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本实用新型涉及硅烷的充装设备，具体涉及一种硅烷充装装置。包括用于硅烷输送的压缩机，压缩机的输出端通过充装管道连接至分流管道输入端，分流管道的输出端设置充装排，所述的充装排与硅烷钢瓶相接，所述的充装管道与所述的充装排上均设置减震单元，所述的减...
该专利属于合肥正帆电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥正帆电子材料有限公司授权不得商用。

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