一种湿法清洗机台的输液系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种湿法清洗机台的输液系统，属于机械设备领域。该输液系统包括：第一进料管、第二进料管、混合箱、混合液输送管、温度控制单元和喷嘴，其中，第一进料管和第二进料管均与混合箱连接，混合液输送管的输入端与混合箱连接，混合液输送管的输出端与喷嘴连接，温度控制单元与混合液输送管连接，温度控制单元用于控制混合液输送管中的混合液温度，以使喷嘴处的混合液的温度大于或等于预设温度。由于该输液系统包括温度控制单元，温度控制单元可以保持喷嘴处的混合液的温度不低于预设温度，从而在晶圆制作过程中提高去除沾污的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种湿法清洗机台的输液系统
本技术涉及机械设备领域，特别涉及一种湿法清洗机台的输液系统。
技术介绍
在晶圆制作过程中，需要去除晶圆表面上的沾污，这些沾污包括：颗粒物、有机残留、金属污染物、以及自然氧化层等。去除沾污的常用方法是湿法清洗。湿法清洗的原理主要是利用H2SO4(硫酸)和H2O2(双氧水)组成的混合液腐蚀、氧化沾污，从而达到清洗的目的。常用的湿法清洗机台的型号包括DNSSU3100和DNSSU3200，DNSSU3100的输液系统如图1所示，该输液系统主要包括硫酸进料管1、硫酸加热箱2、双氧水进料管3、混合箱4、混合液输送管5和喷嘴6。硫酸被加热至90摄氏度左右之后，与双氧水在混合箱4中混合，混合后的混合液温度升高，混合液经过混合液输送管5和喷嘴6，喷洒在晶圆表面的沾污上，从而去除这些沾污。然而，现有的湿法清洗机台的输液系统有以下问题：混合液输送管5通常是PFA(Polytetrafluoroethylene，可熔性聚四氟乙烯)材质的，混合液在混合液输送管5传输过程中部分热量会散失，当混合液的温度降低时，会导致去除沾污的效果不佳。
技术实现思路
本技术提供了一种湿法清洗机台的输液系统，以提高去除晶圆表面的沾污的效率。为实现上述目的，本技术提供了一种湿法清洗机台的输液系统，所述输液系统包括：第一进料管、第二进料管、混合箱、混合液输送管、温度控制单元和喷嘴，其中，所述第一进料管和所述第二进料管均与所述混合箱连接，所述混合液输送管的输入端与所述混合箱连接，所述混合液输送管的输出端与所述喷嘴连接，所述温度控制单元与所述混合液输送管连接，所述温度控制单元用于控制所述混合液输送管中的混合液温度，以使所述喷嘴处的混合液的温度大于或等于预设温度。可选的，所述输液系统还包括第三进料管和第三加热箱，所述第三进料管与所述第三加热箱连接，所述第三加热箱与所述第一进料管连接。可选的，所述预设温度为130摄氏度。可选的，所述第三加热箱的加热温度设定为90摄氏度。可选的，所述输液系统还包括n≥1个中转塔，各中转塔与所述第三加热箱或所述混合箱连接，所述中转塔用于中转所述第三加热箱中的液体或所述混合液。可选的，所述混合液输送管的外部设置有保温层。可选的，所述温度控制单元包括温度检测模块，所述温度检测模块设置于所述喷嘴的内部。可选的，所述温度控制单元包括加热模块，所述加热模块中的加热部件设置于所述混合液输送管内部。可选的，所述加热模块的加热部件的长度等于所述混合液输送管的长度。可选的，所述输液系统还包括温度显示模块，所述温度显示模块用于显示所述温度检测模块检测到的温度。本技术提供的湿法清洗机台的输液系统，由于输液系统包括温度控制单元，温度控制单元可以保持喷嘴处的混合液的温度不低于预设温度，从而在晶圆制作过程中提高去除沾污的效率。附图说明图1是现有的一种湿法清洗机台的输液系统的结构示意图；图2是本技术提供的一种湿法清洗机台的输液系统的结构示意图；图3是本技术提供的一种湿法清洗机台的输液系统的结构示意图；图4是本技术提供的一种湿法清洗机台的输液系统的结构示意图。[附图标记说明如下]：1-硫酸进料管；2-硫酸加热箱；3-双氧水进料管；4-混合箱；5-混合液输送管；6-喷嘴；10-第三进料管；11-第三加热箱；12-第一进料管；13-第二进料管；14-混合箱；15-混合液输送管；16-温度控制单元；17-喷嘴。具体实施方式为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本技术提出的一种湿法清洗机台的输液系统作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。参见图2所示，本技术提供的一种湿法清洗机台的输液系统包括：第一进料管12、第二进料管13、混合箱14、混合液输送管15、温度控制单元16和喷嘴17，其中，第一进料管12和第二进料管13均与混合箱14连接，混合液输送管15的输入端与混合箱14连接，混合液输送管15的输出端与喷嘴17连接，温度控制单元16与混合液输送管15连接，温度控制单元16用于控制混合液输送管15中的混合液温度，以使喷嘴17处的混合液的温度大于或等于预设温度。