具有减震装置的光阻柜制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种具有减震装置的光阻柜，包含一光阻柜，该光阻柜包含一柜本体，一滑轨，该柜本体在该滑轨上滑动；一减震装置，该柜本体关闭时，该减震装置与该柜本体接触。据此，当更换光阻，关闭光阻柜，光阻柜的震动减小，从而减小了因光阻的震动而导致的缺陷计数，提高了良率。

Photoresistor cabinet with shock absorber

【技术实现步骤摘要】
具有减震装置的光阻柜
本技术与半导体加工设备台机有关，特别是对光阻柜的改进。
技术介绍
光阻，也称光阻剂或光刻胶，在半导体加工行业中是用来涂布在被加工材料表面的被覆层，其形成一定的图案，在光线的作用下对材料表面进行加工。某型加工机台的平均更换光阻的周期为38小时。因此，光阻是半导体加工中光刻工艺的重要的耗材，而且更换频繁。如图1a所示的现有技术，光阻放置在一个光阻柜里，更换光阻时抽出光阻柜，当柜体合上时，产生撞击，光阻随之震动。如图1b所示，某次现有技术的方案中在更换光阻后，缺陷计数出现上升趋势。因此，如何能够开发一种光阻柜，解决因更换光阻而导致缺陷计数较高的问题成为半导体加工工艺工程师的专利技术动机。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有减震装置的光阻柜，主要是为了减少更换光阻而产生的缺陷计数，提高产品良率的目的。于是，本技术关于一种具有减震装置的光阻柜，包含：一光阻柜，该光阻柜包含一柜本体，一滑轨，该柜本体在该滑轨上滑动；一减震装置，该柜本体关闭时，该减震装置与该柜本体接触。该柜本体关闭(合上)是指，该柜本体推入光阻柜中，处于可以生产工作的位置。优选地，该光阻柜还包含一内壁，该滑轨垂直于该内壁，该滑轨安装在该内壁上，该减震装置安装在该内壁上。优选地，该减震装置数量为一，该减震装置安装在该内壁的中心位置。优选地，该柜本体还包含一里侧面，该柜本体关闭时，该里侧面与该减震装置接触。优选地，该里侧面包含一平面、一加强筋、一框筋，该柜本体关闭时，该平面与该减震装置接触。优选地，该柜本体包含一滑槽，该滑槽在该滑轨上滑动，该柜本体关闭时，该滑槽与该减震装置接触。优选地，该减震装置安装在该滑轨上。优选地，该减震装置包含一阻尼器。优选地，该减震装置包含橡胶减震块、空气弹簧、或油气弹簧。由此，本技术提供一种具有减震装置的光阻柜，包含一光阻柜，该光阻柜包含一柜本体，一滑轨，该柜本体在该滑轨上滑动；一减震装置，该柜本体关闭时，该减震装置与该柜本体接触。据此，当更换光阻，关闭光阻柜，光阻柜的震动减小，从而减小了因光阻的震动导致的缺陷计数，提高了良率。为让本技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例。并配合附图作详细说明如下。附图说明图1a是现有技术的光阻柜打开时的示意图。图1b是使用现有技术的光阻柜生产出的产品缺陷计数与时间的关系图。图2是本技术第一实施例的结构示意图。图3是本技术第一实施例在柜本体关闭时的状态示意图。图4是本技术第二实施例的结构示意图。图5是本技术第三实施例的结构示意图。图6是本技术第三实施例在柜本体关闭时的状态示意图。图7是使用本技术的光阻柜生产出的产品缺陷计数与时间的关系图。附图标记说明。光阻柜1柜本体11里侧面111平面1111加强筋1112框筋1113接触点1114滑槽112滑轨12内壁13减震装置2。具体实施方式有关于本技术的前述及其他
技术实现思路
