一种扩散炉设备保护隔板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉设备保护隔板，所述碳化硅桨下方设置有隔板，所述隔板固定连接于炉侧壁上，且隔板远离炉侧壁一侧固定连接有侧挡板，所述隔板下方固定连接有支撑杆，所述支撑杆与固定杆固定连接，所述固定杆与炉侧壁固定连接，所述隔板靠近碳化硅桨一侧开设有凹槽，所述凹槽中依次活动设置有上层板和下层板。本实用新型专利技术解决了现有扩散炉设备中石英舟倾倒摔舟、上方石英舟中的硅片碎片容易掉落至下方石英舟上，导致下方石英舟中硅片被批量砸碎、浆断裂掉到下方砸碎下方浆及石英舟和硅片，从而影响产线产能和财产损失导致车间成本的问题，有效的避免影响车间产能和财产损失导致的成本上升。

A kind of protective clapboard for diffusion furnace equipment

The utility model discloses a diffusion furnace equipment protection partition, under the silicon carbide paddle is provided with a partition, the partition is fixedly connected to the furnace side wall, and the side of the partition away from the furnace side wall is fixedly connected with a side baffle, under the partition is fixedly connected with a supporting rod, the supporting rod is fixedly connected with the fixing rod, the fixing rod is fixedly connected with the furnace side wall, and the partition is close to the furnace side wall One side of the silicon carbide paddle is provided with a groove in which an upper plate and a lower plate are successively movable. The utility model solves the problem that in the existing diffusion furnace equipment, the quartz boat is dumped and the silicon chips in the upper quartz boat are easy to fall to the lower quartz boat, which causes the silicon chips in the lower quartz boat to be smashed in batches, the slurry is broken and falls to the lower part to smash the slurry and the quartz boat and the silicon chips, thus affecting the production line capacity and property loss and leading to the workshop cost, effectively avoiding affecting the workshop production Cost increases due to energy and property losses.

