【技术实现步骤摘要】
用于氯硅烷液体的除杂过滤罐
本技术属于于氯硅烷生产
,具体涉及一种用于氯硅烷液体的除杂过滤罐。
技术介绍
氯硅烷是一种化学品,能与含活泼氢的化合物进行激烈反应。氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应,如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等,放出氯化氢。与有机金属化合物反应,氯原子被相应的有机基取代,生成有机氯硅烷或有机硅烷。用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料。在氯硅烷的生产过程中,由于其中掺杂了其他成分,导致纯度较低,因此需要对其进行进一步的处理过滤,本申请通过气化温度的不同,进行设备的设计,使得其能够实现在一定程度上的净化。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述存在的问题和不足,提供一种结构设计合理,能够实现精确化、充分分滤的用于氯硅烷液体的除杂过滤罐。为达到上述目的,所采取的技术方案是:一种用于氯硅烷液体的除杂过滤罐,包括:底座,其底部设置有排液口;至少一组蒸发滤净单元;至少一组液槽单元,所述蒸发滤净单元和所述液槽单元依次层叠设置在所述底座上;和顶盖,在所述顶盖上设置有进液口;所述蒸发滤净单元包括外壳、支撑设置在所述外壳中部的中空立柱、和呈圆周布设在 ...
【技术保护点】
1.一种用于氯硅烷液体的除杂过滤罐,其特征在于,包括:底座,其底部设置有排液口;至少一组蒸发滤净单元;至少一组液槽单元,所述蒸发滤净单元和所述液槽单元依次层叠设置在所述底座上;和顶盖,在所述顶盖上设置有进液口;所述蒸发滤净单元包括外壳、支撑设置在所述外壳中部的中空立柱、和呈圆周布设在所述立柱外壁上的多道中空蒸发板,所述蒸发板和所述立柱连通,并在所述蒸发板和立柱的内腔中设有热介质油和电加热管;所述液槽单元包括槽体和设置在槽体底部的多个流道,所述流道与所述蒸发板外壁对应,在所述外壳上设置有排气口。
【技术特征摘要】
1.一种用于氯硅烷液体的除杂过滤罐,其特征在于,包括:底座,其底部设置有排液口;至少一组蒸发滤净单元;至少一组液槽单元,所述蒸发滤净单元和所述液槽单元依次层叠设置在所述底座上;和顶盖,在所述顶盖上设置有进液口;所述蒸发滤净单元包括外壳、支撑设置在所述外壳中部的中空立柱、和呈圆周布设在所述立柱外壁上的多道中空蒸发板,所述蒸发板和所述立柱连通,并在所述蒸发板和立柱的内腔中设有热介质油和电加热管;所述液槽单元包括槽体和设置在槽体底部的多个流道,所述流道与所述蒸发板外壁对应,在所述外壳上设置有排气口。2.根据权利要求1所述的用于氯硅烷液体的除杂过滤罐,其特征在于,所述槽体下部设置有多个中空的导流板,所述导流板中部为流道,所述蒸...
【专利技术属性】
技术研发人员:史隽涛,赵铁,李晓康,张秋元,张建军,
申请(专利权)人:沁阳国顺硅源光电气体有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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