硅烷充装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅烷的充装设备，具体涉及一种硅烷充装装置。包括用于硅烷输送的压缩机，压缩机的输出端通过充装管道连接至分流管道输入端，分流管道的输出端设置充装排，所述的充装排与硅烷钢瓶相接，所述的充装管道与所述的充装排上均设置减震单元，所述的减震单元为呈螺旋弹簧状式的管道。设置的减震单元是利用了弹簧减震的原理，将压缩机的震动通过充装管道上的减震单元进行一级减震，再通过充装排上的减震单元进行二级减震，进而对压缩机的振动传递进行削弱，减小充装排以及充装管道的振动，避免充装排以及充装管道的管线接头的松动，进而保证硅烷充装车间的安全。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅烷的充装设备，具体涉及一种硅烷充装装置。
技术介绍
硅烷是一种无色、与空气接触并会引起燃烧的气体。该气体与空气接触会引起自发燃烧并放出白色的无定型二氧化硅或黄褐色的硅氧烷的浓烟。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤。意外的自发燃烧可能导致火灾或爆炸。由于硅烷特殊的理化性质，充装、储存和输送中都需要十分小心。因此对硅烷充装工艺的技术要求极高。在对硅烷进行装瓶或者装罐充装时，需要借助压缩机的作用，通过压缩机提高硅烷的压力易方便硅烷装至钢瓶。但是由于压缩机这种大型的机械设备工作功率大、振动较猛，所以其工作时也带动硅烷充装排以及充装管道的振动，这样就会存在压缩机充装时的震动导致充装排以及充装管道的管线接头松动，进而导致硅烷泄漏，引起火灾甚至爆炸事故。
技术实现思路
本技术目的是提供一种硅烷充装装置，减小充装排以及充装管道的振动，避免充装排以及充装管道的管线接头松动，进而保证硅烷充装车间的安全。为了实现以上目的，本技术采用的技术方案为：一种硅烷充装装置，包括用于硅烷输送的压缩机，压缩机的输出端通过充装管道连接至分流管道输入端，分流管道的输出端设置充装排，所述的充装排与硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅烷充装装置，包括用于硅烷输送的压缩机（10），压缩机（10）的输出端通过充装管道（20）连接至分流管道（30）输入端，分流管道（30）的输出端设置充装排（40），所述的充装排（40）与硅烷钢瓶（50）相接，其特征在于：所述的充装管道（20）与所述的充装排（40）上均设置减震单元（60），所述的减震单元（60）为呈螺旋弹簧状式的管道。

【技术特征摘要】
1.一种硅烷充装装置，包括用于硅烷输送的压缩机（10），压缩机（10）的输出端通过充装管道（20）连接至分流管道（30）输入端，分流管道（30）的输出端设置充装排（40），所述的充装排（40）与硅烷钢瓶（50）相接，其特征在于：所述的充装管道（20）与所述的充装排（40）上均设置减震单元（60），所述的减震单元（60）为呈螺旋弹簧状式的管道。2.根据权利要求1所述的硅烷充装装置，其特征在于：位...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾庆腾，许召文，
申请(专利权)人：合肥正帆电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34