流体密封垫制造技术

流体密封垫中，为了将具有管通路（３）和环通路（４）的第一流体设备（１）的第一给排口部（１Ａ）与具有管通路（７）和环通路（８）的第二流体设备（２）的第二给排口部（２Ａ）在各个通路（３、４、７、８）相对应状态密封接连，而在第一和第二给排口部（１Ａ、２Ａ）之间设置环状的第一、第二密封垫部（Ｇ１、Ｇ２），在各个密封垫部（Ｇ１、Ｇ２）上形成与第一给排口部１Ａ抵接的第一密封部（ｇ１２、ｇ２２）、与第二给排口部（２Ａ）抵接的第二密封部（ｇ１１、ｇ２１）、和将各通路（３、４）与各通路（７、８）连通的流体路径（ｗ１、ｗ２），设置以横切流体路径（ｗ２）的状态配置的桥接部（Ｂ），将第一、第二密封垫部（Ｇ１、Ｇ２）连接成一体。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及主要用于流体设备间的连结部的流体密封垫，详细地说，涉及为了在半导体制造、医疗·医药品制造、食品加工、化学工业等各种
的制造工程等中使用的高纯度液体、超纯水、或清洗液的配管系统等中，将集约板、泵、阀门、储液器、过滤器等流体设备彼此在密封状态下进行连通接连，而夹装的流体密封垫。
技术介绍
现有的流体密封垫，例如已知被用于将作为流体设备的一例的阀门，和在内部形成有流体通路的集约板连通在一对给排流路间进行接连连接的构造部分中的，被公开于日本特开2001-82609号公报、日本特开平10-169859号公报的接连构造用的密封垫。日本特开2001-82609号公报中公开的流体密封垫，是相互接近配置着，被夹装在以多个球液密地接连连接着的一对给排流路间的流体密封垫，由相互独立的多个密封垫构成。日本特开平10-169859号公报公开的流体密封垫，由相互接近配置着，在用单一的外螺纹螺母接连连接的一对给排流路之间夹装着的流体密封垫，是作为具有一对流路孔的单一的密封垫构成的。日本特开2001-82609号公报、日本特开平10-169859号公报所公开的流体密封垫，都是将多个流体设备集约安装在流体部件中的构造，是被用于采取被称为集约配管结构的接连构造中的，在使配管系统整体紧凑化、模块化方面有用。为了进一步促进紧凑化、模块化，不仅要使流体设备单件小型化，而且可以预见，在实现了流体设备自身的紧凑化之后，还需要能够有望实现在称作集约板和流体设备的状态下流体设备彼此的接连构造的紧凑化的密封垫。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种流体密封垫，该流体密封垫可以有望促进采用了具有上述优点的集约板的配管系统的集约化等，并可以进一步使流体设备彼此的接连构造紧凑化。本专利技术第一方面的流体密封垫，其特征在于，所述流体密封垫为了使第一流体设备的第一流体给排口部和第二流体设备的第二流体给排口部各自的多个流体通路相对应、并在各个流体通路被密封的状态下进行连通接连，而夹装在所述第一流体给排口部和所述第二流体给排口部之间；所述第一流体设备设有第一流体给排口部，该第一流体给排口部将管状的流体通路或环状的流体通路与大于等于一个的环状的流体通路形成为同心状并开口；所述第二流体设备设有第二流体给排口部，该第二流体给排口部将管状的流体通路或环状的流体通路与大于等于一个的环状的流体通路形成为同心状并开口；而且，所述流体密封垫具有与所述第一流体给排口部抵接进行密封的第一密封部、与所述第二流体给排口部抵接进行密封的第二密封部、形成有用于将所述第一流体给排口部的流体通路与所述第二流体给排口部的流体通路连通的流体路径的多个环形密封垫部、和为了将所述多个环形密封垫部中的在径向相邻的环形密封垫部彼此连接成一体，而以横切所述流体路径的状态配设着的桥接部。根据本专利技术，作为各个环形密封垫部的一端部的第一密封部以及作为另一端部的第二密封部与各个流体给排口部分别抵接着被密封，因此，各个流体设备彼此在密封状态下被连通接连。这样，大于等于两个的流体通路以同心状进行多重配管，由此，可以获得与多个流体通路独立排列的构造相比，能起到使接连构造部分的紧凑化作用的流体密封垫。例如，如果将这样的接连构造用在半导体制造设备上的清洁装置的配管系统上的话，可以确保获得良好的密封性并减少装置占用的面积而提高成本，而且，可以确保大的流路因而可以加大循环流量，提高药液的高纯度化发挥提高合格率的效果。而且，由于桥接部将流体路径在横切状态下进行配置，因而内外多个环形密封垫部中的在径向相邻的环形密封垫部彼此被连接成一体，作为部件被构成为单一的密封垫，所以，例如与各个环形密封垫部独立、采用多个密封垫的机构相比，可以削减组装所需的时间，而且，可以与所减少部件数量相应地减少密封垫散失的可能性。另外，虽然存在在组装状态中密封垫被压入流体给排口部等、在密接嵌装后将其拆除的操作困难的倾向，但是，本专利技术的流体密封垫是捏着桥接部拉，可以利用桥接部的存在而简单容易地进行拆除的操作。