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉设备保护隔板
本技术涉及硅片扩散
，具体为一种扩散炉设备保护隔板。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。目前常见的是水平扩散炉，进出舟系统采用软着陆系统。软着陆系统SiC浆(碳化硅桨)进入石英工艺炉管后，桨自动下沉放下石英舟和硅片，然后慢慢运行回原点，最后石英炉管的门自动关闭。软着陆系统优点是没有SiC桨对腔体的影响，使得温度均匀性更好，减少了工艺气体在SiC桨上的沉积，从而颗粒更少。现有技术中，业界使用CT常压扩散炉都存在扩散炉设备中石英舟倾倒摔舟、上方石英舟中的硅片碎片容易掉落至下方石英舟上，导致下方石英舟中硅片被批量砸碎、浆断裂掉到下方砸碎下方浆及石英舟和硅片这些事故风险。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种扩散炉设备保护隔板，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扩散炉设备保护隔板，包括炉口壁和炉侧壁，所述炉口壁上开设有炉门，所述炉侧壁上开设有底座滑道，所述底座滑道中移动设置有桨水平电机，所述桨水平电机固定连接有桨底座，所述桨底座靠近炉门一侧固定夹持有碳化硅桨，所述碳化硅桨远离桨底座一端连接有石英舟，所述石英舟上设置有硅片，所述碳化硅桨下方设置有隔板，所述隔板固定连接于炉侧壁上，且隔板远离炉侧壁一侧固定连接有侧挡板。优选的，所述隔板下方固定连接有支撑杆，所述支撑杆与固定杆固定连接，所述固定杆与炉侧壁固定连接。优选的，所述支撑杆与隔板通过紧固螺钉连接，所述炉侧壁与固定杆通过紧固螺钉连接。优选的，所述隔板靠近碳化硅桨一侧开设有凹槽，所述凹槽中依次活动设置有上层板和下层板，所述上层板中开设有上板通孔，所述下层板中开设有下板通孔，所述上板通孔和下板通孔呈相互交错设置，且所述凹槽内侧壁在靠近侧挡板一端贯通开设有散热孔。优选的，所述凹槽内侧壁开设有侧壁槽，所述侧壁槽中依次活动设置有上压板和下压板，所述上压板与上层板固定连接，所述下压板与下层板固定连接，所述上压板和下压板之间通过缓冲弹簧连接，所述下压板通过固定弹簧连接于侧壁槽底壁上。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术解决了现有扩散炉设备中石英舟倾倒摔舟、上方石英舟中的硅片碎片容易掉落至下方石英舟上，导致下方石英舟中硅片被批量砸碎、浆断裂掉到下方砸碎下方浆及石英舟和硅片，从而影响产线产能和财产损失导致车间成本的问题，使得保护隔板能有效的保护下方的石英舟、硅片和浆不受二次伤害，有效的避免影响车间产能和财产损失导致的成本上升。本技术的隔板的内部开槽和上、下层板的设置，使得上方石英舟、硅片或桨在掉落后，会直接掉落至上层板上，解决了物品一旦一直处于上层板表面时，会由于下次物品的掉落从而产生物品间的撞击导致物品飞溅的问题，对周围设备造成损伤，物品在掉落时物件通过都摔碎为小尺寸物品，会直接通过上板通孔落入至下层板上，由于上板通孔和下板通孔的交错设置，使得下层板上的物品必须再次经过下落物品碰撞后才会由于振动从下板通孔落入至凹槽底部，物品在下层板上时更加便于散热，并且上层板和下层板的缓冲作用使得物品在下落以及振动过程中，更加不易产生剧烈的运动，避免直接下落导致的物品溅落。附图说明图1为本技术的隔板与炉体安装结构示意图；图2为本技术的三个隔板依次上下安装结构示意图；图3为本技术的炉侧壁安装结构示意图；图4为本技术的隔板结构主视示意图；图5为本技术的隔板结构俯视示意图；图6为本技术的隔板结构剖视示意图；图7为本技术的A区结构放大示意图；图8为本技术的凹槽内侧壁结构示意图；图9为本技术的上层板和下层板安装结构示意图。图中：1炉口壁、2炉侧壁、3炉门、4底座滑道、5桨水平电机、6桨底座、7碳化硅桨、8石英舟、9硅片、10隔板、11侧挡板、12支撑杆、13固定杆、14紧固螺钉、15凹槽、16上层板、17上板通孔、18下层板、19下板通孔、20侧壁槽、21上压板、22下压板、23缓冲弹簧、24固定弹簧、25散热孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-9，本技术提供一种技术方案：一种扩散炉设备保护隔板，包括炉口壁1和炉侧壁2，炉口壁1上开设有炉门3，炉侧壁2上开设有底座滑道4，底座滑道4中移动设置有桨水平电机5，使得桨水平电机5在底座滑道4内通过链条带动进行运动，桨水平电机5固定连接有桨底座6，从而带动桨底座6靠近炉门3或远离炉门3，桨底座6靠近炉门3一侧固定夹持有碳化硅桨7，碳化硅桨7远离桨底座6一端连接有石英舟8，石英舟8上设置有硅片9，碳化硅桨7下方设置有隔板10，隔板10固定连接于炉侧壁2上，且隔板10远离炉侧壁2一侧固定连接有侧挡板11，在扩散炉的每根碳化硅桨7下面都设计一个保护用的隔板10，能有效解决上述问题点，设计的保护用隔板10，位于每根碳化硅桨7下方的扩散炉的炉侧壁2上，隔板10包括镂空的平面部分与侧挡板11部分，从截面看呈L型，下方通过三个支撑杆12和固定杆13连接固定到扩散炉的炉侧壁2上，隔板10的侧壁上打满密布的散热孔25，不影响炉体内部散热，同时能起到防护作用，具有很大的实用性。本技术的保护用隔板10结构简单，制作简单，容易实施，可匹配不同厂家扩散炉，使用需耐酸碱耐高温的不锈钢材质，制作长宽142cm*28cm尺寸大小的保护用隔板10，并在隔板10上的上层板16的水平部分打满密布的上板通孔17进行镂空，侧挡板11高度2cm，不镂空；隔板10下方固定连接有支撑杆12，支撑杆12与固定杆13固定连接，固定杆13与炉侧壁2固定连接，支撑杆12与隔板10通过紧固螺钉14连接，炉侧壁2与固定杆13通过紧固螺钉连接，支撑杆12和固定杆13均采用5mm厚不锈钢材质制作，确保安装好后保护隔板10和支架整体要牢固无晃动。安装成功后，即可起到保护作用，如发生拖舟时舟在桨上位置改变，机械臂抓取、关炉门等状况不会造成事故。隔板10靠近碳化硅桨7一侧开设有凹槽15，即在隔板10的水平面上开设凹槽15，凹槽15中依次活动设置有上层板16和下层板18，上层板16和下层板18均可以在凹槽15内上下运动，上层板16中开设有上板通孔17，下层板18中开设有下板通孔19，上板通孔17和下板通孔19呈相互交错设置，直接通过上板通孔17落入至下层板18上，由于上板通孔17和下板通孔19的交错设置，使得下层板18上的物品必须再次经过下落物品碰撞后才会由于振动从下板通孔19本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉设备保护隔板，包括炉口壁(1)和炉侧壁(2)，所述炉口壁(1)上开设有炉门(3)，所述炉侧壁(2)上开设有底座滑道(4)，所述底座滑道(4)中移动设置有桨水平电机(5)，所述桨水平电机(5)固定连接有桨底座(6)，所述桨底座(6)靠近炉门(3)一侧固定夹持有碳化硅桨(7)，所述碳化硅桨(7)远离桨底座(6)一端连接有石英舟(8)，所述石英舟(8)上设置有硅片(9)，其特征在于：所述碳化硅桨(7)下方设置有隔板(10)，所述隔板(10)固定连接于炉侧壁(2)上，且隔板(10)远离炉侧壁(2)一侧固定连接有侧挡板(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉设备保护隔板，包括炉口壁(1)和炉侧壁(2)，所述炉口壁(1)上开设有炉门(3)，所述炉侧壁(2)上开设有底座滑道(4)，所述底座滑道(4)中移动设置有桨水平电机(5)，所述桨水平电机(5)固定连接有桨底座(6)，所述桨底座(6)靠近炉门(3)一侧固定夹持有碳化硅桨(7)，所述碳化硅桨(7)远离桨底座(6)一端连接有石英舟(8)，所述石英舟(8)上设置有硅片(9)，其特征在于：所述碳化硅桨(7)下方设置有隔板(10)，所述隔板(10)固定连接于炉侧壁(2)上，且隔板(10)远离炉侧壁(2)一侧固定连接有侧挡板(11)。


2.根据权利要求1所述的一种扩散炉设备保护隔板，其特征在于：所述隔板(10)下方固定连接有支撑杆(12)，所述支撑杆(12)与固定杆(13)固定连接，所述固定杆(13)与炉侧壁(2)固定连接。


3.根据权利要求2所述的一种扩散炉设备保护隔板，其特征在于：所述支撑杆(12)与隔板(10)通过紧固螺钉(14)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张欢，徐硕，苏世杰，陈绍光，蔡芬，
申请(专利权)人：通威太阳能合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34