【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材绑定的装置
本技术涉及一种旋转靶材绑定的装置。
技术介绍
磁控溅射镀膜靶材在使用时，需要将靶材与背板焊接在一起。通常采用铟为焊料进行钎焊。近些年，由于平面靶材的利用率低（不到40%），而旋转靶材的利用率高达80%，平面靶材逐渐显现出被旋转靶材取代的迹象。旋转靶材在使用时，旋转靶材套在铜管（即背管）外并与铜管钎焊在一起，焊层厚度在1毫米左右。在旋转靶材与背管钎焊（绑定）的过程中，现有技术多是将旋转靶材竖直放置，然后对其进行加热，将熔化的铟注入背管与靶材之间1毫米的间隙中，然后冷却，达到将靶材和铜管焊接的目的。这种方法存在以下不足之处：一方面，需要将旋转靶材竖直放置，旋转靶材的长度通常在2-3米，并有加长的趋势，对厂房高度有要求，且高空作业不方便；另一方面，各厂家使用的旋转靶材长短不一，所以同一长度的加热棒，并不能适应多个长度规格，需要准备多根不同长度的加热棒，增加了零部件的购买成本和管理工作。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种结构简单的旋转靶材绑定的装置，可对平躺放置的旋转靶材进行绑定，适应各种长度的旋转靶材，不需要进行高空作业，对厂房没有特...
【技术保护点】
1.一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：包括机架（1）、铟溢流封口头（2）、具有加热功能的铟注入封口头组件（3）、若干个靶材位置调节座（6）、1对管支架（7）和用于密封背管的油浴堵头（4）、油浴加热堵头（5），所述机架主要是由操作平台（11）和安装在操作平台下方的支架（12）构成，所述操作平台上开有长条形通道（13），铟溢流封口头通过1个管支架支撑在操作平台的长条形通道上方，所述铟注入封口头组件（3）包括储铟槽（31）、铟注入封口头（34）、封头支架（32）、和用于加热储铟槽的加热器（33）；所述铟溢流封口头和铟注入封口头均是由开有通孔的连接板和分别连接在连接板两侧的大管、...
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材绑定的装置，其特征在于：包括机架（1）、铟溢流封口头（2）、具有加热功能的铟注入封口头组件（3）、若干个靶材位置调节座（6）、1对管支架（7）和用于密封背管的油浴堵头（4）、油浴加热堵头（5），所述机架主要是由操作平台（11）和安装在操作平台下方的支架（12）构成，所述操作平台上开有长条形通道（13），铟溢流封口头通过1个管支架支撑在操作平台的长条形通道上方，所述铟注入封口头组件（3）包括储铟槽（31）、铟注入封口头（34）、封头支架（32）、和用于加热储铟槽的加热器（33）；所述铟溢流封口头和铟注入封口头均是由开有通孔的连接板和分别连接在连接板两侧的大管、小管构成，大管和小管之间相互连通，连接板具有上下连通的中空通道；所述储铟槽安装在封头支架上，铟注入封口头位于储铟槽下方，铟注入封口头的连接板与储铟槽底面连接，铟注入封口头连接板的中空通道即是连通储铟槽与连接板通孔的铟流出通道，铟注入封口头组件通过封头支架放置在操作平台的长条形通道上方，铟注入封口头通过另1个管支架支撑在操作平台上，靶材位置调节座（6）放置在操作平台的长条形通道上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间；所述油浴堵头（4）设置有蒸汽槽（41）和与蒸汽槽连通的蒸汽出口Ⅰ（42）；所述油浴加热堵头（5）设置有安装孔（51）和与安装孔连通的蒸汽出口Ⅱ...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆映东，张倍维，梁盈祥，莫斌，
申请(专利权)人：广西晶联光电材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：广西,45
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