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本发明揭示一种用于溅射系统的玻璃托盘。将一个或多个玻璃基片在基本上垂直的取向上运输通过溅射系统的托盘。在一些情况下，托盘包括具有孔口的框架和所述孔口中的可调节网格阵列。所述可调节网格阵列是可配置地来固持不同形状和/或大小的多个玻璃基片。在一...
该专利属于唯景公司所有，仅供学习研究参考，未经过唯景公司授权不得商用。

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