下载一种旋转靶材绑定的装置的技术资料

文档序号:21876251

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本实用新型涉及一种旋转靶材绑定的装置,包括机架、铟溢流封口头、具有加热功能的铟注入封口头组件、若干个靶材位置调节座、1对管支架和用于密封背管的油浴堵头、油浴加热堵头。铟溢流封口头通过1个管支架支撑在机架上,铟注入封口头组件放置在机架上交通过...
该专利属于广西晶联光电材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过广西晶联光电材料有限责任公司授权不得商用。

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