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本实用新型涉及一种新型的靶材冷却装置，特别涉及于靶材制造技术领域。本实用新型包括靶材、冷却管、进水口、出水口，所述冷却管的两端均连接有储水槽，所述冷却管一端的储水槽的一侧设有所述进水口，所述冷却管另一端的储水槽的一侧设有所述出水口，所述储水...
该专利属于福建省创飞新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省创飞新材料科技有限公司授权不得商用。

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