【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种工装,具体涉及一种旋转靶材浇铸工装,属于机械
技术介绍
自旋转靶材被开发出来后,靶材的利用率由传统矩形平面靶材的40%提高到80%,大量节约镀膜成本,从此旋转靶材在大面积镀膜行业得到了广发应用。然而,制备长达4米的矩形靶材尚且不容易,而制备类似长度的中空圆柱靶材,更为不易,现有的旋转Sn、ZnSn、ZnAl等低熔点的靶材一般都是采用浇铸和喷涂工艺,在实际的实用过程中,存在着浇铸工艺制备的管型管不可避免晶粒的过分长大,影响镀膜的均匀性;喷涂工艺得到的管型管材料氧氮含量都比较高,且致密度较低,导致膜层品质与靶材寿命相对较低。现有技术中公开了一些旋转靶材的浇铸工装,例如CN102554149A、CN102260847A、CN104032271A、CN104399897A均公开了一种旋转靶材的立式浇铸工装,其工装组装难度大,安全性能差,而且靶材密度均匀性不够完美。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本技术提供一种旋转靶材浇铸工装,该旋转靶材浇铸工装用于低熔点的金属或合金旋转靶材的生产加工。可以加工旋转铟靶材,旋转锌铝靶材,旋转锌锡靶材,旋转锌锡铜靶材,旋转铝靶材等,采用横浇铸的形式,大大降低了模具安装的难度,也提高了浇铸操作的安全性。本技术的技术方案如下:一种旋转靶材浇铸工装,其包括内模、外模、锁紧装置、定位端盖、横浇道、直浇道以及冒口;所述外模设置在内模的外周;所述定位端盖用于连接内模和外模;所述锁紧装置用于锁紧定位端盖,并与内模螺纹连接;所述冒口在垂直轴向方向上设置在外模的管壁 ...
【技术保护点】
一种旋转靶材浇铸工装,其特征在于:包括内模、外模、锁紧装置、定位端盖、横浇道、直浇道以及冒口;所述外模设置在内模的外周;所述定位端盖用于连接内模和外模;所述锁紧装置用于锁紧定位端盖,并与内模螺纹连接;所述冒口在垂直轴向方向上设置在外模的管壁上。
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材浇铸工装,其特征在于:包括内模、外模、锁紧装置、定位端盖、横浇道、直浇道以及冒口;所述外模设置在内模的外周;所述定位端盖用于连接内模和外模;所述锁紧装置用于锁紧定位端盖,并与内模螺纹连接;所述冒口在垂...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈钦忠,张科,林志河,
申请(专利权)人:福建阿石创新材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:福建;35
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