一种平面靶材的绑定方法技术

本发明专利技术涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种平面靶材的绑定方法。先分别制作出靶材板和坯板，坯板包括与背板相同的主体，且该主体上设置有凸台，凸台上设置有凹台，之后将靶材板和坯板放置在加热平台上进行加热，向凹台内和靶材板上涂铟，然后将靶材板放入凹台内，之后在坯板的两侧放置支撑条，然后在靶材板的顶面放置压板，压板的两侧受到支撑条的支撑后靶材板停止向下移动，之后将上述组合体冷却并进行机加工，得到所需平面靶材。本发明专利技术的方法制得的靶材，其铟层中缩孔大幅减少，从而实际的粘接率大幅提高，提升了靶材板和背板之间的导热能力，靶材所能承受的功率得到提高，进而可以在使用时提升功率来提升溅射效率。在使用时提升功率来提升溅射效率。在使用时提升功率来提升溅射效率。

【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材的绑定方法


[0001]本专利技术涉及靶材生产
，尤其涉及一种平面靶材的绑定方法。

技术介绍

[0002]靶材是真空镀膜行业的重要材料。靶材一般分为平面靶材和管状靶材(又称旋转靶材)，顾名思义，平面靶材的形状大体上呈板状，平面靶材的种类很多，其中有很大一部分是陶瓷靶材。大部分陶瓷靶材强度较低，不能直接使用，必需要将其绑定在铜或钛材质的背板上。图4中所示的为一种常见的平面靶材，陶瓷材质的靶材板2绑定在铜背板1上，背板1和靶材板2呈平板状，背板1的宽度大于靶材板2的宽度，使得背板1的两侧形成了第一压边11，在使用时用压条压住第一压边11从而将靶材固定在镀膜设备上。
[0003]现有技术中，靶材的绑定一般在加热平台上进行，比如申请号为201520016623.8的专利公开了一种绑定靶材用平台，其作用主要是将背板1和靶材板2加热到需要温度。
[0004]现有技术中，在绑定平面靶材时，在将铟熔液涂在背板1上表面后(铟液层的厚度一般在1
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2毫米，由于表面张力的作用，在工艺温度180℃
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...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面靶材的绑定方法，其特征在于包括以下步骤：S1、分别制作出靶材板(2)和坯板，所述坯板包括与背板(1)相同的主体，且该主体上设置有凸台(12)，所述凸台(12)上设置有凹台(13)，所述凹台(13)的深度大于靶材板(2)密度与高度的乘积再除以铟熔液的密度所得的数值；S2、将坯板设置有凸台(12)的一侧朝上放在加热平台(4)上加热，靶材板(2)需要涂铟的一侧朝上放在加热平台(4)上加热，之后将熔化的铟熔液倒在凹台(13)中并使铟熔液与凹台(13)的底面浸润，将熔化的铟熔液涂抹在靶材板(2)上表面并使铟熔液与靶材板(2)的上表面浸润；S3、将靶材板(2)涂铟的面朝下放入凹台(13)中；S4、在加热平台(4)上放置两个支撑条(3)，该两个支撑条(3)分别位于坯板的两侧；所述支撑条(3)的高度大于凹台(13)的底面距离坯板底面之间的距离与靶材板(2)的厚度之和，且小于步骤S3中所得靶...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡习光，张志祥，包辉，
申请(专利权)人：江阴恩特莱特镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：