平行光曝光机的光源组件及光源系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种平行光曝光机的光源组件及光源系统，光源组件包含基座、电路板、LED芯片组、光学透镜组及调整支架；电路板设置于基座上；LED芯片组设置于电路板上；光学透镜组被配置于LED芯片组之前；调整支架设置于基座上，用以调整光学透镜组与LED芯片组之间的距离，本实用新型专利技术实施例的光源组件及光源系统可应用于平行光曝光机，可作为传统高压短弧汞灯的替代光源。

Light Source Component and Light Source System of Parallel Light Exposure Machine

【技术实现步骤摘要】
平行光曝光机的光源组件及光源系统
本技术是关于一种平行光曝光机的光源组件及光源系统，其作为提供曝光制程所需的光源(例如紫外光)，而为曝光机上的一种模块组件；或亦可作为传统曝光机的替代光源模块。
技术介绍
请参照图1，其为现有技术的平行光曝光机的光源结构示意图。现有技术的平行光曝光机的光源系统100大多采用高压短弧汞灯101，其置于聚光反光碗102中，经过平面反射镜103及光学构件104等相关光学组件，对平行光曝光机的受照面(图未示)提供紫外光源。然而，现有技术的曝光机的曝光光源存在下列缺失：首先，高压短弧汞灯101的平均寿命仅有1200-1500小时，相对寿命较短，因而需要频繁的更换，致使提高采购成本。其次，采用高压短弧汞灯101的光电转换效率不佳，耗电量大，不仅提高了使用成本，还存在耗能的缺点。再者，高压短弧汞灯101衰减快，因此使用一段时间之后，高压短弧汞灯101对曝光机的受照面提供的照度与均匀度就不足了，故需要经常性地检修维护及汰换高压短弧汞灯101，致使生产效率的降低。另一方面，高压短弧汞灯101无论制造过程与废弃皆存在有污染的问题，而具有不环保的缺点。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的一目的在于提供一种模块化而可快速替代现有技术的平行光曝光机光源的光源系统。本技术的另一目的在于提供一种可调整光源出光角度及/或光斑大小的组件配置，进而增进受照面的光照度与光强度可调性及均匀性的光源系统。本技术的再一目的在于解决现有技术的曝光机光源采用高压短弧汞灯而产生寿命短、光电转换效率不佳、耗电量大及不环保等缺失。为达上述目的及其它目的，本技术公开一种平行光曝光机的光源组件，包含基座、电路板、LED芯片组、光学透镜组及调整支架；所述电路板设置于所述基座上；所述LED芯片组设置于所述电路板上；所述光学透镜组被配置于所述LED芯片组之前；所述调整支架设置于所述基座上，用以调整所述光学透镜组与所述LED芯片组之间的距离。于本技术的一实施例中，所述LED芯片组具有数组排列的多个LED芯片，所述光学透镜组具有对应于每一LED芯片的多个透镜。于本技术的一实施例中，所述基座具有冷却流体槽及流体进出管路，所述冷却流体槽配置于所述基座内并与流体进出管路连通。于本技术的一实施例中，所述光学透镜组结合于所述调整支架上，所述调整支架具有多个调整孔位，以通过螺丝锁固于各所述调整孔位中来使所述调整支架组装于所述基座上。为达上述目的及其它目的，本技术还公开一种平行光曝光机的光源系统，包含上述的光源组件，所述多个光源组件以数组方式排列而成一第一主要光源单元。于本技术的一实施例中，所述多个光源组件以弧面数组方式排列，所述弧面与一球面重合，各所述光源组件的中心线的延长线会聚于所述球面的球心。于本技术的一实施例中，更包含复眼透镜单元，其相隔地配置于所述第一主要光源单元的出光方向上。于本技术的一实施例中，更包含配置于所述第一主要光源单元侧边的一次要光源单元，所述次要光源单元包括二光源组件及合光镜，所述二光源组件以初始出光方向彼此垂直的方式配置，且所述合光镜配置于所述二光源组件出光方向交会的位置，使所述二光源组件经过所述合光镜后的出光方向平行。于本技术的一实施例中，更包含配置于所述第一主要光源单元侧边的一次要光源单元，所述次要光源单元具有一最终出光方向，并所述次要光源单元包括多个光源组件及多个合光镜，所述多个光源组件的其中一者是以其出光方向平行于所述最终出光方向的方式配置，其余的所述多个光源组件是以其出光方向垂直于最终出光方向的方式配置，且所述多个合光镜配置于彼此垂直配置的光源组件的出光方向相互交会的位置处。于本技术的一实施例中，其中更包含一曲面反射镜，其相隔地配置于所述第一主要光源单元的出光方向上，所述多个光源组件以平面数组方式排列。于本技术的一实施例中，更包含第二主要光源单元及合光镜，所述第二主要光源单元是以出光方向垂直于所述第一主要光源单元的方式配置，所述合光镜配置于所述第二主要光源单元与所述第一主要光源单元出光方向交会的位置，并所述第二主要光源单元是由多个所述光源组件以平面数组排列而成。于本技术的一实施例中，更包含复眼透镜单元，其相隔地配置于所述第一主要光源单元的光线经所述曲面反射镜反射的反射光方向上。综上所述，光源组件可模块化地组装成光源系统，且可方便地依平行光曝光机的需求来增加、减少光源组件的数量或调整光源组件的配置，使本技术具备了模块化及高应用性的优点；此外，由于本实施例的光源组件包含了数组式排列的多个LED芯片组，当LED芯片组损坏时仅需对应替换其中损坏的LED芯片损坏即可，替换成本大幅减低，而减少不必要的材料资源浪费；再者，将传统汞灯替换为LED灯源，可降低维修频率，并达到低耗能等优点，更可增进曝光机本身曝光质量与效率等优点。关于本技术涉的具体实施方式及其它的优点与功效，将配合图式说明如下。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1是现有技术的平行光曝光机的光源结构示意图；图2是本技术第一实施例的光源组件的分解示意图；图3是本技术第一实施例的光源组件的结构示意图；图4为本实施例的光源组件的基座的结构示意图；图5是本技术第二实施例的光源系统中第一主要光源单元的立体示意图；图6是本技术第二实施例的光源系统中第一主要光源单元的侧视示意图；图7是本技术第二实施例的光源系统的配置示意图；图8为本技术第二实施例的光源系统的另一态样示意图；图9显示本技术第二实施例中次要光源单元的另一态样示意图；图10是本技术第三实施例的光源系统中第一主光源单元的示意图；图11是本技术第三实施例的光源系统的配置示意图；图12为本技术第三实施例的光源系统的另一态样示意图；图13为本技术第三实施例的光源系统的又一态样示意图。符号说明1光源组件2第一要光源单元3,3’次要光源单元4第二主要光源单元10基座11冷却流体槽12,13流体进出管路20电路板30LED芯片组31LED芯片40光学透镜组41透镜50调整支架51调整孔位52螺丝60复眼透镜单元70合光镜80曲面反射镜100现有技术的平行光曝光机的光源系统101高压短弧汞灯102聚光反光碗103平面反射镜104光学构件C球心曲面反光镜P受照面具体实施方式为充分了解本技术的目的、特征及功效，兹通过下述具体的实施例，并配合所附的图式，对本技术做一详细说明，说明如后：于本文中，所描述的用语“包含、包括、具有”或其它任何类似用语意并非仅限于本文所列出的此等要件而已，而是可包括未明确列出但却是该组件或装置中通常固有的其它要件。于本文中，所描述的用语“一”或“一个”来描述所述的组件、装置等。此举只为了方便说明，并且对本技术的范畴提供一般性的意义。因此，除非很明显地另指他意，否则此种描述应理解为包括一个或至少一个，且单数也同时包括多个。于图式中，所显示者是为了便于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平行光曝光机的光源组件，其特征在于，包含：基座；电路板，设置于所述基座上；LED芯片组，设置于所述电路板上；光学透镜组，被配置于所述LED芯片组之前；及调整支架，设置于所述基座上，用以调整所述光学透镜组与所述LED芯片组之间的距离。

