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本实用新型提供一种具有减震装置的光阻柜，包含一光阻柜，该光阻柜包含一柜本体，一滑轨，该柜本体在该滑轨上滑动；一减震装置，该柜本体关闭时，该减震装置与该柜本体接触。据此，当更换光阻，关闭光阻柜，光阻柜的震动减小，从而减小了因光阻的震动而导致的...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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