【技术实现步骤摘要】
一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置
本技术涉及靶材加工设备领域，特别涉及一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置。
技术介绍
溅射是制备薄膜材料的主要技术，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集反应，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，不同功率密度、不同输出波形、不同波长能够制造出不同的靶材。随着科技的发展靶材在各个方面都得到广泛的应用，中国靶材产业发展也不断扩大自己的规模和生产技术，产出的靶材的品牌已经达到国际顶端的技术水平。喷涂制备金属靶材是利用电弧将靶材材料加热到熔融或半熔融状态，借助高速气体将其雾化，形成小的熔滴，并加速喷射到衬管或衬板表面，快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程。但是在进行喷涂的过程中，大多数的设备往往是在空气中进行喷涂，很容易导致原材料表面氧化，影响产品最终的质量，也容易造成喷涂效率降低，使得生产成本下降。
技术实现思路
（1）要解决的技术问题本技术克服了现有技术中在运用靶材进喷涂过程中往往在大气环境中容易在喷涂的过程中产生杂质降低产品纯度的问题。本技术提供一种在真空环境下进行喷涂的便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置。（2）技术方案为了...
【技术保护点】
1.一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：包括真空泵（1）、第一气管（2）、储气罐（3）、第二气管（4）、分流管（5）、高压气体喷头（6）、支撑脚架（7）、靶材装置（8）、电源（9）、电动机（10）、衬管（11）、水汽过滤器（12）、冷凝水管（13）、吸尘装置（14）、电扇（15）、喷涂仓（16）；所述真空泵（1）位于所述喷涂仓（16）的外部左侧上方，所述真空泵（1）和所述喷涂仓（16）之间通过所述第一气管（2）连接，所述储气罐（3）通过所述第二气管（4）连在所述喷涂仓（16）内部的所述分流管（5）上，所述分流管（5）的喷涂前方设有所述高压气体喷头（6），所...
【技术特征摘要】
1.一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：包括真空泵（1）、第一气管（2）、储气罐（3）、第二气管（4）、分流管（5）、高压气体喷头（6）、支撑脚架（7）、靶材装置（8）、电源（9）、电动机（10）、衬管（11）、水汽过滤器（12）、冷凝水管（13）、吸尘装置（14）、电扇（15）、喷涂仓（16）；所述真空泵（1）位于所述喷涂仓（16）的外部左侧上方，所述真空泵（1）和所述喷涂仓（16）之间通过所述第一气管（2）连接，所述储气罐（3）通过所述第二气管（4）连在所述喷涂仓（16）内部的所述分流管（5）上，所述分流管（5）的喷涂前方设有所述高压气体喷头（6），所述高压气体喷头（6）设在所述靶材装置（8）的左侧，所述靶材装置（8）的一端和所述电源（9）的正极相连、另一端和所述电源（9）的负极相连，所述靶材装置（8）设在所述衬管（11）的左侧，所述衬管（11）的上方通过联轴器（101）和所述电动机（10）相连，所述衬管（11）的下方设在浮动支撑座（102）上，所述衬管（11）的右侧设有所述冷凝水管（13），所述冷凝水管（13）的右侧设有所述电扇（15），所述冷凝水管（13）和所述衬管（...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈躬德，赵小虎，陈魁，
申请(专利权)人：福建省创飞新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35
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