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本实用新型公开了硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具,包括内套筒,内套筒的顶部的前后侧面分别设置有吊耳,吊耳的下部设置有滑柱,内套筒的底部的圆周方向均布设置有多组固定孔,内套筒的外部套设有外套筒,外套筒从上到下依次设置为上套体、...该专利属于河南硅烷科技发展股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南硅烷科技发展股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉用断裂硅棒抽取工具,包括内套筒,内套筒的顶部的前后侧面分别设置有吊耳,吊耳的下部设置有滑柱,内套筒的底部的圆周方向均布设置有多组固定孔,内套筒的外部套设有外套筒,外套筒从上到下依次设置为上套体、...