硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具制造技术

技术编号:22080902 阅读:55 留言:0更新日期:2019-09-12 15:58
本实用新型专利技术公开了硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具,包括内套筒,内套筒的顶部的前后侧面分别设置有吊耳,吊耳的下部设置有滑柱,内套筒的底部的圆周方向均布设置有多组固定孔,内套筒的外部套设有外套筒,外套筒从上到下依次设置为上套体、连接杆、下套体和齿状体,上套体的左右侧面固定设置有把手,上套体的前后侧面设置有滑槽孔,滑柱位于滑槽孔内,齿状体的左右侧面分别设置有齿条齿,固定孔内设置有小齿轮,小齿轮包括内杆、齿部和外杆,外杆的前后两侧卡接有旋转环,旋转环的数量是多个;使用时,通过吊具将本实用新型专利技术置入夹套内,通过内套筒与外套筒的配合取出断裂的硅棒;本实用新型专利技术具有结构精巧、安全无污染的优点。

Fractured Silicon Rod Extraction Tool for Electron-grade Polycrystalline Silicon Thermal Decomposition Furnace by Silane Process

【技术实现步骤摘要】
硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具
本技术属于多晶硅制造
,具体涉及硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具。
技术介绍
在生产出棒状多晶硅后,需要将整个硅棒取出,用绳索捆绑住油套内即将收获的硅棒,通过行车吊起绳索来提取硅棒,由于多晶硅棒直径为150mm左右,高度2000mm左右,抽取时,由于空间小、长度长、重量重、易碎裂,因此不易取出;在硅棒取出的过程中,由于生产时工艺的原因或者是取出时不小心,很容易发生硅棒断裂或破碎的现象,倘若这些破碎的硅棒掉落至地面,很容易造成污染,造成多晶硅纯度的降低,而太阳能级多晶硅与半导体级多晶硅由于纯度的不同,价格也不相同;为解决上述问题,开发一种结构精巧、安全无污染的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具很有必要。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足,而提供一种结构精巧、安全无污染的硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具。本技术的目的是这样实现的:硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具,包括内套筒,所述内套筒呈管状,所述内套筒的顶部的前后侧面分别设置有吊耳,所述吊耳的下部设置有滑柱,所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具,包括内套筒(1),其特征在于:所述内套筒(1)呈管状,所述内套筒(1)的顶部的前后侧面分别设置有吊耳(11),所述吊耳(11)的下部设置有滑柱(12),所述内套筒(1)的底部的圆周方向均布设置有多组固定孔(101),所述内套筒(1)的外部套设有外套筒(2),所述外套筒(2)从上到下依次设置为上套体(21)、连接杆(22)、下套体(23)和齿状体(24),所述上套体(21)的下部均布设置有多个连接杆(22),所述连接杆(22)的下部设置有下套体(23),所述下套体(23)的下部均布设置有多个齿状体(24),所述上套体(21)的左右侧面固定设置...

【技术特征摘要】
1.硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具,包括内套筒(1),其特征在于:所述内套筒(1)呈管状,所述内套筒(1)的顶部的前后侧面分别设置有吊耳(11),所述吊耳(11)的下部设置有滑柱(12),所述内套筒(1)的底部的圆周方向均布设置有多组固定孔(101),所述内套筒(1)的外部套设有外套筒(2),所述外套筒(2)从上到下依次设置为上套体(21)、连接杆(22)、下套体(23)和齿状体(24),所述上套体(21)的下部均布设置有多个连接杆(22),所述连接杆(22)的下部设置有下套体(23),所述下套体(23)的下部均布设置有多个齿状体(24),所述上套体(21)的左右侧面固定设置有把手(201),所述上套体(21)的前后侧面设置有滑槽孔(202),所述滑柱(12)位于滑槽孔(202)内,所述齿状体(24)的左右侧面分别设置有齿条齿(2401),所述固定孔(101)内设置有小齿轮(3),所述小齿轮(3)包括内杆(31)、齿部(32)和外杆(33),所述内杆(31)安装在固定孔(101)内并通过销轴进行固定,所述内杆(31)的外侧设置有齿部(32),所述齿部(32)与齿条齿(2401)相配合,所述齿部(32)的外侧设置有外杆(33),所述外杆(33)呈正多边形,所述外杆(33)的前后两侧卡接有旋转环(4),所述旋转环(4)的数量是多个。...

【专利技术属性】
技术研发人员:沈长丽杨鹏举蒋星光
申请(专利权)人:河南硅烷科技发展股份有限公司
类型:新型
国别省市:河南,41

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