A liquid leakage monitoring device for cleaning process chamber and cleaning process chamber, the liquid leakage monitoring device includes: a clamping cup, wherein the clamping cup is arranged in the cleaning process chamber to receive the liquid leakage from the cleaning machine and the flushing liquid during the non cleaning process; a liquid discharge pipe and a liquid discharge pipe are connected to the bottom of the clamping cup to discharge the liquid leakage from the cleaning process chamber; a liquid leakage sensor and a liquid leakage sensor The sensor is installed in the drain pipe to monitor whether there is liquid leakage. The leakage monitoring device can send out the leakage signal in time, so as to avoid chip defects or scrap caused by leakage, motor corrosion, etc.
【技术实现步骤摘要】
用于清洗工艺腔室的漏液监控装置及清洗工艺腔室
本专利技术涉及半导体设备领域,特别涉及一种用于清洗工艺腔室的漏液监控装置及包括该漏液监控装置的清洗工艺腔室。
技术介绍
清洗设备是集成电路制造领域中的关键设备。随着硅片尺寸增大,器件结构的超微小化、高集成化,对硅片的洁净程度、表面的化学态、微粗糙度等表面状态的要求越来越高,IC制造商和设备供应商已清醒认识到化学湿法清洗在生产中的重要性。主流工艺从65nm过渡到40nm、28nm,甚至更小时,传统的批式清洗方法已不能完全满足目前极大规模集成电路制造中关键步骤的清洗要求,清洗设备已逐步由批式清洗设备转换为单片清洗设备。单片清洗机是利用清洗机台内的夹持结构(chuck)来带动晶片高速旋转,再利用喷淋臂喷射药液至旋转的硅片表面,以此来达到清洗晶片的目的。清洗过程中的多种因素可能造成漏液问题。例如,晶片在高速旋转过程中,如果晶片在夹持结构上放置不平,喷淋臂喷射药液至旋转的晶片表面时会使药液溅出清洗机台,溅到清洗工艺腔室中造成漏液,晶片不能得到有效的清洗,药液还会溅到喷淋臂上导致喷淋臂上的液滴在后续的清洗过程中随机的滴落在晶片上,造成晶片缺陷。此外,喷淋臂的管路中的气动阀出问题后,工艺后喷淋臂中的药液不会停止喷射,同样会出现漏液的情况。另外,非工艺期间,为了避免化学药液在喷头处凝结,清洗机台的喷头每隔一定时间会在卡杯位置处喷射一定的冲洗液。如果喷头和卡杯没有对齐,冲洗液会喷到清洗工艺腔室内,形成漏液。在目前的单片清洗设备中,只有大量的漏液从清洗机台和下面电气区的隔板处 ...
【技术保护点】
1.一种用于清洗工艺腔室的漏液监控装置,其特征在于,包括:/n卡杯,所述卡杯设置于所述清洗工艺腔室内,用于接收溅出清洗机台的漏液和非清洗工艺期间的冲洗液;/n排液管,所述排液管连接至所述卡杯的底部,用于将所述漏液排出所述清洗工艺腔室;以及/n漏液传感器,所述漏液传感器设于所述排液管内,用于监测是否发生漏液。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于清洗工艺腔室的漏液监控装置,其特征在于,包括:
卡杯,所述卡杯设置于所述清洗工艺腔室内,用于接收溅出清洗机台的漏液和非清洗工艺期间的冲洗液;
排液管,所述排液管连接至所述卡杯的底部,用于将所述漏液排出所述清洗工艺腔室;以及
漏液传感器,所述漏液传感器设于所述排液管内,用于监测是否发生漏液。
2.根据权利要求1所述的用于清洗工艺腔室的漏液监控装置,其特征在于,所述卡杯包括上杯体部和下杯体部;其中,
所述上杯体部的容纳空间与所述下杯体部的容纳空间相隔离;
所述上杯体部的顶部设有药液入口,侧壁底部设有药液出口;
所述下杯体部的侧壁上设有多个侧壁药液入口,底面设有排液口,所述多个侧壁药液入口与所述排液口连通。
3.根据权利要求2所述的用于清洗工艺腔室的漏液监控装置,其特征在于,所述侧壁药液入口为狭缝状,多个所述侧壁药液入口相互平行,多个所述侧壁药液入口的宽度之和占所述下杯体部的外周长度的90%~95%。
4.根据权利要求1所述的用于清洗工艺腔室的漏液监控装置,其特征在于,所述排液管包括首尾相接的第一U型管和第二U型管;其中,
所述第一U型管的第一端与所述卡杯的底部连接,所述第一U型管的第二端与所述第二U型管的第一端连接;
所述第二U型管的第二端用于将所述漏液排出所述清洗工艺腔室;
所述漏液传感器设于所述第一U型管和第二U型管的连接位置附近。
5.根据权利要求4所述的用于清洗工艺腔室的漏液监控装置,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘效岩,
申请(专利权)人:北京北方华创微电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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