本发明涉及区熔级多晶硅技术领域，具体公开了一种基于浸润性调控方法的区熔用电子级多晶硅制备系统，包括化学气象沉积炉、底板、通气柱节、侧围通气柱和通气底槽，每个通气柱节分别设置于化学气象沉积炉的内部，且多个通气柱节由下至上依次连通，底部的通...

本发明涉及区熔级多晶硅技术领域，具体公开了一种制备低内应力区熔用电子级多晶硅浸润性调控的系统，包括化学气相沉积炉、底板、石墨夹头、进料喷口、气体混合罐和调配控制组件，底板设置于化学气相沉积炉的内部，每个石墨夹头分别与底板固定连接，每个进...

本发明公开了一种均匀生长区熔级多晶硅棒的方法。硅烷热解的分解炉由钟罩、硅棒、冷却夹套、石墨电极、进出口构成，本发明提供了制备多晶硅棒的最佳热通量、压力、进口流量、硅烷比率、冷却夹套的温度和硅烷原料的预热温度，以保证硅棒在炉内的均匀生长、...

本实用新型公开了一种可促进区熔级多晶硅均匀致密沉积的硅烷热分解炉，包括钟罩和底座；钟罩为带有冷却介质夹套的双层结构，其下部为圆筒型、上部为椭圆形型；底座为带冷却介质夹套的双层圆盘形结构；钟罩扣在底座上，形成甲硅烷热分解炉的内腔体，且在内...

本发明提供一种煤化工制氢的变压吸附式氢气净化器，涉及氢气净化技术领域，包括套筒；所述套筒整体为圆柱形状，且底部的中间位置开设有通孔，套筒的内部为空心状，套筒的内部下方位置固定连接有限位件，限位件中间内部为六边形空槽，限位件的六边形空槽壁...

本实用新型属于过滤装置技术领域，具体涉及一种硅烷充装系统用过滤装置；它包括外箱体，外箱体内设置导向杆和过滤箱，导向杆上设置中间导轮，过滤箱上设置过滤接管和导向槽；外箱体前后两侧壁板的内侧面上均固定设置有导轮座板，导轮座板上转动设置有侧导...

本实用新型属于处理装置技术领域，具体涉及一种硅粉残渣处理装置；它包括主体外壳，主体外壳上设置出口管道、入口管道和驱动电机，驱动电机连接轴杆；主体外壳侧壁上设置上托板和下托板，上托板连接上定磨盘，上定磨盘上设置有上定磨杆和上筛孔，上定磨盘...

本实用新型涉及一种氢气过滤滤芯，它包括滤芯本体，滤芯本体包括筒体，筒体的一端设置有下端盖，所述筒体的另一端设置有上端盖，上端盖的上侧中部设置有进气管，进气管内部设置有进气孔，进气管的外侧设置有螺纹，进气管的外部下侧设置有密封环，筒体的内...

本实用新型涉及一种氢气压缩机冷却结构，它包括基板和冷却器，基板内侧设置有氢气压缩机，氢气压缩机上方设置有导热板，导热板上方设置有油冷换热器，油冷换热器上方中部设置有排油口，排油口左侧设置有排油管，排油管左侧设置有冷却器，氢气压缩机右侧下...

本实用新型涉及一种硅粉残渣回收利用装置，它包括上料器和机械分离器，上料器右侧设置有机械分离器，机械分离器右侧设置有溶剂清洗塔，溶剂清洗塔右侧下方设置有第一离心分离机，第一离心分离机上方设置有第一蒸馏塔，第一离心分离机右侧设置有一次水洗塔...

本发明公开了一种抑制区熔级多晶硅CVD过程中硅枝晶生长的界面浸润性调控方法，涉及区熔级多晶硅领域，包括U型硅芯表面除去表面杂质；置于热裂解炉反应器内部，用氮气置换空气；用氢气置换氮气；持续通入氢气，对反应器内硅芯加载电流，使硅芯表面氧化...

本实用新型公开了一种焦炉煤气制氢吸附塔装置，包括振动底座和吸附塔体，振动底座上固定设置有吸附塔体，振动底座包括上支撑板、下支撑板、弹簧和振动电机，上支撑板和下支撑板之间设置有弹簧，上支撑板底端设置有振动电机，上支撑板顶端设置有吸附塔体，...

本实用新型涉及一种硅粉回收除尘装置，包括除尘器外壳、挡板和过滤装置，挡板包括上挡板和下档板，上挡板上设有多个圆孔a，下档板上设有多个圆孔b，过滤装置包括连接件、连接套管、固定件、袋笼、袋体和卡箍，连接件位于上挡板的上方，且连接件的外表面...

本实用新型公开了一种冷氢化除尘渣浆接收装置，包括接收罐，接收罐的上部呈圆弧形，接收罐的上部中心设置有接收管，接收管的右侧设置有液位测量安装架，接收管的左侧设置有气体循环管，接收罐的底部中心设置有渣浆排放管，气体循环管的左侧连接有出气管，...

本实用新型涉及一种硅烷充装系统用精过滤器，包括壳体，壳体内部设置有过滤装置，过滤装置包括第一过滤器和第二过滤器，第一过滤器与进气管连接，其包括密封块、连接块、滤管和滤网，滤管位于连接块和密封块之间，其外表面设有滤孔，滤网位于滤管的外部，...

本实用新型公开了一种硅烷纯化用过滤装置，包括密封罐体、端盖、法兰盘、上孔板、下孔板、过滤管、进气管、U型管和出气管，其中，密封罐体顶端固定连接有法兰盘，法兰盘上端通过螺栓固定连接有端盖，端盖上设置有出气管，密封罐体内部设置有过滤管、上孔...

本实用新型公开了一种冷氢化系统再沸器排渣防堵塞装置，包括进料管线，进料管线上设置有进料阀门，进料管线与再沸器相连接，再沸器的上部与精馏塔相连，再沸器的外壳采用双层结构，其中进料口和出料口分别与再沸器的外壳的内部空腔相连接，再沸器的下部通...

本实用新型公开了一种冷氢化系统热能综合利用装置，包括下壳体，下壳体的左侧下部设置有废气进料口，下壳体的底部中心设置有清理口，下壳体的上部从下往上通过法兰连接依次设置有第一冷凝器、第二冷凝器和第三冷凝器，第三冷凝器的上部设置有上壳体，上壳...

本实用新型公开了一种焦炉煤气制氢工艺中的输气管道，包括连接管道A、连接管道B、连接法兰、环形凹槽、压缩充气袋、微型充气泵、气体传感器和控制装置，连接管道A和连接管道B的接口处上分别设置有连接法兰，连接法兰上与连接管道A和连接管道B开口同...

本实用新型公开了一种焦炉煤气制氢用氢气缓冲罐，包括外罐体、内罐体、进气口、出气口和弹性缓冲板，其中，外罐体内部设置有内罐体，内罐体底端和外罐体内部底端固定连接，内罐体的侧壁和顶端与外罐体内侧壁和内部顶端之间留有气体通道，外罐体底端设置有...