、特点与功效，在以下配合参考附图的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。请参阅图2所示，为本技术所提供一种具有减震装置的光阻柜，包含：一光阻柜1，该光阻柜包含一柜本体11，一滑轨12，该柜本体11在该滑轨12上滑动；一减震装置2，该柜本体11关闭时，该减震装置2与该柜本体11接触。以上所述为本技术的第一实施例的结构特征。请参阅图3所示，该柜本体11关闭(合上)是指，该柜本体11推入光阻柜1中，处于可以生产工作(即光阻可以进入管路涂布到材料上)的位置。此时，减震装置2与柜本体11接触，减震装置2发生变形。优选地，该光阻柜1还包含一内壁13，该滑轨12垂直于该内壁13，该滑轨12安装在该内壁上13，该减震装置2安装在该内壁13上。优选地，本实施例中，该减震装置2数量为一，该减震装置2安装在该内壁13的中心位置。优选地，该柜本体11还包含一里侧面111，该柜本体11关闭时，该里侧面111与该减震装置2接触。以上所述为本技术的第一实施例的优选方案的结构特征。请参阅图4所示，为本技术的第二实施例，与第一实施例区别在于，该柜本体11还包含一里侧面111，该里侧面111包含一平面1111、一加强筋1112、一框筋1113，该柜本体11关闭时，该平面1111与减震装置2接触。本实施例在该平面上的接触点1114如图所示。请参阅图5所示，为本技术的第三实施例，与第一实施例的区别在于，该柜本体11包含一滑槽112，该滑槽112在该滑轨12上滑动，该柜本体11关闭时，该滑槽112与该减震装置2接触。请参阅图6所示，该柜本体11关闭(合上)是指，该柜本体11推入光阻柜1中，处于可以生产工作(即光阻可以进入管路涂布到材料上)的位置。此时，减震装置2与柜本体11中的固定连接的滑槽112接触，减震装置发生变形。优选地，该减震装置2安装在该滑轨12上。优选地，该减震装置2包含一阻尼器。优选地，该减震装置2包含橡胶减震块、空气弹簧、或油气弹簧。以上所述即为本技术实施例各主要构件的组合状态说明。请参阅图7所示，本技术至少具有下述功效：减震装置2具有一定阻尼能够吸收能量，或提供一定弹性能够缓冲能量，当柜本体11推入其生产工位即关闭时，柜本体11或者其固定连接的一部分(比如里侧面111或滑槽112)与该减震装置2接触，该减震装置2的变形吸收能量或者缓冲能量，从而使得该柜本体11的震动能量减少或者峰值被削减，而装有光阻的光阻瓶放置于该光阻柜1的柜本体11中，光阻受到的震动也减少。从图7可以看出，缺陷计数基本趋于平缓并减少。综上所述，上述实施例及附图仅本技术的较佳实施例而已，当不能以此限定本技术的实施范围，凡依本技术申请专利范围所作的均等变化与修饰，都属于本新型专利的涵盖范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有减震装置的光阻柜，其特征在于，包含：一光阻柜，该光阻柜包含一柜本体，一滑轨，该柜本体在该滑轨上滑动；一减震装置，该柜本体关闭时，该减震装置与该柜本体接触。

【技术特征摘要】
1.一种具有减震装置的光阻柜，其特征在于，包含：一光阻柜，该光阻柜包含一柜本体，一滑轨，该柜本体在该滑轨上滑动；一减震装置，该柜本体关闭时，该减震装置与该柜本体接触。2.如权利要求1所述的具有减震装置的光阻柜，其特征在于，该光阻柜还包含一内壁，该滑轨垂直于该内壁，该滑轨安装在该内壁上，该减震装置安装在该内壁上。3.如权利要求2所述的具有减震装置的光阻柜，其特征在于，该减震装置数量为一，该减震装置安装在该内壁的中心位置。4.如权利要求1所述的具有减震装置的光阻柜，其特征在于，该柜本体还包含一里侧面，该柜本体关闭时，该里侧面与该减震装置接触。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：潘卿峰，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31