【技术实现步骤摘要】
一种新型的靶材冷却装置
本技术涉及于靶材制造
，特别涉及于一种新型的靶材冷却装置。
技术介绍
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。在溅射靶材生产过程中会发出大量的热量，如果不及时进行冷却，容易造成局部烧焦或呈现晶粒化现象，目前靶材生产用冷却装置，碍于冷却器内的空间限制，一般都将冷却管设计成蛇形的盘式管。这种形状的冷却管的缺点在于，盘管破裂会造成管道堵塞，维修和更换成本较高。技术的内容（1）要解决的技术问题本技术提供一种新型的靶材冷却装置，克服了现有靶材生产用冷却装置的蛇形盘管破裂会造成管道堵塞，维修和更换成本较高的缺点。（2）技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了这样一种新型的靶材冷却装置，包括靶材、冷却管、进水口、出水口，所述靶材下方设有两个以上所述冷却管，所述冷却管的两端均连接有储水槽，所述冷却管一端的储水槽的一侧设有所述进水口，所述冷却管另一端的储水槽的一侧设有所述出水口，所述储水槽内设有与所述冷却管相连的连接管，所述冷却管与所述连接管之间设有密封圈，所述密封圈与所述冷却管和所述连...
【技术保护点】
1.一种新型的靶材冷却装置，包括靶材（1）、冷却管（3）、进水口（4）、出水口（5），其特征在于，所述靶材（1）下方设有两个以上所述冷却管（3），所述冷却管（3）的两端均连接有储水槽（2），所述冷却管（3）一端的储水槽（2）的一侧设有所述进水口（4），所述冷却管（3）另一端的储水槽（2）的一侧设有所述出水口（5），所述储水槽（2）内设有与所述冷却管（3）相连的连接管（21），所述冷却管（3）与所述连接管（21）之间设有密封圈（11），所述密封圈（11）与所述冷却管（3）和所述连接管（21）的密封面均设有凹槽（111），所述冷却管（3）的上表面和所述冷却管（3）的下底面均设有...
【技术特征摘要】
1.一种新型的靶材冷却装置，包括靶材（1）、冷却管（3）、进水口（4）、出水口（5），其特征在于，所述靶材（1）下方设有两个以上所述冷却管（3），所述冷却管（3）的两端均连接有储水槽（2），所述冷却管（3）一端的储水槽（2）的一侧设有所述进水口（4），所述冷却管（3）另一端的储水槽（2）的一侧设有所述出水口（5），所述储水槽（2）内设有与所述冷却管（3）相连的连接管（21），所述冷却管（3）与所述连接管（21）之间设有密封圈（11），所述密封圈（11）与所述冷却管（3）和所述连接管（21）的密封面均设有凹槽（111），所述冷却管（3）的上表面和所述冷却管（3）的下底面均设有卡紧装置（12），所述卡紧装置（12）呈了“L”型，所述卡紧装置（12）一端为固定于所述冷却管（3）上，所述卡紧装置（12）另一端沿所述冷却...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈躬德，赵小虎，陈魁，
申请(专利权)人：福建省创飞新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35
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