其中，第一进料管12可以用于将硫酸输入混合箱14中，第一进料管12可以自带加热功能，或者第一进料管12用于传输加热后的硫酸；第二进料管13可以用于将双氧水输入混合箱14中；温度控制单元16具有温度检测、温度反馈和温度控制等功能，温度控制单元16可以包括温度检测模块和加热模块，加热模块包括加热部件，温度检测模块能够实时的检测混合液输送管15和/或喷嘴17中的混合液的温度，并将检测到的温度反馈给加热模块，当混合液的温度低于预设的温度时，加热模块可以启动加热部件将混合液加热到预设温度。本技术提供的湿法清洗机台的输液系统，输液系统包括温度控制单元16，温度控制单元16可以保持喷嘴17处的混合液的温度不低于预设温度，从而在晶圆制作过程中提高去除沾污的效率。本技术提供的湿法清洗机台的输液系统可以应用于DNSSU3100和DNSSU3200等型号的清洗机台中。可选的，本技术提供的输液系统还包括第三进料管和第三加热箱，第三进料管与第三加热箱连接，第三加热箱与第一进料管连接。如图3所示，第三进料管10与第三加热箱11连接，第一进料管12用于连接第三加热箱11和混合箱14。第三进料管可以用于将常温的硫酸输入第三加热箱11中，然后第三加热箱11将硫酸加热至一定的温度后，经过第一进料管12输入混合箱14中。本实施例提供的湿法清洗机台的输液系统，通过第三加热箱11预加热硫酸，从而保证混合液的温度达到一定的温度。可选的，所述预设温度为130摄氏度。在制作晶圆过程中，通过实际的试验得知在混合液的温度为130摄氏度左右时，可以达到很好的去除沾污的效果。所以本技术将温度控制单元16控制的预设温度设定为130摄氏度。可选的，第三加热箱11的设定温度为90摄氏度。由于硫酸和双氧水混合后会放热，为了确保硫酸和双氧水混合后的温度在130摄氏度左右，可以将第三加热箱11的加热温度设定为90摄氏度左右。可选的，输液系统还包括n≥1个中转塔，各中转塔与第三加热箱11或混合箱14连接，中转塔用于中转第三加热箱11中的液体或混合液输送管15中的混合液。参考图4所示，Mixingtank表示第三加热箱11，Inline-Mixer表示混合箱14，中转塔包括Tower1、Tower2、Tower3、Tower4和CoolingUnit，其中，Tower1、Tower2、Tower3和Tower4可以将加热后的硫酸输入Inline-Mixer；当Tower1、Tower2、Tower3和Tower4中的硫酸的温度较低时，Tower1、Tower2、Tower3和Tower4可以将硫酸输入至第Mixingtank重新加热；当Mixingtank中的硫酸温度过高时，可以将硫酸输入至CoolingUnit进行冷却。同理，可以在喷嘴17和混合箱14之间设置中转塔，当喷嘴17处的混合液的温度过高或过低时，可以通过中转塔将混合液输回至混合箱14，然后经过混合液输送管15重新处理。所以，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿法清洗机台的输液系统，其特征在于，所述输液系统包括：第一进料管、第二进料管、混合箱、混合液输送管、温度控制单元和喷嘴，其中，所述第一进料管和所述第二进料管均与所述混合箱连接，所述混合液输送管的输入端与所述混合箱连接，所述混合液输送管的输出端与所述喷嘴连接，所述温度控制单元与所述混合液输送管连接，所述温度控制单元用于控制所述混合液输送管中的混合液温度，以使所述喷嘴处的混合液的温度大于或等于预设温度。

【技术特征摘要】
1.一种湿法清洗机台的输液系统，其特征在于，所述输液系统包括：第一进料管、第二进料管、混合箱、混合液输送管、温度控制单元和喷嘴，其中，所述第一进料管和所述第二进料管均与所述混合箱连接，所述混合液输送管的输入端与所述混合箱连接，所述混合液输送管的输出端与所述喷嘴连接，所述温度控制单元与所述混合液输送管连接，所述温度控制单元用于控制所述混合液输送管中的混合液温度，以使所述喷嘴处的混合液的温度大于或等于预设温度。2.根据权利要求1所述的输液系统，其特征在于，所述输液系统还包括第三进料管和第三加热箱，所述第三进料管与所述第三加热箱连接，所述第三加热箱与所述第一进料管连接。3.根据权利要求1所述的输液系统，其特征在于，所述预设温度为130摄氏度。4.根据权利要求2所述的输液系统，其特征在于，所述第三加热箱的加热温度设定为90摄氏度。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕慧超，叶日铨，刘家桦，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32