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本发明涉及靶材生产技术领域,尤其涉及一种平面靶材的绑定方法。先分别制作出靶材板和坯板,坯板包括与背板相同的主体,且该主体上设置有凸台,凸台上设置有凹台,之后将靶材板和坯板放置在加热平台上进行加热,向凹台内和靶材板上涂铟,然后将靶材板放入凹台...该专利属于江阴恩特莱特镀膜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴恩特莱特镀膜科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及靶材生产技术领域,尤其涉及一种平面靶材的绑定方法。先分别制作出靶材板和坯板,坯板包括与背板相同的主体,且该主体上设置有凸台,凸台上设置有凹台,之后将靶材板和坯板放置在加热平台上进行加热,向凹台内和靶材板上涂铟,然后将靶材板放入凹台...