【技术实现步骤摘要】
一种电子束扫描测量仪的承片托盘
本技术涉及承片托盘
,尤其是涉及一种电子束扫描测量仪的承片托盘。
技术介绍
电子束扫描测量仪是一种在半导体制程中用于测量晶片上图案及其关键尺寸的仪器,其工作原理为:从电子枪照射出的高能电子束,通过线圈偏转和汇聚后,照射到试样表面,通过探测激发出的二次电子获得试样表面的图像,以清晰的表面图像为基础,高精度的测量关键尺寸。承片托盘用于在电子束扫描测量仪中将晶片从大气压环境运送到真空环境,等待交换手臂抓取,电子束扫描测量仪中的普通承片托盘由于在运送过程中的气压变化,普通承片托盘存在吸附不牢,晶片容易移位的问题。
技术实现思路
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本技术提供一种电子束扫描测量仪的承片托盘,有效的解决了普通承片托盘由于在运送过程中的气压变化,普通承片托盘存在吸附不牢,晶片容易移位的问题的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:本技术包括承片托盘本体,所述承片托盘本体的一侧设有底面,承片托盘本体上等距开设有三个沉头螺孔,底面上开设有真空通道,真空通道的一侧设有交换手臂摆动通道,承片托盘本体的中部开设有中心挖空部,真空通道的另一侧设有圆形突起,承片托盘本体两侧设有斜面,承片托盘本体的另一侧设有端面,端面的一侧开设有第一在位凹槽,端面的另一侧开设有第二在位凹槽,第一在位凹槽的一侧开设有第三在位凹槽,端面的中部开设有晶片凹槽,第二在位凹槽的一侧开设有第四在位凹槽,晶片凹槽的表面设有保护层,保护层的一侧设有吸水层,吸水层的一侧设有金属层,金属层的一侧设有耐腐蚀层,耐腐蚀层的一侧设有防静电层。优选的,所述保护层为一种特氟龙涂层 ...
【技术保护点】
1.一种电子束扫描测量仪的承片托盘,包括承片托盘本体(1),其特征在于,所述承片托盘本体(1)的一侧设有底面(2),承片托盘本体(1)上等距开设有三个沉头螺孔(3),底面(2)上开设有真空通道(4),真空通道(4)的一侧设有交换手臂摆动通道(5),承片托盘本体(1)的中部开设有中心挖空部(6),真空通道(4)的另一侧设有圆形突起(7),承片托盘本体(1)两侧设有斜面(8),承片托盘本体(1)的另一侧设有端面(9),端面(9)的一侧开设有第一在位凹槽(10),端面(9)的另一侧开设有第二在位凹槽(11),第一在位凹槽(10)的一侧开设有第三在位凹槽(12),端面(9)的中部开设有晶片凹槽(13),第二在位凹槽(11)的一侧开设有第四在位凹槽(14),晶片凹槽(13)的表面设有保护层(15),保护层(15)的一侧设有吸水层(16),吸水层(16)的一侧设有金属层(17),金属层(17)的一侧设有耐腐蚀层(18),耐腐蚀层(18)的一侧设有防静电层(19)。
【技术特征摘要】
1.一种电子束扫描测量仪的承片托盘,包括承片托盘本体(1),其特征在于,所述承片托盘本体(1)的一侧设有底面(2),承片托盘本体(1)上等距开设有三个沉头螺孔(3),底面(2)上开设有真空通道(4),真空通道(4)的一侧设有交换手臂摆动通道(5),承片托盘本体(1)的中部开设有中心挖空部(6),真空通道(4)的另一侧设有圆形突起(7),承片托盘本体(1)两侧设有斜面(8),承片托盘本体(1)的另一侧设有端面(9),端面(9)的一侧开设有第一在位凹槽(10),端面(9)的另一侧开设有第二在位凹槽(11),第一在位凹槽(10)的一侧开设有第三在位凹槽(12),端面(9)的中部开设有晶片凹槽(13),第二在位凹槽(11)的一侧开设有第四在位凹槽(14),晶片凹槽(13)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:相宇阳,
申请(专利权)人:无锡卓海科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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