其结果，可提供这样的优选的状态的密封垫，其有望可以在使用了具有各种优点的集约板的配管系统中促进集约化等，将可以使流体设备彼此的接连构造进一步紧凑化的流体密封垫，通过桥接部将多个环形密封垫部一体化成为单一的部件，使得安装、拆除操作容易，提高效率。本专利技术在第一方面所述的流体密封垫中，其特征在于，所述桥接部的截面形状被设定成沿所述流体路径的轴心方向的尺寸大于沿相对于所述轴心方向的径向的尺寸。根据本专利技术，横切流体路径的桥接部可形成为难以对流体的流动产生阻力(妨碍)的截面形状，在桥接部几乎不对流体的流动产生不良影响的状态下发挥本专利技术第一方面的上述作用、效果。本专利技术在第一方面所述的流体密封垫中，其特征在于，所述桥接部被形成为可以对所述流体路径中的流体的流向进行改变的螺旋形。根据本专利技术，流体穿过被形成为螺旋形的桥接部，因而产生了将流体的流动方向改变、扭转的功能，例如，在其前方的管路较大弯曲、或在管路内壁上有凹凸的情况下，产生在这些弯曲部或凹部中搅动流体的作用，从而消除流体滞留在这些部位的情况，可提供具有能获得良好流动状况的效果的流体密封垫。本专利技术在第一方面所述的流体密封垫中，其特征在于，所述桥接部被形成为可以对所述流体路径中的流体的流动赋予螺旋运动的漩涡状。根据本专利技术，在水等的流体在管路内边旋转运动边流动的情况下，形成沿着其流动的形状的桥接部，可以减少对流动产生的阻力。本专利技术在第一方面所述的流体密封垫中，其特征在于，所述多个环形密封垫部设有的所述第一密封部具有第一环状槽，所述第一环状槽可以与所述第一流体给排口部的所述流体通路的外径侧部分上形成的第一环状突起嵌装而自由形成密封部，所述第一环状槽的截面形状大致呈H形，用于在所述第一流体给排口部和第二流体给排口部相互被牵拉、所述各个第一环状突起与所述各个第一环状槽以及所述各个第二环状突起与所述各个第二环状槽分别嵌装着的接合状态下，自由地形成所述各个第一环状突起与所述各个第一环状槽、以及所述各个第二环状突起与所述各个第二环状槽分别在径向被压接的嵌装密封部；所述多个环形密封垫部设有的所述第二密封部，设有与所述第二流体给排口部的所述流体通路的外径侧部分上形成的第二环状突起嵌装而自由形成密封部的第二环状槽。根据本专利技术，形成分别形成在第一、第二流体给排口部的环状突起与分别形成在环形密封垫部的第一密封部和第二密封部的环状槽相互嵌装的嵌装密封部，因此，可以阻止液体从第一、第二流体给排口部之间泄漏，获得优异的密封性。而且，可以通过维持机构将两流体给排口部彼此相互牵拉，维持由各个环形密封垫部密封的接合状态，所以，可以长期维持确保流体设备彼此没有液体泄漏的良好的密封性，提供可以使流体设备彼此的接连构造可靠性优良的流体密封垫。在此，在将凸部插入凹部的嵌装构造中，例如即使二者相互为相同的材质，凸侧的部件也几乎不会变化(压缩变形)，凹侧的部件具有扩张变形的倾向，这一点是公知的。在此，本专利技术第五方面中，在流体设备上形成作为凸的环状突起，并在流体密封垫中上形成作为凹的环状槽，因此，材料潜伸、经时间变化而产生的变形，会发生在作为与流体设备相比较小的部件的流体密封垫侧，而流体设备侧几乎不产生变形，所以，具有可以廉价地实现通过更换流体密封垫即本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体密封垫，其特征在于，所述流体密封垫具有多个环形密封垫部和桥接部；所述多个环形密封垫部为了使第一流体设备的第一流体给排口部和第二流体设备的第二流体给排口部各自的多个流体通路相对应、并在各个流体通路被密封的状态下进行连通接连，而夹装在所述第一流体给排口部和所述第二流体给排口部之间；所述第一流体设备设有第一流体给排口部，该第一流体给排口部将管状的流体通路或环状的流体通路与大于等于一个的环状的流体通路形成为同心状并开口；所述第二流体设备设有第二流体给排口部，该第二流体给排口部将管状的流体通路或环状的流体通路与大于等于一个的环状的流体通路形成为同心状并开口；而且，所述多个环形密封垫部形成有：与所述第一流体给排口部抵接进行密封的第一密封部、与所述第二流体给排口部抵接进行密封的第二密封部、及用于将所述第一流体给排口部的流体通路与所述第二流体给排口部的流体通路连通的流体路径；所述桥接部将所述多个环形密封垫部中的在径向相邻的环形密封垫部彼此连接成一体，以横切所述流体路径的状态配设着。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：桂将义，
申请(专利权)人：日本皮拉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]