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本发明属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域，涉及一种应用于调整两个件同心的工装，包括同心定位销1，机械手同心定位手柄2，加热盘同心定位盘3；本发明调整同心的工装采用了等式的传递性原理来对晶圆传送机械手和加热盘进行同心调整，来实现准确、快速、...
该专利属于沈阳拓荆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳拓荆科技有限公司授权不得商用。

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