【技术实现步骤摘要】
一种用于制备电子级多晶硅的还原炉电极
本技术涉及多晶硅还原炉制造
，尤其是一种用于制备电子级多晶硅的还原炉电极。
技术介绍
电子级多晶硅的纯度高，一般应用于电子行业和半导体行业，传统的多晶硅还原炉电极的电极本体的头部采用在铜表面镀或喷银的方式，但银层在使用过程中可能产生破损脱落的情况，污染多晶硅的生产，使得无法制备得到电子级多晶硅，而且因需要重新喷或镀银，得从还原炉上进行麻烦地拆装，影响生产。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种用于制备电子级多晶硅的还原炉电极，其采用银制成的头部，能够长期稳定使用，无污染，有利于制备电子级多晶硅，且不必因需重新喷或镀银而经常拆装，而且头部与体部采用真空电子束焊接，焊缝纯净、光洁，无氧化等缺陷，不会在使用过程中污染多晶硅，同样有利于制备电子级多晶硅。为达到上述目的，本技术的技术方案是：一种用于制备电子级多晶硅的还原炉电极，包括电极本体，所述电极本体包括与石墨夹头相配合的头部和安装在还原炉底盘上的体部，所述头部由银制成，体部由铜制成，头部与体部通过真空电子束焊焊接。作为优选结构，头部由上至下依次包括配合部、凸台部和连接部，配合部上设有一个环形凹槽，环形凹槽的纵截面大体上呈倒梯形，凸台部相对配合部和连接部均向外凸出，连接部的底面与体部焊接。作为改进，头部内设有上水冷空腔，体部内设有下水冷空腔，上水冷空腔与下水冷空腔相互连通。本技术的有益效果是：电极本体包括与石墨夹头相配合的头部和安装在还原炉底盘上的体部，头部由银制成，体部由铜制成，头部与体部通过真空电子束焊焊接，这种电极采用银制成的头部，能够长期稳定使用，无污染，不必...
【技术保护点】
1.一种用于制备电子级多晶硅的还原炉电极，包括电极本体，其特征在于：所述电极本体包括与石墨夹头相配合的头部和安装在还原炉底盘上的体部，所述头部由银制成，体部由铜制成，头部与体部通过真空电子束焊焊接。
【技术特征摘要】
1.一种用于制备电子级多晶硅的还原炉电极，包括电极本体，其特征在于：所述电极本体包括与石墨夹头相配合的头部和安装在还原炉底盘上的体部，所述头部由银制成，体部由铜制成，头部与体部通过真空电子束焊焊接。2.根据权利要求1所述的一种用于制备电子级多晶硅的还原炉电极，其特征在于：所述头部由上至下依次包括配...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗文富，
申请(专利权)人：厦门佰事兴新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35
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