一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法技术

本发明专利技术涉及一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法，该方法首先在激光直接成像设备的基础台面（吸盘）上设置两个圆形的MARK1和MARK2，并且使激光直接成像设备中的左侧对准相机和右侧对准相机分别可以移动到MARK1和MARK2的中心位置处，然后通过计算MARK1和MARK2在X方向上和Y方向上的间距，并分别采用左侧对准相机和右侧对准相机测量MARK1和MARK2的中心坐标，最后再根据计算出的间距和测量出的中心坐标值，准确测量出两个对准相机之间的位置误差。本发明专利技术对对准相机的安装位置没有限定，有效解决了两个对准相机距离远就无法快速标定位置关系的问题，具有方法简单快速、准确度高等特点。

An Automatic Calibration Method of Position Relation of Alignment Camera for Laser Direct Imaging Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法
本专利技术涉及印刷电路板图形转移
，具体涉及一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法。
技术介绍
对于印刷电路板加工领域，尤其是高精度HDI板和封装基板的制造，图像转移设备无疑是其中最核心的部分。目前，印刷电路板（PCB）图像转移设备有两大类：传统的投影式曝光设备和激光直接成像设备（LDI）。传统的投影式曝光设备图形已经印制在菲林底片上，通过紫外线照射菲林底片将图形转移到表面覆有感光干膜的PCB上，干膜曝光完成后经过化学溶液将未曝光部分的干膜溶解掉，剩下的干膜就是所要制作的图形。而在激光直接成像设备中，激光束发出的紫外光将曝光图形通过空间光调制器直接扫描成像在感光干膜上，再经过同样的化学显影。在激光直接成像设备中，激光束将曝光图形通过空间光调制器直接扫描成像在感光干膜上，扫描成像的图形需要准确定位在电路板上，这就需要使用到多个对准相机，并且多个对准相机之间的位置关系需要在系统中准确标定。由于对准相机机械安装会有精度误差，这就必须进行位置标定，准确测量相机的位置误差。目前，测量对准相机位置关系误差的方法必须多个相机能够测量同一个MARK，这样限制了相机的安装距离，距离大无法测量同一个MARK，则无法标定。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法，该方法能够解决现有技术中存在的不足，准确测量激光直接成像设备中的两个对准相机之间的位置误差。为实现上述目的，本专利技术采用了以下技术方案：一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法，该方法包括以下步骤：（1）建立激光直接成像设备的基础台面的直角坐标系。所述基础台面即指激光直接成像设备的吸盘。（2）在基础台面上粘贴圆形MARK1，使激光直接成像设备中左侧的对准相机可以移动到该MARK1的中心处；设MARK1中心的坐标为（X1，Y1）。（3）在基础台面上粘贴圆形MARK2，使激光直接成像设备中右侧的对准相机可以移动到该MARK2的中心处；设MARK2中心的坐标为（X2，Y2）。（4）计算MARK1与MARK2在X方向上的间距DX=X2－X1。（5）计算MARK1与MARK2在Y方向上的间距DY=Y2－Y1。（6）采用激光直接成像设备中左侧的对准相机测量MARK1中心的坐标（X1′，Y1′）。（7）采用激光直接成像设备中右侧的对准相机测量MARK2中心的坐标（X2′，Y2′）。（8）采用公式EX=X2′－X1′－DX计算激光直接成像设备中左侧对准相机与右侧对准相机在X方向上的位置关系误差EX。（9）采用公式EY=Y2′－Y1′－DY计算激光直接成像设备中左侧对准相机与右侧对准相机在Y方向上的位置关系误差EY。由以上技术方案可知，本专利技术首先在激光直接成像设备的基础台面（吸盘）上设置两个圆形的MARK1和MARK2，并且使激光直接成像设备中的左侧对准相机和右侧对准相机分别可以移动到MARK1和MARK2的中心位置处，然后通过计算MARK1和MARK2在X方向上和Y方向上的间距，并分别采用左侧对准相机和右侧对准相机测量MARK1和MARK2的中心坐标，最后再根据计算出的间距和测量出的中心坐标值，准确测量出两个对准相机之间的位置误差。