【技术特征摘要】
1.一种平行光曝光机的光源组件，其特征在于，包含：基座；电路板，设置于所述基座上；LED芯片组，设置于所述电路板上；光学透镜组，被配置于所述LED芯片组之前；及调整支架，设置于所述基座上，用以调整所述光学透镜组与所述LED芯片组之间的距离。2.如权利要求1所述的光源组件，其特征在于，所述LED芯片组具有数组排列的多个LED芯片，所述光学透镜组具有对应于每一LED芯片的多个透镜。3.如权利要求2所述的光源组件，其特征在于，所述基座具有冷却流体槽及流体进出管路，所述冷却流体槽配置于所述基座内并与流体进出管路连通。4.如权利要求1-3任一项所述的光源组件，其特征在于，所述光学透镜组结合于所述调整支架上，所述调整支架具有多个调整孔位，以通过螺丝锁固于各所述调整孔位中来使所述调整支架组装于所述基座上。5.一种平行光曝光机的光源系统，其特征在于，包含多个如权利要求1-3中任一项所述的光源组件，所述多个光源组件以数组方式排列而成一第一主要光源单元。6.如权利要求5所述的光源系统，其特征在于，所述多个光源组件以弧面数组方式排列，所述弧面与一球面重合，各所述光源组件的中心线的延长线会聚于所述球面的球心。7.如权利要求6所述的光源系统，其特征在于，更包含复眼透镜单元，其相隔地配置于所述第一主要光源单元的出光方向上。8.如权利要求5、6或7所述的光源系统，其特征在于，更包含配置于所述第一主要光源单元侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨小丽，
申请(专利权)人：富丽明企业有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71