【技术实现步骤摘要】
用于溅射系统的玻璃托盘分案申请本申请是申请日为2014年6月9日、申请号为“201480039995.0”、专利技术名称为“用于溅射系统的玻璃托盘”的专利技术专利申请的分案申请。相关申请的交叉引用这是于2013年6月10日提交的名称为“GLASSPALLETFORSPUTTERINGSYSTEMS”的美国临时专利申请号61/833,366的非临时申请并且要求该美国临时专利申请的优先权，出于所有目的将该美国临时专利申请在此通过引用整体并入。
本文公开的实施方案一般涉及溅射系统和方法，并且更具体地说涉及用于将基片固持在溅射系统中的托盘。更具体地说，本文公开的实施方案涉及用于固持玻璃(例如，用于窗户的玻璃)的托盘。专利技术背景大面积玻璃加工通常是在水平形式的加工设备上完成。常规的观点规定：由于大面积玻璃是从锡浮法生产线(其是水平系统)生产的，则玻璃的进一步加工应当自然地在水平位置中。此外，由于支撑大面积玻璃通过使用滚筒是很容易完成的，玻璃在许多点处被支撑在滚筒上，则自然地将玻璃沿着水平方向平移，玻璃在背部表面上的许多点处被始终支撑着。因此，尽管存在垂直地溅射大面积基...
【技术保护点】
1.一种用于将多个玻璃基片运输通过溅射设备的托盘，所述托盘包括：框架，其包括孔口；以及可调节网格阵列，其在所述孔口中，所述可调节网格阵列是可配置地来固持不同形状和/或大小的所述多个玻璃基片；其中所述托盘被配置来固持所述多个玻璃基片，每个通过至少两个边缘来固持，并且在运输通过所述溅射设备期间固持在基本上垂直的取向中。
【技术特征摘要】
2013.06.10 US 61/833,3661.一种用于将多个玻璃基片运输通过溅射设备的托盘，所述托盘包括：框架，其包括孔口；以及可调节网格阵列，其在所述孔口中，所述可调节网格阵列是可配置地来固持不同形状和/或大小的所述多个玻璃基片；其中所述托盘被配置来固持所述多个玻璃基片，每个通过至少两个边缘来固持，并且在运输通过所述溅射设备期间固持在基本上垂直的取向中。2.如权利要求1所述的托盘，其中所述孔口沿着第一尺寸是在60英寸与130英寸之间，并且沿着第二尺寸是在72英寸与205英寸之间。3.如权利要求1所述的托盘，其还包括所述多个玻璃基片，其中所述多个玻璃基片中的每个的工作表面被围绕其外围在2mm与15mm之间掩...
【专利技术属性】
技术研发人员：特雷弗·弗兰克，罗伯特·T·罗兹比金，贾森·塞特恩，
申请(专利权)人：唯景公司，
类型：发明
国别省市：美国,US
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。