一种平面靶材邦定用加热平台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种平面靶材邦定用加热平台，特别涉及于靶材制造技术领域。本实用新型专利技术包括底座、支撑平台、升降机构、加热板、导热石墨板、铝合金导热板、保温罩、控制面板、万向轮、超声波振子，所述升降机构包括液压缸筒、活塞杆，所述加热板上均匀分布有加热管，所述加热管上设有所述导热石墨板，所述导热石墨板上设有所述铝合金导热板，所述铝合金导热板上设有所述保温罩，所述底座上方还设有所述控制面板，所述控制面板上设有液晶显示屏，所述液晶显示屏下方设有温度调节控制按钮和总开关，所述温度调节控制按钮和总开关下方设有指示灯，所述万向轮上设有刹车片。保证加热平台温度的均匀性和稳定性，提高了靶材的品质。

A Heating Platform for Planar Target Bonding

【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材邦定用加热平台
本技术涉及于靶材制造
，特别涉及于一种平面靶材邦定用加热平台。
技术介绍
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材在进行邦定的过程中，需要使用加热平台。现有技术中的加热平台还存在以下缺陷：1、平台表面温差较大，加热不均匀，容易引起靶材（尤其是陶瓷靶材）的内部应力变化，造成靶材开裂；2、加热管不容易更换3、焊料涂抹不均匀，这些缺陷的存在将直接影响靶材的品质。技术的内容（1）要解决的技术问题本技术提供一种平面靶材邦定用加热平台，克服了现有技术中的加热平台平台表面温差较大，加热不均匀，加热管不容易更换及焊料涂抹不均匀的缺点。（2）技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了这样一种平面靶材邦定用加热平台，包括底座、支撑平台、升降机构、加热板、导热石墨板、铝合金导热板、保温罩、控制面板、万向轮、超声波振子，所述底座上设有所述升降机构，所述升降机构包括液压缸筒、活塞杆，所述底座上设有两个所述液压缸筒，所述液压缸筒内的所述活塞杆朝上设置，所述活塞杆上端连接所述支撑平台，所述支撑平台底部设有所述超声波振子，所述支撑平台上方设有所述加热板，所述加热板上均匀分布有加热管，所述加热管上设有所述导热石墨板，所述导热石墨板上设有所述铝合金导热板，所述铝合金导热板上设有所述保温罩，所述底座上方还设有所述控制面板，所述控制面板上设有液晶显示屏，所述液晶显示屏下方设有温度调节控制按钮和总开关，所述温度调节控制按钮和总开关下方设有指示灯，所述底座底部设有万向轮，所述万向轮上设有刹车片。优选地，所述万向轮的数量至少为四个。优选地，所述加热板与所述控制面板电性相连。优选地，所述加热管的数量至少为17个且独立分布。（3）有益效果本技术提供一种平面靶材邦定用加热平台，克服了现有技术中的加热平台平台表面温差较大，加热不均匀，加热管不容易更换及焊料涂抹不均匀的缺点。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：1、通过采用导热性能好的石墨板及导热性能好耐高温的硬质铝合金材质构成的加热平台，可以保证热量的均匀分布。2、保温罩的设置可以在靶材贴合的与升温过程中，保证加热平台温度的稳定和均匀。3、加热管的数量至少为17个且独立分布，可以便于加热管损坏时的更换。4、控制面板上设有液晶显示屏及指示灯，可以方便加热平台温度的实时监控。5、升降机构的设置可以方便加热平台高度的调节，提高使用性。底座底部设有数量至少为四个的万向轮，所述万向轮上设有刹车片，可以方便加热平台的移动和固定。6、超声波振子的设置，使靶材与焊料均匀地黏附。附图说明图1为本技术平面靶材邦定用加热平台的结构示意图。图2为本技术平面靶材邦定用加热平台的加热板的结构示意图。图3为本技术平面靶材邦定用加热平台的导热石墨板的结构示意图。图4为本技术平面靶材邦定用加热平台的铝合金导热板的结构示意图。图5为本技术平面靶材邦定用加热平台的保温罩的结构示意图。附图标记为：1-底座、2-支撑平台、3-升降机构、31-液压缸筒、32-活塞杆、4-加热板、41-加热管、5-导热石墨板、6-铝合金导热板、7-保温罩、8-控制面板、81-液晶显示屏、82-温度调节控制按钮、83-总开关、84-指示灯、9-万向轮、91-刹车片、10-超声波振子。具体实施方式结合附图和实施例对本技术作进一步的说明。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“竖直”、“水平”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。如图1~5所示，本技术所述的一种平面靶材邦定用加热平台，包括底座1、支撑平台2、升降机构3、加热板4、导热石墨板5、铝合金导热板6、保温罩7、控制面板8、万向轮9、超声波振子10，所述底座1上设有所述升降机构3，所述升降机构3包括液压缸筒31、活塞杆32，所述底座1上设有两个所述液压缸筒31，所述液压缸筒31内的所述活塞杆32朝上设置，所述活塞杆32上方连接所述支撑平台2，所述支撑平台2底部设有所述超声波振子10，所述支撑平台2上方设有所述加热板4，所述加热板4上均匀分布有加热管41，所述加热管41上设有所述导热石墨板5，所述导热石墨板5上设有所述铝合金导热板6，所述铝合金导热板6上设有所述保温罩7，所述底座1上方还设有所述控制面板8，所述控制面板8上设有液晶显示屏81，所述液晶显示屏81下方设有温度调节控制按钮82和总开关83，所述温度调节控制按钮82和总开关83下方设有指示灯84，所述底座1底部设有万向轮9，所述万向轮9上设有刹车片91。所述万向轮9的数量至少为四个，所述加热板4与所述控制面板8电性相连，所述加热管41的数量至少为17个且独立分布。工作原理：工作时，打开控制面板8上的总开关83，控制温度调节控制按钮82，控制所需温度，加热板4内的加热管41开始进行加热，将热量传递至导热石墨板5上，石墨板导热性较好，可以将热量均匀地传递至铝合金导热板6，保证热量的均匀分布。开启超声波振子10，使靶材与焊料均匀地黏附。保温罩7的设置可以在靶材贴合的与升温过程中，保证加热平台温度的稳定和均匀。加热管41的数量至少为17个且独立分布，可以便于加热管41损坏时的更换。控制面板8上设有液晶显示屏81及指示灯84，可以方便加热平台温度的实时监控。升降机构3的设置可以方便加热平台高度的调节，提高使用性。底座1底部设有数量至少为四个的万向轮9，所述万向轮9上设有刹车片91，可以方便加热平台的移动和固定。以上所述的实施例仅表达了对本技术优选实施方式，其描述较为具体和详细，但本技术不仅限于这些实施例，应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说。在未脱离本技术宗旨的前提下，所为的任何改进均落在本技术的保护范围之内。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平面靶材邦定用加热平台，包括底座（1）、支撑平台（2）、升降机构（3）、加热板（4）、导热石墨板（5）、铝合金导热板（6）、保温罩（7）、控制面板（8）、万向轮（9）、超声波振子（10），其特征在于，所述底座（1）上设有所述升降机构（3），所述升降机构（3）包括液压缸筒（31）、活塞杆（32），所述底座（1）上设有两个所述液压缸筒（31），所述液压缸筒（31）内的所述活塞杆（32）朝上设置，所述活塞杆（32）上端连接所述支撑平台（2），所述支撑平台（2）底部设有所述超声波振子（10），所述支撑平台（2）上方设有所述加热板（4），所述加热板（4）上均匀分布有加热管（41），所述加热管（41）上设有所述导热石墨板（5），所述导热石墨板（5）上设有所述铝合金导热板（6），所述铝合金导热板（6）上设有所述保温罩（7），所述底座（1）上方还设有所述控制面板（8），所述控制面板（8）上设有液晶显示屏（81），所述液晶显示屏（81）下方设有温度调节控制按钮（82）和总开关（83），所述温度调节控制按钮（82）和总开关（83）下方设有指示灯（84），所述底座（1）底部设有万向轮（9），所述万向轮（9）上设有刹车片（91）。...

【技术特征摘要】
1.一种平面靶材邦定用加热平台，包括底座（1）、支撑平台（2）、升降机构（3）、加热板（4）、导热石墨板（5）、铝合金导热板（6）、保温罩（7）、控制面板（8）、万向轮（9）、超声波振子（10），其特征在于，所述底座（1）上设有所述升降机构（3），所述升降机构（3）包括液压缸筒（31）、活塞杆（32），所述底座（1）上设有两个所述液压缸筒（31），所述液压缸筒（31）内的所述活塞杆（32）朝上设置，所述活塞杆（32）上端连接所述支撑平台（2），所述支撑平台（2）底部设有所述超声波振子（10），所述支撑平台（2）上方设有所述加热板（4），所述加热板（4）上均匀分布有加热管（41），所述加热管（41）上设有所述导热石墨板（5），所述导热石墨板（5）上设有所述铝合金导热板...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵小虎，陈躬德，陈魁，
申请(专利权)人：福建省创飞新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35