于基板收纳容器能够进行基板的出入处理，具有能够读取附加于上述基板收纳容器的个体识别用ID的ID读取机构和直接或者间接地检测上述基板收纳容器的状态的传感器；关联机构，其将由上述ID读取机构读取出的上述个体识别用ID与由上述传感器检测出的传感器值相互关联起来；数据库，其储备由上述关联机构关联的数据；以及数据处理部，其解析上述数据库内的上述数据，并输出每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态。在此，个体识别用ID用于识别各个基板收纳容器，关于设于装载端口的传感器的检测值，判断是从哪个基板收纳容器取得的。此外，在个体识别用ID中不写入与基板收本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板收纳容器管理系统，其特征在于，具备：/n装载端口，其相对于基板收纳容器能够进行基板的出入处理，具有能够读取附加于上述基板收纳容器的个体识别用ID的ID读取机构和直接或者间接地检测上述基板收纳容器的状态的传感器；/n关联机构，其将由上述ID读取机构读取出的上述个体识别用ID与由上述传感器检测出的传感器值相互关联起来；/n数据库，其储备由上述关联机构关联了的数据；以及/n数据处理部，其解析上述数据库内的上述数据，并输出每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态。/n

【技术特征摘要】
20180524 JP 2018-099494;20190225 JP 2019-0317891.一种基板收纳容器管理系统，其特征在于，具备：
装载端口，其相对于基板收纳容器能够进行基板的出入处理，具有能够读取附加于上述基板收纳容器的个体识别用ID的ID读取机构和直接或者间接地检测上述基板收纳容器的状态的传感器；
关联机构，其将由上述ID读取机构读取出的上述个体识别用ID与由上述传感器检测出的传感器值相互关联起来；
数据库，其储备由上述关联机构关联了的数据；以及
数据处理部，其解析上述数据库内的上述数据，并输出每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态。


2.根据权利要求1所述的基板收纳容器管理系统，其特征在于，
上述数据处理部具备：
计算机构，其根据由特定的上述传感器检测出的传感器值计算统计数据；
比较机构，其对与特定的上述个体识别用ID相关联的传感器值和由上述计算机构计算出的计算结果进行比较；以及
状态输出机构，其基于由上述比较机构比较出的结果来输出上述基板收纳容器的状态。


3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器管理系统，其特征在于，
上述装载端口具备多种上述传感器，
上述关联机构能够将上述个体识别用ID与由多种上述传感器检测出的多种上述传感器值相互关联起来。


4.根据权利要求1～3任一项中所述的基板收纳容器管理系统，其特征在于，
还具备动作调整部，该动作调整部基于上述数据处理部输出的每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态，对上述装载端口的与上述基板收纳容器的处理相关的控制值进行调整。


5.根据权利要求1～3任一项中所述的基板收纳容器管理系统，其特征在于，
上述关联机构能够将上述个体识别用ID、与在上述基板收纳容器的处理时产生的错误相关的信息以及与对储存在上述基板收纳容器中的上述基板进行的处理相关的信息中的至少任一方的信息相互关联起来，
还具备动作调整部，该动作调整部基于储备在上述数据库中的每个上述个体识别用ID的上述至少任一方的信息，来调整上述装载端口的与上述基板收纳容器的处理相关的控...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤泉，水谷友哉，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP