真空吸盘制造技术

本发明专利技术提供一种真空吸盘(10)，利用真空压吸附工件(W)，该真空吸盘(10)具有：支承部件(12)，该支承部件在内部具有真空通路(20)；波纹管(14)，该波纹管固定于支承部件；以及限制部件(16)，该限制部件安装于波纹管的内侧，在波纹管的收缩时限制部件进入真空通路。

Vacuum chuck

【技术实现步骤摘要】
真空吸盘
本专利技术涉及利用真空压来吸附工件的真空吸盘。
技术介绍
以往，公知有使真空压作用于吸盘的吸附面而吸附并搬运工件的真空吸盘。在利用真空吸盘吸附工件时，例如若工件倾斜，则吸盘不会紧贴于工件，真空压不会有效地作用于工件。因此，存在如下的结构：通过球窝接头而使吸盘部分能够摇头、或者使吸盘本身呈蛇腹状，由此对于倾斜面也进行吸附(参照日本实公平5－35973号公报)。然而，在使吸盘部分能够摇头的情况下、或者在使吸盘本身呈蛇腹状的情况下，吸盘所吸附的工件之后也能够摇头，因此在搬运工序中工件摆动，有可能产生工件的位置偏移。特别是在高速地搬运工件的情况下，工件大幅摆动，有可能由于惯性而使工件从吸盘脱落。
技术实现思路
本专利技术是为了解决这样的课题而完成的。本专利技术的目的在于，提供一种真空吸盘，即使工件的被吸附面倾斜也能够使吸盘紧贴于工件，并且能够在吸附后使工件的姿势稳定，防止工件的摆动。本专利技术的真空吸盘利用真空压吸附工件，其特征在于，该真空吸盘具有：支承部件，该支承部件在内部具有真空通路；波纹管，该波纹管固定于支承部件；以及限制部件，该限制部件安装于波纹管的内侧，在波纹管的收缩时限制部件进入真空通路。根据上述真空吸盘，在波纹管的收缩时，安装于波纹管的限制部件进入支承部件的真空通路，因此阻止限制部件的倾斜，工件的保持姿势稳定。在上述真空吸盘中，优选在波纹管的内壁安装有内环。由此，抑制波纹管压溃而成为扁平的情况。另外，优选限制部件具有：筒部，该筒部能够嵌入于真空通路；以及凸缘部，该凸缘部从筒部的一端部朝外延伸，凸缘部的顶端卡止于波纹管的内壁。由此，能够以简单的结构将限制部件安装于波纹管的内侧。另外，在将收容有具有流动性的加工品的袋等作为工件而进行吸附搬运的情况下，抑制工件一边变形一边被吸入真空吸盘内的情况。在该情况下，优选筒部的另一端部为渐细的锥面，真空通路的端部为扩径的锥面。也可以是，在波纹管的非收缩时，筒部的锥面隔开规定的间隙而与真空通路的锥面相对，另外，也可以是，限制部件在轴向上从支承部件分离。由此，即使在工件的被吸附面倾斜的情况下，也能够使波纹管无障碍地屈曲而紧贴于工件。特别是，当波纹管的非收缩时使限制部件在轴向上从支承部件分离时，能够增大波纹管的屈曲变形的自由度。另外，优选在筒部设置有：纵孔，该纵孔在轴向上贯通；以及横孔，该横孔与纵孔连通，并且在筒部的侧面开口。或者，优选在筒部设置有在轴向上贯通的纵孔，在筒部的外周面设置有沿轴向延伸的狭缝状的槽，在凸缘部设置有在厚度方向上贯通且与槽相连的贯通孔。由此，能够通过真空压而稳定地维持波纹管收缩的状态和吸附工件的状态。另外，在要求在工件上没有残留吸附痕迹的情况下，优选凸缘部为覆盖波纹管的下端部的形状。由此，与工件接触的是限制部件而不是波纹管，因此在工件上不会残留吸附痕迹。并且，在要求避免工件的带电的情况下，优选限制部件由金属材料或者导电性树脂材料构成。由此，即使限制部件由于与工件的接触而带电也能够对其进行除电。本专利技术的真空吸盘在波纹管的收缩时，安装于波纹管的限制部件进入支承部件的真空通路，因此阻止限制部件的倾斜。因此，工件的保持姿势稳定，在工件的吸附搬运时工件不会振动。根据参照附图而说明的以下的实施方式的说明，容易了解上述的目的、特征和优点。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式的真空吸盘的主视图。图2是图1的真空吸盘的仰视图。图3是图1的真空吸盘的纵剖视图。图4是图1的真空吸盘最收缩时的纵剖视图。图5是图1的真空吸盘紧贴于工件时的纵剖视图。图6是本专利技术的第二实施方式的真空吸盘的纵剖视图。图7是本专利技术的第三实施方式的真空吸盘的纵剖视图。图8是图7的真空吸盘最收缩时的纵剖视图。图9是本专利技术的第四实施方式的真空吸盘的纵剖视图。图10是本专利技术的第五实施方式的真空吸盘的纵剖视图。图11是图10的真空吸盘最收缩时的纵剖视图。图12是图10的真空吸盘中的限制部件的立体图。具体实施方式以下，对于本专利技术的真空吸盘，举出多个优选的实施方式，一边参照附图一边进行说明。(第一实施方式)一边参照图1～图4一边对本专利技术的第一实施方式的真空吸盘10进行说明。真空吸盘10是为了对工件W进行吸附搬运而使用的，安装于未图示的搬运装置。真空吸盘10包含支承部件12、波纹管14和限制部件16。支承部件12由铝合金等金属材料或者树脂材料形成为圆筒状，以其轴线朝向铅垂方向的方式安装于未图示的搬运装置。支承部件12具有在上下方向上贯通的真空通路20，真空通路20的下端为朝向下方扩径的锥面22。该锥面22的倾斜角被设定为例如15度。在支承部件12的下部设置有用于支承波纹管14的环状槽24。波纹管14由例如具有规定的弹性的橡胶材料形成为圆筒状，具有伸缩和屈曲自如的蛇腹构造。波纹管14的上端为厚壁而向径向内侧呈凸缘状延伸，该向内凸缘部26与支承部件12的环状槽24嵌合。由此，波纹管14安装于支承部件12。波纹管14的下端部28为向斜下方扩开的形状，其顶端为与工件W接触的部位。在波纹管14的内壁，环状的山部与环状的谷部交替出现。在本实施例中，存在4个山部30a～30d。内环32a卡止在第一山部30a与第二山部30b之间的谷部，并且内环32b卡止在第二山部30b与第三山部30c之间的谷部。这些内环32a、32b起到抑制波纹管14压溃而成为扁平的作用，因此由树脂材料或者高硬度的橡胶材料形成为环状。也可以取代设置内环32a、32b，而在波纹管14一体成型与其相当的加强部。限制部件16由PEEK等树脂材料形成为大概圆筒状。限制部件16具有：圆筒状的筒部34、以及从筒部34的下端向径向外侧延伸的凸缘部36。凸缘部36的顶端向斜上方倾斜，卡止在波纹管14的内壁中的第三山部30c与第四山部30d之间的倾斜部30e。由此，限制部件16安装于波纹管14。利用凸缘部36的靠近筒部34的下表面和筒部34的下端面而形成向上方凹陷的弯曲面46。即，在面对工件W的限制部件16的下表面形成弯曲面46筒部34的上端部的外周为渐细的锥面38，该锥面38的倾斜角被设定为与真空通路20的锥面22的倾斜角相同。在波纹管14的非收缩时，筒部34的锥面38隔开规定的间隙而与真空通路20的锥面22相对。筒部34的除了锥面38之外的外径与真空通路20的除了锥面22之外的内径大致相同、或者比其稍小，筒部34能够嵌入于真空通路20。筒部34具有在轴向上贯通的纵孔40。纵孔40除了在筒部34的上端面开口之外，还经由多个第一横孔42而在筒部34的锥面38开口。另外，纵孔40在筒部34的靠近下方的部位，经由多个第二横孔44而在筒部34的侧面开口。在厚度方向上贯通的多个贯通孔48在周向上等间隔地设置于凸缘部36。在波纹管14的非收缩时，波纹管14的内侧空间50除了经由筒部34的第二横孔44和纵孔40而与支承部件12的真空通路20连通之外，还经由筒部34的锥面38与真空通路20的锥面22之间的间隙而与支承部件12的真空通路20连通(参照图3)。在波纹管14的收缩时，波纹管14的内侧空间50经由筒部34的第二横孔44和纵孔40而与支承部件12的真空通路20连通(参照图4)。在包含波纹管14的收缩时在内波纹管14紧贴于工件W时，在波纹管14的下端部28与工件W之间形成的空间52本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空吸盘，利用真空压吸附工件，其特征在于，该真空吸盘(10)具有：支承部件(12)，该支承部件在内部具有真空通路(20)；波纹管(14)，该波纹管固定于所述支承部件；以及限制部件(16)，该限制部件安装于所述波纹管的内侧，在所述波纹管的收缩时所述限制部件进入所述真空通路。

【技术特征摘要】
2018.02.05 JP 2018-0181791.一种真空吸盘，利用真空压吸附工件，其特征在于，该真空吸盘(10)具有：支承部件(12)，该支承部件在内部具有真空通路(20)；波纹管(14)，该波纹管固定于所述支承部件；以及限制部件(16)，该限制部件安装于所述波纹管的内侧，在所述波纹管的收缩时所述限制部件进入所述真空通路。2.根据权利要求1所述的真空吸盘，其特征在于，在所述波纹管的内壁安装有内环。3.根据权利要求1所述的真空吸盘，其特征在于，所述限制部件具有：筒部，该筒部能够嵌入于所述真空通路；以及凸缘部，该凸缘部从所述筒部的一端部朝外延伸，所述凸缘部的顶端卡止于所述波纹管的内壁。4.根据权利要求3所述的真空吸盘，其特征在于，所述筒部的另一端部为渐细的锥面，所述真空通路的端部为扩径的锥面。...

【专利技术属性】
技术研发人员：中山徹，杉山亨，宫崎则行，斋藤优，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP