【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术关于一种用于投射曝光装置的光学元件、一种具有此光学元件的投射光学单元、以及一种具有此光学元件和/或此投射光学单元的投射曝光装置。优先权申请案第de 10 2021 208 879.1号的内容整个并入供参考。
技术介绍
1、微光刻技术系用于生成微结构化部件，诸如，例如集成电路等。该微光刻技术工艺使用具有照明系统和投射系统的光刻装置进行。在这情况下，借助该照明系统所照明的掩模(掩模版)的像借助该投射系统投射到基板(例如涂布有光敏层(光刻胶)并配置在该投射系统的像平面中的硅晶片)上，以将该掩模结构转印到该基板的光敏涂层上。
2、在集成电路的生产中，受到对于越来越小结构需求的驱驶，目前正在开发使用波长范围在0.1nm与30nm内、特别是13.5nm的光的euv光刻装置。在此euv光刻装置的情况下，由于大多数材料对此波长的光的高吸收率，因此必须使用反射光学单元(即反射镜)，而非(如先前)折射光学单元(即透镜元件)。
3、在用于euv范围的投射系统中，未来趋势是朝向高数值孔径(numericalaperture，na)。因此，期望光学表面以及因此反射镜将变得更大。由于高控制带宽尤其依各自反射镜本体的第一内部固有频率而定，因此这种趋势使得该高控制带宽的目的更困难。低固有频率导致闭环控制所需的传感器开始在低频范围内振动。所以，刚体闭环控制在低频下已不稳定。
4、可能显示圆柱反射镜本体的第一固有频率ω与各反射镜的厚度d成正比，而与光学表面的半径r的平方成反比。这是由于以下事实：质量与d*r2成正比且刚
技术实现思路
1、在此背景下，本专利技术的目的是提供改良的光学元件。
2、因此，提出一种用于投射曝光装置的光学元件。该光学元件包含反射镜本体，其具有光学作用面，该反射镜本体包含底座部位，其承载传感器系统；以及边缘部位，在其上设置用于将致动器连接到光学元件的致动器连接器，该底座部位具有比该边缘部位更大的刚度，且该反射镜本体包含加强肋结构，其附接到后侧上的边缘部位。
3、由于该底座部位具有比该边缘部位更大的刚度，使得所述底座部位可用作用于该传感器系统的连接点。因此，该光学元件的刚体移动可使用测量技术检测至最佳可能程度，而不会妨害自然振动。该不硬的边缘部位可挖空，以减轻重量。
4、该光学元件较佳为反射镜。特别是，该光学元件是投射曝光装置的投射光学单元的一部分。举例来说，该反射镜本体可由陶瓷或玻璃陶瓷材料制造。该光学作用面适用于反射euv辐射。特别是，该光学作用面是反射镜表面。该光学作用面可借助于涂布方法应用于该反射镜本体。
5、较佳是，该底座部位是与该边缘部位相比显著更大块的块状或圆柱实心体形式。该传感器系统附接到该底座部位。较佳为，该边缘部位是面板状或板状，并具有与该底座部位相比显著更低的材料强度。因此，该边缘部位与该底座部位相比大体上更软。在本专利技术情况下，“刚度”相当一般来说是理解成意指本体对由于力或扭矩的弹性变形的抵抗力。刚度可受到所利用几何形状和所利用材料影响。在本专利技术情况下，该边缘部位具有与该底座部位相比更薄的壁，这得出该边缘部位与该底座部位相比更低的刚度。
6、较佳是，该光学元件具有六个自由度。特别是，该光学元件具有沿着x-方向、y-方向、和-z方向的三个平移自由度。此外，该光学元件具有在每种情况下皆环绕x-方向、y-方向、和-z方向的三个旋转自由度。在本专利技术情况下，该光学元件的“定位”应理解为其坐标，或关于该x-方向、该-y方向、和该z-方向提供在该光学元件上的测量点的坐标。在本专利技术情况下，该光学元件的“定向”应理解为其倾斜，或测量点绕着该x-方向、该y-方向、和该z-方向的倾斜。在本专利技术情况下，“姿态”应理解为该光学元件的定位和定向两者。
7、借助于致动器，可影响或调整该光学元件的姿态。例如，该光学元件可从实际姿态移动为目标姿态。“调整”或“对准”可理解成意指将该光学元件从其实际姿态移动成其目标姿态。较佳是，所述致动器连接器设置在该边缘部位上。举例来说，已知为洛仑兹(lorentz)致动器者可用作致动器，并耦接到所述致动器连接器。
8、根据一具体实施例，该光学作用面设置在该边缘部位的前侧上，而所述致动器连接器设置在该边缘部位的后侧上。
9、该光学作用面可为平坦的。该光学作用面也可为曲面的，例如超环面(toroidally)曲面。较佳是，设置三个此类致动器连接器，并以三角形方式配置。
10、该反射镜本体包含附接到该边缘部位的后侧的加强肋结构。
11、借助于该肋结构，可至少在各部位上加固该边缘部位，并同时得到该光学元件的低重量。如前述，该“后侧”意指背对该光学作用面。
12、根据一进一步具体实施例，该肋结构包含蜂巢几何形状。
13、特别是，此意指该肋结构具有相互合并或相互相交的多个不同肋或肋部位，并从而形成蜂巢区域。该蜂巢几何形状的蜂巢可具有任何所需形状。
14、根据一进一步具体实施例，该肋结构连接到所述致动器连接器，以加固后者。
15、因此，防止在所述致动器连接器的区域中的边缘部位的非所需变形。有局部固化。举例来说，所述致动器连接器形成为从该边缘部位的后侧突出的圆柱几何形状。该肋结构的各部分牢固连接到这些圆柱几何形状，使得所述致动器连接器周围有比该边缘部位的其余部分更高的刚度。
