波纹管泵装置制造方法及图纸

波纹管泵装置1的控制部6基于第1检测部29及第2检测部31的各检测信号，在第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩中途状态时判定第2波纹管14(第1波纹管13)是否处于规定的伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时，进行以使得对第2驱动部28(第1驱动部27)的第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力升高的方式，控制第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的下一次升压控制。(第1电气调压阀51)的下一次升压控制。(第1电气调压阀51)的下一次升压控制。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】波纹管泵装置


[0001]本专利技术涉及一种波纹管泵装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造、化学工业等中，作为为了输送供给药液、溶剂等移送流体而使用的波纹管泵，已知如下结构，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地伸缩而相对于内部吸入排出移送流体；以及一对气缸，它们通过加压空气的供给排出而使得各波纹管伸缩(例如，参照专利文献1)。专利文献1记载的波纹管泵以在一个波纹管即将最大收缩(排出结束)之前使得另一个波纹管从最大伸长状态收缩而排出移送流体的方式对各气缸的驱动进行控制。
[0003]通过以上述方式对各气缸的驱动进行控制，在一个波纹管从收缩切换为伸长(从移送流体的排出切换为吸入)的定时，另一个波纹管已经处于收缩而将移送流体排出的状态。由此，能够减少移送流体的排出压力在所述定时大幅下降的现象，因此能够减弱波纹管泵的排出侧的脉动。
[0004]专利文献1：日本特开2004
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293502号公报

技术实现思路

[0005]关于上述波纹管泵，直至一个波纹管即将最大收缩(排出结束)之前为止，需要预先使另一个波纹管伸长至最大程度(吸入结束)。然而，如果气氛温度、移送流体的流量等变化，则波纹管的硬度因其影响而变化。如果波纹管的硬度变化，则波纹管的伸长时间(吸入时间)变化，产生各种问题。
[0006]例如，如果另一个波纹管变硬，则另一个波纹管难以伸长，因此其伸长时间延长。于是，直至一个波纹管即将最大收缩之前为止，无法使另一个波纹管伸长至最大程度，波纹管泵的排出侧的脉动变差。r/>[0007]另外，如果另一个波纹管变软，则另一个波纹管容易伸长，因此其伸长时间缩短。于是，另一个波纹管的伸长速度加快，在另一个波纹管的内部产生负压。如果产生这种负压，则在将移送流体吸入至另一个波纹管内的吸入配管内产生称为“水锤”的冲击压力、气穴，有可能对半导体制造工艺等造成不良影响。
[0008]为了防止产生上述这种问题，需要以使得波纹管的伸长时间达到适当的时间的方式，将对对应的气缸的空气室供给的加压空气的空气压力重新设定为适当值。然而，关于当前的波纹管泵，每次在波纹管的伸长时间变化时，需要以手动方式重新设定所述空气压力。
[0009]本专利技术就是鉴于这种情形而提出的，其目的在于提供一种波纹管泵装置，在波纹管的伸长时间变化时，能够自动地重新设定用于使该波纹管伸长的加压流体的流体压力。
[0010](1)本专利技术是一种波纹管泵装置，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地伸缩自由，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，对所述吸入侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，对所述排出侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管收缩至规
定的收缩状态；以及控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，所述波纹管泵装置具有：一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，进行以使得下一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力升高的方式控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的下一次升压控制。
[0011]关于本专利技术的波纹管泵装置，在一个波纹管收缩至收缩中途状态时，有时另一个波纹管未伸长至规定的伸长状态。其原因在于，因另一个波纹管变硬而使得另一个波纹管的伸长时间延长。在这种情况下，控制部在下一次的另一个波纹管的伸长时进行使对对应的驱动部的吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力升高的下一次升压控制。由此，在另一个波纹管的伸长时间延长时，能够将用于使另一个波纹管伸长的加压流体的流体压力自动地重新设定为较高的值。其结果，下一次的另一个波纹管的伸长时间缩短，因此能够抑制因其伸长时间延长而导致波纹管泵装置的排出侧的脉动变差。
[0012](2)根据其他观点，本专利技术是一种波纹管泵装置，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地伸缩自由，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，对所述吸入侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，对所述排出侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管收缩至规定的收缩状态；以及控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，所述波纹管泵装置具有：一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号而在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时、或者在所述一个波纹管收缩至所述收缩状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，进行以使得与当前时刻伸长的所述另一个波纹管相关的所述流体压力逐渐升高的方式控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的当前升压控制。
[0013]关于本专利技术的波纹管泵装置，在一个波纹管收缩至收缩中途状态时、或者在一个波纹管收缩至收缩状态时，有时另一个波纹管未伸长至规定的伸长状态。其原因在于，因另一个波纹管变硬而使得另一个波纹管的伸长时间延长。在这种情况下，关于在当前时刻伸长的另一个波纹管，控制部进行使对对应的驱动部的吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力逐渐升高的当前升压控制。由此，在另一个波纹管的伸长时间延长时，能够以使得用于使另一个波纹管伸长的加压流体的流体压力变为逐渐升高的值的方式自动地重新设定。其结果，当前时刻的另一个波纹管的伸长时间缩短，因此能够抑制因其伸长时间延长而使得波纹管泵装置的排出侧的脉动变差。
[0014](3)根据其他观点，本专利技术是一种波纹管泵装置，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地伸缩自由，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；一
对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，对所述吸入侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，对所述排出侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管收缩至规定的收缩状态；以及控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，所述波纹管泵装置具有：一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种波纹管泵装置，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地自由伸缩，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，通过对所述吸入侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，通过对所述排出侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管收缩至规定的收缩状态；以及控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，所述波纹管泵装置具有：一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，进行以使得下一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力升高的方式，控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的下一次升压控制。2.一种波纹管泵装置，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地自由伸缩，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，通过对所述吸入侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，通过对所述排出侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管收缩至规定的收缩状态；以及控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，所述波纹管泵装置具有：一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时、或者在所述一个波纹管收缩至所述收缩状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，进行以使得与当前时刻伸长的所述另一个波纹管相关的所述流体压力逐渐升高的方式，控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的当前升压控制。3.一种波纹管泵装置，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地自由伸缩，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，通过对所述吸入侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，通过对所述排出侧流体室供给加
压流体从而使所述各波纹管收缩至规...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦田大辅，手岛一清，木下敦文，
申请(专利权)人：日本皮拉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：