本实用新型专利技术属于冷却设备领域，涉及靶材生产过程中使用的辅助装置，具体地说是一种热喷涂旋转靶材冷却装置，包括出水内套，所述出水内套一侧端部连接有衬管，出水内套的进水端连接有进水内套，所述进水内套端部密封连接有装夹端头；进水外套通过第一轴承、第二轴承转动支承于所述进水内套圆周面上，所述进水外套的圆周面上固定有进水管，所述进水内套在转动过程中对应于进水管底部一圈圆周面上设有若干进水口。本实用新型专利技术产品结构简单、构思巧妙合理，可以实现在冷却装置的同一端进水和出水，有效减轻旋转靶材在旋转中承受的重量，并且在生产过程中可以达到均匀的温度，不会因温度而造成成品率下降。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术属于冷却设备领域，涉及靶材生产过程中使用的辅助装置，具体地说是一种热喷涂旋转靶材冷却装置，包括出水内套，所述出水内套一侧端部连接有衬管，出水内套的进水端连接有进水内套，所述进水内套端部密封连接有装夹端头；进水外套通过第一轴承、第二轴承转动支承于所述进水内套圆周面上，所述进水外套的圆周面上固定有进水管，所述进水内套在转动过程中对应于进水管底部一圈圆周面上设有若干进水口。本技术产品结构简单、构思巧妙合理，可以实现在冷却装置的同一端进水和出水，有效减轻旋转靶材在旋转中承受的重量，并且在生产过程中可以达到均匀的温度，不会因温度而造成成品率下降。【专利说明】热喷涂旋转靶材冷却装置
本技术属于冷却设备领域，涉及靶材生产过程中使用的辅助装置，具体地说 是一种热喷涂旋转靶材冷却装置。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下 溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。 靶材在生产过程中有一道热喷涂工艺，在热喷涂工艺中需要对靶材进行冷却作 业。目前，常用的冷却方式主要有自然冷却和通过冷却装置冷却两种，其中自然冷却冷却效 率低下，而现有的冷却装置难以实现温度的均匀，导致成品率下降，同时现有装置还会导致 高速靶材结合强度低，导致生产成本较高。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种结构简单、巧妙、合 理的热喷涂旋转靶材冷却装置，该冷却装置可以有效提高旋转靶材的结合强度，降低生产 成本。 按照本技术提供的技术方案：一种热喷涂旋转靶材冷却装置，其特征在于： 包括出水内套，所述出水内套一侧端部连接有衬管，出水内套的进水端连接有进水内套，所 述进水内套端部密封连接有装夹端头；进水外套通过第一轴承、第二轴承转动支承于所述 进水内套圆周面上，所述进水外套的圆周面上固定有进水管，所述进水内套在转动过程中 对应于进水管底部一圈圆周面上设有若干进水口；所述出水内套圆周面上通过第三轴承、 第四轴承转动支承有出水外套，所述出水外套圆周面上固定有出水管，出水内套在转动过 程中对应于出水管底部一圈圆周面上设有若干出水口；所述衬管外侧端部固定有端盖，空 心轴末端通过紧固螺母固定于端盖上，所述端盖外侧还固定有密封端头。 作为本技术的进一步改进，所述衬管与出水内套的连接处固定有一定位圆 环。 作为本技术的进一步改进，所述空心轴靠近端盖一侧表面设有出水孔。 作为本技术的进一步改进，所述出水外套与出水内套两端连接处分别设有第 五密封圈、第四密封圈；在出水外套与出水内套之间对应于所述出水口两侧分别设有第二 密封圈、第三密封圈。 作为本技术的进一步改进，所述进水外套与进水内套相连接端部设有第一密 封圈；所述进水外套与进水内套之间对应于所述进水口的两侧分别设有一个〇型圈。 作为本技术的进一步改进，所述空心轴进水端伸入进水内套腔体中。 本技术与现有技术相比，优点在于：本技术产品结构简单、构思巧妙合 理，可以实现在冷却装置的同一端进水和出水，有效减轻旋转靶材在旋转中承受的重量，并 且在生产过程中可以达到均匀的温度，不会因温度而造成成品率下降。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术的结构示意图。 【具体实施方式】 下面结合具体附图和实施例对本技术作进一步说明。 如图1所示，包括出水内套1、出水外套2、出水管3、进水管4、进水外套5、进水内 套6、装夹端头7、衬管8、空心轴9、密封端头10、第一轴承11、第二轴承12、第三轴承13、第 四轴承14、进水口 15、出水口 16、端盖17、出水孔18、紧固螺母19、定位圆环20、第一密封圈 21、第二密封圈22、第三密封圈23、第四密封圈24、第五密封圈25、0型圈26、回流口 27等。 