下载一种平面靶材的绑定方法的技术资料

文档序号:37239511

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本发明涉及靶材生产技术领域,尤其涉及一种平面靶材的绑定方法。先分别制作出靶材板和坯板,坯板包括与背板相同的主体,且该主体上设置有凸台,凸台上设置有凹台,之后将靶材板和坯板放置在加热平台上进行加热,向凹台内和靶材板上涂铟,然后将靶材板放入凹台...
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