16、根据一进一步具体实施例，该传感器系统包含测量目标，其配置成与测量仪器的测量射束相互作用。
17、举例来说，所述测量目标可为反射镜或具有反射面。举例来说，该测量仪器可为干涉仪。借助于该测量仪器或借助于多个测量仪器，该光学元件的姿态可通过测量目标来检测。除了所述测量目标外，该传感器系统可包含任何所需类型的传感器。
18、根据一进一步具体实施例，所述致动器连接器设置在该边缘部位的边缘处。
19、在本专利技术情况下，“在边缘处”意指所述致动器连接器尽可能接近于该边缘部位的边缘或外缘置放。
20、根据一进一步具体实施例，该边缘部位为板状，而该底座部位为块状。
21、举例来说，该底座部位可为具椭圆形底座的圆柱体。然而，该底座部位也可为立方体。原则上，该底座部位可具有任何所需几何形状。特别是，该边缘部位为板状，或具有与该底座部位相比显著更薄的壁。该底座部位从后侧上的该边缘部位延伸出去。
22、根据一进一步具体实施例，该边缘部位具有比该底座部位更薄的壁。
23、举例来说，该边缘部位可具有比该底座部位更薄5、10、或15倍的壁。因此，该边缘部位大体上比该底座部位更软，然而该边缘部位能够借助于所述肋结构至少在各部位被加强。
24、根据一进一步本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于投射曝光装置(1)的光学元件(100A、100B)，包含：
2.如权利要求1所述的光学元件，其中该光学作用面(102)设置在该边缘部位(120、136)的前侧上，且其中所述致动器连接器(122、124、126)设置在该边缘部位(120、136)的后侧上。
3.如权利要求1或2所述的光学元件，其中该肋结构(128、130、138、140)包含蜂巢几何形状。
4.如权利要求1至3中任一项所述的光学元件，其中该肋结构(128、130、138、140)连接到所述致动器连接器(122、124、126)，以加强后者。
5.如权利要求1至4中任一项所述的光学元件，其中该传感器系统(108、110)包含测量目标，其配置成与测量仪器(116、118)的测量射束(112、114)相互作用。
6.如权利要求1至5中任一项所述的光学元件，其中所述致动器连接器(122、124、126)设置在该边缘部位(120、136)的边缘处。
7.如权利要求1至6中任一项所述的光学元件，其中该边缘部位(120、136)为板状，且其中该底
8.如权利要求1至7中任一项所述的光学元件，其中该边缘部位(120、136)具有比该底座部位(106、132)更薄的壁。
9.如权利要求1至8中任一项所述的光学元件，其中该反射镜本体(104)系单体部件或多部分部件。
10.如权利要求9所述的光学元件，其中该底座部位(132)和该边缘部位(136)在该反射镜本体(104)为多部分部件的情况下，在接合表面(134)处相互接合。
11.如权利要求1至10中任一项所述的光学元件，其中该反射镜本体(104)被主动冷却。
12.如权利要求11所述的光学元件，其中冷却通道(150、152)为了主动冷却该反射镜本体(104)的目的而被引导通过该反射镜本体(104)。
13.一种用于投射曝光装置(1)的投射光学单元(10)，其具有如权利要求1至12中任一项所述的至少一个光学元件(100A、100B)、以及为了调整该光学元件(100A、100B)的目的而连接到所述致动器连接器(122、124、126)的多个致动器。
14.一种投射曝光装置(1)，具有如权利要求1至12中任一项所述的至少一个光学元件(100A、100B)和/或如权利要求13所述的投射光学单元(10)。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于投射曝光装置(1)的光学元件(100a、100b)，包含：
2.如权利要求1所述的光学元件，其中该光学作用面(102)设置在该边缘部位(120、136)的前侧上，且其中所述致动器连接器(122、124、126)设置在该边缘部位(120、136)的后侧上。
3.如权利要求1或2所述的光学元件，其中该肋结构(128、130、138、140)包含蜂巢几何形状。
4.如权利要求1至3中任一项所述的光学元件，其中该肋结构(128、130、138、140)连接到所述致动器连接器(122、124、126)，以加强后者。
5.如权利要求1至4中任一项所述的光学元件，其中该传感器系统(108、110)包含测量目标，其配置成与测量仪器(116、118)的测量射束(112、114)相互作用。
6.如权利要求1至5中任一项所述的光学元件，其中所述致动器连接器(122、124、126)设置在该边缘部位(120、136)的边缘处。
7.如权利要求1至6中任一项所述的光学元件，其中该边缘部位(120、136)为板状，且其中该底座部位(106、132)为块状。
8.如权利要求1至7中...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·库格勒，M·内夫齐，M·费策，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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