一种应用于调整两个件同心的工装制造技术

本发明专利技术属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域，涉及一种应用于调整两个件同心的工装，包括同心定位销1，机械手同心定位手柄2，加热盘同心定位盘3；本发明专利技术调整同心的工装采用了等式的传递性原理来对晶圆传送机械手和加热盘进行同心调整，来实现准确、快速、简便的同心调整和检验，确保了晶圆受热的均匀性和沉积薄膜的均匀性。

A kind of tooling used to adjust the concentricity of two pieces

【技术实现步骤摘要】
一种应用于调整两个件同心的工装
本专利技术属于半导体薄膜沉积应用及制造
领域，涉及一种应用于调整两个件同心的工装。
技术介绍
利用半导体镀膜设备进行的薄膜沉积是一个非常复杂的工艺过程，其沉积的薄膜的质量不仅与工艺过程相关，与设备中关键硬件的装配精度也息息相关。在进行薄膜沉积工艺前，晶圆需要通过机械手传送到加热盘上，以实现基底的辐射加热，所以为了实现晶圆均匀受热和在均匀的工艺条件下进行镀膜，就必须要机械手和加热盘具有很好的同心度，这样晶圆经由机械手传到加热盘时才能保证与加热盘的同心度。而且晶圆落到加热盘后的同心度也是决定传片是否稳定的一个重要因素，晶圆若与加热盘偏心，可能会因偏心太大导致设备报警停止运行或晶圆碎裂，影响机台的运行时间。传统的安装测量过程繁琐，手动测量工具自身存在着误差，测量结果也随测量人员不同而有所差异。这样一来，无法保证每个机械手与加热盘的同心度误差在可接受范围内，沉积薄膜的均匀性无法得到保障。目前，随着半导体技术的不断发展，等离子体处理装置需求不断加大，当一个腔室内有好几个加热盘时，安装过程就需要大量的调整和检验，之前的手动测量方法已不能满足要求。针对准确、快速、简便、可批量生产的苛刻要求，需要一种可应用于调整和检验两个件同心的工装。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种应用于调整两个件同心的工装，该工装能够准确、快速、简便、可批量生产的调整和检验晶圆传送机械手和加热盘的同心度。本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种应用于调整两个件同心的工装，该工装利用等式的传递性原理，包括同心定位销1，机械手同心定位手柄2，加热盘同心定位盘3；所述机械手同心定位手柄2利用边上的三个凸点实现与机械手4的同心；所述加热盘同心定位盘3利用盘下边的三个爪实现与加热盘5的同心定位；所述同心定位销1连接机械手同心定位手柄2和加热盘同心定位盘3，并使得它们实现同心。所述工装本体为圆盘型结构，也可随设备安装工况调整。所述机械手同心定位手柄2和加热盘同心定位盘3的形状及尺寸可随需要调节同心的两个件的形状和大小及工况进行调整。所述的同心定位销1、机械手同心定位手柄2和加热盘同心定位盘3的公差配合可随需要调节同心的同心度要求进行调整。所述同心定位销1、机械手同心定位手柄2和加热盘同心定位盘3的材料可随需要调节同心的件的要求进行选择。所述工装只有3个件，价格便宜，安装及调整非常便捷。本专利技术的有益效果：本专利技术的调整同心的工装采用了等式的传递性原理来对晶圆传送机械手和加热盘进行同心调整，应用本专利技术实现了准确、快速、简便的同心调整和检验，确保了晶圆受热的均匀性和沉积薄膜的均匀性。附图说明为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术实施例1所述的调整前的组装结构示意图；图3为本专利技术实施例1所述的调整后的组装俯视结构示意图；图4为本专利技术实施例1所述的调整后的组装侧视结构示意图。具体实施方式一种应用于调整两个件同心的工装，如图1-4所示，该工装包括同心定位销1，机械手同心定位手柄2，加热盘同心定位盘3。利用等式的传递性原理，为使晶圆传送机械手4与加热盘5同心，可先让晶圆传送机械手4与机械手同心定位手柄2同心，加热盘5与加热盘同心定位盘3同心，最后用同心定位销1实现机械手同心定位手柄2与加热盘同心定位盘3，即完成同心调整。使用时，如图2，先将加热盘同心定位盘3与同心定位销1组装好，然后固定在加热盘5上，如图4，通过加热盘同心定位盘3盘下边的三个爪实现与加热盘5的同心定位，然后将机械手4与机械手同心定位手柄2组装定位好，如图4，同心定位手柄2边缘有三个凸点用于与机械手4进行同心定位；最后同心定位手柄2中心的孔与同心定位销1配合就实现了同心，如图3，最后固定好晶圆传送机械手4即可。以上公开的本专利技术优选实施例只是用于帮助阐述本专利技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该专利技术仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本专利技术的原理和实际应用，从而使所属
技术人员能很好地理解和利用本专利技术。本专利技术仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于调整两个件同心的工装，其特征在于，该工装利用等式的传递性原理，包括同心定位销(1)，机械手同心定位手柄(2)，加热盘同心定位盘(3)；所述机械手同心定位手柄(2)利用边上的三个凸点实现与机械手(4)的同心；所述加热盘同心定位盘(3)利用盘下边的三个爪实现与加热盘(5)的同心定位；所述同心定位销(1)连接机械手同心定位手柄(2)和加热盘同心定位盘(3)，并使得它们实现同心。

【技术特征摘要】
1.一种应用于调整两个件同心的工装，其特征在于，该工装利用等式的传递性原理，包括同心定位销(1)，机械手同心定位手柄(2)，加热盘同心定位盘(3)；所述机械手同心定位手柄(2)利用边上的三个凸点实现与机械手(4)的同心；所述加热盘同心定位盘(3)利用盘下边的三个爪实现与加热盘(5)的同心定位；所述同心定位销(1)连接机械手同心定位手柄(2)和加热盘同心定位盘(3)，并使得它们实现同心。2.根据权利要求1所述的一种应用于调整两个件同心的工装，其特征在于，所述工装本体为圆盘型结构。3.根据权利要求1所述的一种应用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏有雯，金基烈，吴凤丽，谭华强，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21