【技术实现步骤摘要】
一种靶材检测用夹具
本技术涉及于靶材制造
，特别涉及于一种靶材检测用夹具。
技术介绍
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材检测用夹具是靶材检测过程中必不可少的，由于靶材在检测过程中容易发生晃动，不仅会影响检测结果的准确性，而且还会降低检测效率。因此提供一种防止靶材晃动，能准确定位靶材的检测夹具至关重要。
技术实现思路
（1）要解决的技术问题本技术提供一种靶材检测用夹具，克服了靶材在检测过程中容易发生晃动，影响检测结果的准确性及降低检测效率的缺点。（2）技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了这样一种靶材检测用夹具，包括第一支架、第一气缸、第一活塞杆、第二支架、第三支架、第二气缸、第二活塞杆，所述第一支架底部固定有所述第一气缸，所述第一气缸的所述第一活塞杆朝上设置，所述第一活塞杆上端穿过所述第一支架并固定连接有支撑板，所述支撑板两侧均设有所述第二支架，所述第二支架上设有滑槽，所述支撑板两端固定有与所述滑槽相匹配的滑块，所述支撑板上方固定有所述第三支架，所述第三支架上固定有所述第二气缸，所述第二气...
【技术保护点】
1.一种靶材检测用夹具，包括第一支架（1）、第一气缸（2）、第一活塞杆（21）、第二支架（4）、第三支架（5）、第二气缸（6）、第二活塞杆（61），其特征在于，所述第一支架（1）底部固定有所述第一气缸（2），所述第一气缸（2）的所述第一活塞杆（21）朝上设置，所述第一活塞杆（21）上端穿过所述第一支架（1）并固定连接有支撑板（3），所述支撑板（3）两侧均设有所述第二支架（4），所述第二支架（4）上设有滑槽（41），所述支撑板（3）两端固定有与所述滑槽（41）相匹配的滑块（31），所述支撑板（3）上方固定有所述第三支架（5），所述第三支架（5）上固定有所述第二气缸（6），所述...
【技术特征摘要】
1.一种靶材检测用夹具，包括第一支架（1）、第一气缸（2）、第一活塞杆（21）、第二支架（4）、第三支架（5）、第二气缸（6）、第二活塞杆（61），其特征在于，所述第一支架（1）底部固定有所述第一气缸（2），所述第一气缸（2）的所述第一活塞杆（21）朝上设置，所述第一活塞杆（21）上端穿过所述第一支架（1）并固定连接有支撑板（3），所述支撑板（3）两侧均设有所述第二支架（4），所述第二支架（4）上设有滑槽（41），所述支撑板（3）两端固定有与所述滑槽（41）相匹配的滑块（31），所述支撑板（3）上方固定有所述第三支架（5），所述第三支架（5）上固定有所述第二气缸（6），所述第二气缸（6）的所述第二活塞杆（61）朝下设置，所述第二活塞杆（61）下端穿过所述第三支架（5）并固定连接上固定块（7），所述上固定块（7）下端面中部开设有弧形上凹...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵小虎，陈躬德，陈魁，
申请(专利权)人：福建省创飞新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35
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