本专利技术对对准相机的安装位置没有限定，有效解决了两个对准相机距离远就无法快速标定位置关系的问题，具有方法简单快速、准确度高等特点。附图说明图1是本专利技术的方法流程图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术做进一步说明：如图1所示的一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法，该方法包括以下步骤：（1）建立激光直接成像设备的基础台面的直角坐标系。所述基础台面即指激光直接成像设备的吸盘。（2）在基础台面上粘贴圆形MARK1，使激光直接成像设备中左侧的对准相机可以移动到该MARK1的中心处；设MARK1中心的坐标为（X1，Y1）=（100mm，800mm）。（3）在基础台面上粘贴圆形MARK2，使激光直接成像设备中右侧的对准相机可以移动到该MARK2的中心处；设MARK2中心的坐标为（X2，Y2）=（500mm，800mm）。（4）计算MARK1与MARK2在X方向上的间距DX=X2－X1=400mm。（5）计算MARK1与MARK2在Y方向上的间距DY=Y2－Y1=0mm。（6）采用激光直接成像设备中左侧的对准相机测量MARK1中心的坐标（X1′，Y1′）=（100.001mm，800.002mm）。（7）采用激光直接成像设备中右侧的对准相机测量MARK2中心的坐标（X2′，Y2′）=（500.008mm，799.996mm）。（8）采用公式EX=X2′－X1′－DX计算激光直接成像设备中左侧对准相机与右侧对准相机在X方向上的位置关系误差EX。在本实施例中，EX=X2′－X1′－DX=500.008－100.001－400=0.007mm。（9）采用公式EY=Y2′－Y1′－DY计算激光直接成像设备中左侧对准相机与右侧对准相机在Y方向上的位置关系误差EY。在本实施例中，EY=Y2′－Y1′－DY=799.996-800.002-0=－0.006mm。以上所述的实施例仅仅是对本专利技术的优选实施方式进行描述，并非对本专利技术的范围进行限定，在不脱离本专利技术设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本专利技术的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本专利技术权利要求书确定的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：（1）建立激光直接成像设备的基础台面的直角坐标系；（2）在基础台面上粘贴圆形MARK1，使激光直接成像设备中左侧的对准相机可以移动到该MARK1的中心处；设MARK1中心的坐标为（X1，Y1）；（3）在基础台面上粘贴圆形MARK2，使激光直接成像设备中右侧的对准相机可以移动到该MARK2的中心处；设MARK2中心的坐标为（X2，Y2）；（4）计算MARK1与MARK2在X方向上的间距DX=X2－X1；（5）计算MARK1与MARK2在Y方向上的间距DY=Y2－Y1；（6）采用激光直接成像设备中左侧的对准相机测量MARK1中心的坐标（X1′，Y1′）；（7）采用激光直接成像设备中右侧的对准相机测量MARK2中心的坐标（X2′，Y2′）；（8）采用公式EX= X2′－X1′－DX计算激光直接成像设备中左侧对准相机与右侧对准相机在X方向上的位置关系误差EX；（9）采用公式EY= Y2′－Y1′－DY计算激光直接成像设备中左侧对准相机与右侧对准相机在Y方向上的位置关系误差EY。

【技术特征摘要】
1.一种激光直接成像设备对准相机位置关系自动标定方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：（1）建立激光直接成像设备的基础台面的直角坐标系；（2）在基础台面上粘贴圆形MARK1，使激光直接成像设备中左侧的对准相机可以移动到该MARK1的中心处；设MARK1中心的坐标为（X1，Y1）；（3）在基础台面上粘贴圆形MARK2，使激光直接成像设备中右侧的对准相机可以移动到该MARK2的中心处；设MARK2中心的坐标为（X2，Y2）；（4）计算MARK1与MARK2在X方向上的间距DX=X2...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤勇，严孝年，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34