光刻设备和方法技术

本发明专利技术涉及一种光刻设备(100B)，其具有光学元件(202)，与所述光学元件(202)耦连的接口(204)，与所述接口(204)分开的构件(208)，所述构件直接地以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件(202)连接，其中，所述光学元件(202)具有啮合部段(210)并且所述构件(208)具有对应啮合部段(232)，所述对应啮合部段设置为啮合到所述啮合部段(210)中，以便把所述构件(208)以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件(202)连接。

Lithography equipment and methods

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光刻设备和方法本专利技术涉及一种光刻设备和用于制造这种光刻设备的方法。优先权文献DE102017203079.8的内容通过援引被完全引用。微光刻被用于制造微结构化的构造元件、例如集成电路。微光刻过程利用光刻设备执行，光刻设备具有照射系统和投影系统。在此，借助照射系统照射的掩膜(光罩)的像借助投影系统投影到用光敏层(感光电阻)涂层的并且布置在投影系统的像平面中的衬底、例如硅晶片上，以便将掩膜结构转移到衬底的光敏涂层上。在集成电路制造中寻求始终更小结构的驱动下，目前正在开发EUV光刻系统，该光刻系统使用具有0.1nm至30nm范围内、尤其13.5nm波长的光。在这种EUV光刻设备中，由于大多数材料对这些波长的光的高吸收率，必须使用反射光学器件、即反射镜，而不是(如迄今为止)折射光学器件、即透镜。光刻设备的光学元件、例如反射镜或者透镜可以借助接口、例如支座(Fassung)耦连。例如这种光学元件可以容纳在接口中。在接口上又可以有其他构件，例如遮光挡板，保护装置和尤其针对在浸没式光刻中的应用而言用于浸没液体或者冲洗介质的流体导引元件固定在接口上。在此需要额外构件相对于接口的校准。在此背景下，本专利技术要解决的技术问题在于提供一种改进的光刻设备。据此建议一种光刻设备，其带有光学元件，与光学元件耦连的接口，和与所述接口分开的构件，该构件直接地以形状配合和/或力配合方式与光学元件连接。在此，光学元件具有啮合部段并且所述构件具有对应啮合部段，对应啮合部段设置为啮合到所述啮合部段中，以便把所述构件以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件连接。通过所述构件直接固定在光学元件上可以避免所述构件间接地、即借助接口与光学元件连接。由此可以避免构件相对于接口的校准。此外可以避免针对所述构件的厚重和刚硬的构造方式。此外也可以实现结构空间减小。构件与接口的不期望的耦连被取消。此外也可以避免不可拆卸的或者难于拆卸的连接部，例如避免构件与光学元件的粘接。在此，直接的连接应理解为一种连接，其在构件和光学元件之间没有额外构件、例如螺栓或者夹紧装置，或者没有添加剂、例如粘合剂的情况下产生。就是说，构件径直地与光学元件连接。形状配合的连接通过至少两个连接配对件、在此即光学元件和接口的相互嵌合或者从后方的咬合实现。力配合的连接的前提是向待相互连接的面上的法向力。力配合的连接可以通过摩擦接合实现。只要通过静摩擦造成的抵抗力(即反作用力)未被超过，表面的相对的移动就被阻止。构件与接口分开应理解为，构件和接口是两个相互分开的结构元件，两者不相互连接或者耦连。也即不存在接口和构件之间的耦连或者连接。所述接口例如可以是支座。光学元件借助接口可以与光刻设备的投影系统、尤其与投影系统的承载架耦连。优选地，所述接口承载或者固持光学元件。例如光学元件可以容纳在接口中。接口可以借助连接与光学元件耦连。所述连接可以是形状配合、力配合或者说摩擦接合或者材料接合的连接。该连接也可以是组合式的形状配合、力配合和/或材料接合的连接。材料接合的连接中，连接配对件通过原子力或者分子力接合。材料接合的连接是不可拆卸的连接，这些连接只能通过破坏连接剂或者连接配对件分开。优选地，光学元件、接口和构件是光刻设备的光学系统的一部分。所述光学系统例如可以是光刻设备的投影系统。所述光学元件具有啮合部段并且所述构件具有对应啮合部段，对应啮合部段设置为啮合到所述啮合部段中，以便把所述构件以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件连接。在光学元件和构件之间的连接可以或者是仅形状配合的、仅力配合的或者可以是形状配合并且力配合的。例如，在光学元件和构件之间的连接可以沿第一空间方向或者x方向和沿第二空间方向或者y方向是形状配合的，以及沿第三或者z方向是力配合的。按照另一种实施方式，对应啮合部段具有可弹性变形的对应啮合元件。优选地配设至少两个对应啮合元件，它们相互对置地布置。在这两个对应啮合元件之间可以配设间隙。对应啮合元件优选构造为卡钩或者可以被称为卡钩。优选地，构件包括板形基础部段，该板形基础部段具有背朝光学元件的前侧面和面向光学元件的背侧面。优选地，带有对应啮合元件的对应啮合部段从背侧面出发向外延伸。每个对应啮合元件优选包括钩形的后咬合部段(Hintergreifabschnitt)以及基础部段，该基础部段布置在后咬合部段和构件的板形基础部段之间。优选地，该基础部段是可弹性变形的。在构件的基础部段的背侧面和光学元件的前侧面之间可以配设间隙。该间隙可以用介质、尤其用浸没液体填满、部分填满或者不含该介质。