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本发明提供基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法。能预测伴随使用的劣化等引起的FOUP等基板收纳容器的更换时期的基板收纳容器管理系统不是应用设置传感器等设备类的基板收纳容器、而是应用现在通用的基板收纳容器来实现。通过能进行使基...
该专利属于昕芙旎雅有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昕芙旎雅有限公司授权不得商用。

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