如图1所示，本技术一种热喷涂旋转靶材冷却装置，包括出水内套1，所述出 水内套1 一侧端部连接有衬管8,出水内套1的进水端连接有进水内套6,所述进水内套6 端部密封连接有装夹端头7 ;进水外套5通过第一轴承11、第二轴承12转动支承于所述进 水内套6圆周面上，所述进水外套5的圆周面上固定有进水管4,所述进水内套6在转动过 程中对应于进水管4底部一圈圆周面上设有若干进水口 15 ;所述出水内套1圆周面上通过 第三轴承13、第四轴承14转动支承有出水外套2,所述出水外套2圆周面上固定有出水管 3,出水内套1在转动过程中对应于出水管3底部一圈圆周面上设有若干出水口 16 ;所述衬 管8外侧端部固定有端盖17,空心轴9末端通过紧固螺母19固定于端盖17上，所述端盖 17外侧还固定有密封端头10。 所述衬管8与出水内套1的连接处固定有一定位圆环20。 所述空心轴9靠近端盖17 -侧表面设有出水孔18。 所述出水外套2与出水内套1两端连接处分别设有第五密封圈25、第四密封圈 24 ;在出水外套2与出水内套1之间对应于所述出水口 16两侧分别设有第二密封圈22、第 三密封圈23。 所述进水外套5与进水内套6相连接端部设有第一密封圈21 ;所述进水外套5与 进水内套6之间对应于所述进水口 15的两侧分别设有一个0型圈26。 所述空心轴9进水端伸入进水内套6腔体中。 本技术新型产品的工作过程如下：将进水管4连接于水管上，由进水管4流入 的水经过进水口 15流入进水内套6中，流入的水再流进空心轴9中，并从空心轴9端部的 出水孔18流入衬管8中，再经由回流口 27流入出水内套1中，并最终从出水内套1表面开 设的出水口 16流进出水管3,从出水管3中流出。【权利要求】1. 一种热喷涂旋转靶材冷却装置，其特征在于：包括出水内套（1)，所述出水内套（1) 一侧端部连接有衬管（8 )，出水内套（1)的进水端连接有进水内套（6 )，所述进水内套（6 )端 部密封连接有装夹端头（7);进水外套（5)通过第一轴承（11 )、第二轴承（12)转动支承于所 述进水内套（6)圆周面上，所述进水外套（5)的圆周面上固定有进水管（4)，所述进水内套 (6)在转动过程中对应于进水管（4)底部一圈圆周面上设有若干进水口（15);所述出水内 套（1)圆周面上通过第三轴承（13)、第四轴承（14)转动支承有出水外套（2)，所述出水外套 (2)圆周面上固定有出水管（3)，出水内套（1)在转动过程中对应于出水管（3)底部一圈圆 周面上设有若干出水口（ 16);所述衬管（8)外侧端部固定有端盖（17)，空心轴（9)末端通过 紧固螺母（19)固定于端盖（17)上，所述端盖（17)外侧还固定有密封端头（10)。2. 如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材冷却装置，其特征在于：所述衬管（8)与出水内 套（1)的连接处固定有一定位圆环（20)。3. 如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材冷却装置，其特征在于：所述空心轴（9)靠近端 盖（17)-侧表面设有出水孔（18)。4. 如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材冷却装置，其特征在于：所述出水外套（2)与出 水内套（1)两端连接处分别设有第五密封圈（25)、第四密封圈（24);在出水外套（2)与出水 内套（本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种热喷涂旋转靶材冷却装置，其特征在于：包括出水内套（1），所述出水内套（1）一侧端部连接有衬管（8），出水内套（1）的进水端连接有进水内套（6），所述进水内套（6）端部密封连接有装夹端头（7）；进水外套（5）通过第一轴承（11）、第二轴承（12）转动支承于所述进水内套（6）圆周面上，所述进水外套（5）的圆周面上固定有进水管（4），所述进水内套（6）在转动过程中对应于进水管（4）底部一圈圆周面上设有若干进水口（15）；所述出水内套（1）圆周面上通过第三轴承（13）、第四轴承（14）转动支承有出水外套（2），所述出水外套（2）圆周面上固定有出水管（3），出水内套（1）在转动过程中对应于出水管（3）底部一圈圆周面上设有若干出水口（16）；所述衬管（8）外侧端部固定有端盖（17），空心轴（9）末端通过紧固螺母（19）固定于端盖（17）上，所述端盖（17）外侧还固定有密封端头（10）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡习光，秦国强，张志祥，常金永，
申请(专利权)人：江阴恩特莱特镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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