按照另一种实施方式，为了在构件和光学元件之间建立力配合的连接，对应啮合元件利用预紧力抵靠着啮合部段的壁被弹性地预紧。优选地，对应啮合元件分别具有可弹性变形的基础部段和后咬合部段，后咬合部段设置为把预紧力施加到壁上。优选地，啮合部段构造为筒形的孔或者构造为槽。对于啮合部段设计为筒形的孔的情况，所述壁同样筒形地构造并且围绕啮合部段环绕。对于啮合部段是槽形的情况，配设两个相互对置的壁。尤其地，对应啮合部段的每个对应啮合元件都向所述壁上施加预紧力。优选的是，所述构件由具有很小的蠕变倾向的材料、尤其塑料材料制成。蠕变指的是对于材料而言在不变的负载下根据时间和温度的塑性的变形。通过材料具有很小的蠕变倾向，可以保证始终保持预紧力。按照另一种实施方式，为了在构件和光学元件之间建立形状配合的连接，对应啮合元件以形状配合方式从后咬合啮合部段的侧凹部(Hinterschnitt)。侧凹部优选截头锥形地或者楔形或者说箭头形地构造。按照另外的实施方式，对应啮合元件分别具有可弹性变形的基础部段和后咬合部段，后咬合部段设置为以形状配合方式从后咬合侧凹部。在对应啮合元件之间优选配设有间隙。在构件在光学元件上固定的情况中，对应啮合元件被压入啮合部段中，其中，对应啮合元件的基础部段变形。对应啮合部段的后咬合部段则卡入啮合部段的侧凹部中，并且把所述构件以形状配合方式与光学元件连接。按照另外的实施方式，啮合部段具有第一部段、第二部段和布置在第一部段和第二部段之间的侧凹部，其中，第一部段的宽度或者直径小于第二部段的宽度或者直径。第一部段可以相对于中轴线或者对称轴线旋转对称地构造。备选地，第一部段可以槽形地构造。第二部段同样可以相对于对称轴线旋转对称地或者槽形地构造。侧凹部优选同样相对于中轴线旋转对称地以截头锥形状构造或者构造为具有倾斜的侧壁的槽形几何形状。因此，啮合部段优选构造为分级的孔或者分级的槽。因为第一部段的宽度或者直径小于第二部段的宽度或者直径，所以所述构件可以沿第三空间方向或者z方向在光学元件上固定。优选地，对应啮合部段的宽度至少略微小于第一部段的宽度或者直径，后咬合部段的宽度优选同样至少略微小于第二部段的宽度或者直径。优选地，对应啮合部段的深度也小于啮合部段的对应的深度。由此可以在构件的安装状态中不把应力带入光学元件中。仅在将构件安装在光学元件上的过程中会将微小的应力带入光学元件中。按照另外的实施方式，啮合部段从光学元件的面向所述构件的前侧面沿向光学元件的背侧面的方向延伸到光学元件中。优选地，啮合部段构造为从前侧面出发的、尤其分级的孔或者槽。按照另外的实施方式，啮合部段从光学元件的侧壁延伸到光学元件中。优选地，啮合部段构造为环绕本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻设备(100B)，其具有：光学元件(202)，接口(204)，所述接口(204)与所述光学元件(202)耦连，与所述接口(204)分开的构件(208)，所述构件(208)直接地以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件连接。其中，所述光学元件(202)具有啮合部段(210)，所述构件(208)具有对应啮合部段(232)，所述对应啮合部段设置为啮合到所述啮合部段(210)中，以便把所述构件(208)以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件(202)连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.24 DE 102017203079.81.一种光刻设备(100B)，其具有：光学元件(202)，接口(204)，所述接口(204)与所述光学元件(202)耦连，与所述接口(204)分开的构件(208)，所述构件(208)直接地以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件连接。其中，所述光学元件(202)具有啮合部段(210)，所述构件(208)具有对应啮合部段(232)，所述对应啮合部段设置为啮合到所述啮合部段(210)中，以便把所述构件(208)以形状配合和/或力配合方式与所述光学元件(202)连接。2.按照权利要求1所述的光刻设备，其中，所述对应啮合部段(232)具有可弹性变形的对应啮合元件(234、236)。3.按照权利要求2所述的光刻设备，其中，为了在所述构件(208)和所述光学元件(202)之间建立力配合的连接，所述对应啮合元件(234、236)利用预紧力(FV)抵靠啮合部段(210)的壁(244)被弹性地预紧。4.按照权利要求2所述的光刻设备，其中，为了在所述构件(208)和所述光学元件(202)之间建立形状配合的连接，所述对应啮合元件(234、236)以形状配合方式从后咬合啮合部段(210)的侧凹部(224)。5.按照权利要求4所述的光刻设备，其中，对应啮合元件(234、236)分别具有可弹性变形的基础部段(238)和后咬合部段(240)，所述后咬合部段设置为以形状配合方式从后咬合所述侧凹部(224)。6.按照权利要求4或5所述的光刻设备，其中，啮合部段(210)具有第一部段(220)、第二部段(222)和布置在第一部段(220)和第二部段(222)之间的侧凹部(224)，其中，第一部段(22...

【专利技术属性】
技术研发人员：B利鲍格，FJ斯蒂克尔，J霍夫曼，D杜尔，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE