止回阀制造技术

提供止回阀，在中断了向空气路径提供空气时，止回阀被可靠地关闭以使水不会流到空气驱动部。止回阀配设在机构(1)中，在混合部(32)与分支部(42)之间防止水从混合部流入到空气驱动部(47)，该机构具有：提供部(300)，其提供空气与水的混合体；混合部，其使空气与水混合；空气路径(41)，其使混合部与空气源(40)连通；水路径(37)，其使混合部与水源(38)连通；以及空气提供路(46)，其使配设在空气路径上的分支部与空气驱动部连通，该止回阀具有：竖立设置的筒(50)，其使下端与混合部连通，使上端与空气源连通；以及浮体(51)，其漂浮在从下端进入到筒内的水的水面上并进行上下动作，在浮体位于筒内的上端时能够将空气路径切断，在浮体从筒内的上端离开时能够向混合部提供空气。

Check valve

【技术实现步骤摘要】
止回阀
本专利技术涉及用于防止水的逆流的止回阀。
技术介绍
在对半导体晶片等进行加工的加工装置中，有时在装置内对加工所需的水和空气进行混合。例如，在对晶片进行磨削的磨削装置中，在使晶片从对晶片进行吸引保持的卡盘工作台脱离时，将混合了水和空气的混合流体从保持面喷出。除此之外，在对晶片进行清洗时，使水与空气进行混合并从喷嘴朝向晶片喷出。在这样的加工装置中，利用装置内的混合部使空气和水进行混合。另外，使连通混合部和空气提供源的空气路径在装置内经由分支部进行分支，使该分支后的空气路径与通过空气的提供来进行动作的气缸、空气轴等空气驱动部连接。有时由于空气提供源发生故障而中断了对空气路径提供空气，因此会使空气路径的气压降低，水提供源所提供的水因水压而进入到空气路径。而且，有时该水会到达空气驱动部而使空气驱动部损坏。为了防止这样的损坏的发生，将弹簧式的止回阀配设在比使空气路径分支到空气驱动部的分支部靠混合部侧(更靠下游侧)的位置，以使得水不会流到空气提供源侧(例如，参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2014-003186号公报但是，存在如下问题：在中断了向空气路径提供空气时，弹簧式的止回阀有时不能被适当地关闭。
技术实现思路
因此，存在如下课题：在中断了向空气路径提供空气时，止回阀被可靠地关闭以使水不会流到空气驱动部。用于解决上述课题的本专利技术是止回阀，该止回阀在机构中配置在混合部与分支部之间，防止水从该混合部流入到空气驱动部，该机构具有：提供部，其提供将空气与水混合在一起的混合流体；混合部，其对空气和水进行混合；连通路，其使该混合部与该提供部连通；空气路径，其使该混合部与空气提供源连通；水路径，其使该混合部与水提供源连通；以及空气提供路，其使该分支部和该空气驱动部连通，该分支部配设在该空气路径上，该空气驱动部通过空气的提供来进行驱动，其中，该止回阀具有：竖立设置的筒，其使下端与该混合部连通，使上端与空气提供源连通；以及浮体，其漂浮在从下端进入到该筒内的水的水面上并沿上下方向移动，在该浮体被定位在该筒内的上端之后能够将该空气路径切断，在该浮体从该筒内的上端离开之后能够向该混合部提供空气。优选为，在所述筒内的下部具有遮蔽部，该遮蔽部对从所述下端进入到该筒内的水的流速进行抑制。本专利技术的止回阀在机构中配置在混合部与分支部之间，用于防止水从混合部流入到空气驱动部，该机构具有：提供部，其提供将空气与水混合在一起的混合流体；混合部，其对空气和水进行混合；连通路，其使混合部与提供部连通；空气路径，其使混合部与空气提供源连通；水路径，其使混合部与水提供源连通；以及空气提供路，其使分支部与空气驱动部连通，该分支部配设在空气路径上，该空气驱动部通过空气的提供来进行驱动，其中，该止回阀具有：竖立设置的筒，其使下端与混合部连通，使上端与空气提供源连通；以及浮体，其漂浮在从下端进入到筒内的水的水面上并沿上下方向移动，因此，在从空气提供源到空气路径内的空气的提供因故障等中断而导致空气路径内的空气的压力低于水提供源所提供的水的压力的情况下，漂浮在进入到筒内的水的水面上的浮体将空气路径切断，从而能够防止水流到比止回阀靠空气提供源侧的空气路径中，使水不会进入到空气驱动部。另外，在该水压下降而使浮体从筒的上端离开之后，能够向混合部提供空气。由于在筒内的下部具有对从下端进入到筒内的水的流速进行抑制的遮蔽部，因此在必须使止回阀为关闭状态时，能够防止出现因进入到筒内的水流产生使浮体下降的力而在止回阀内形成流路之类的情况。附图说明图1是示意性地示出配设有止回阀的机构的一例的剖视图。图2的(A)是示出打开状态下的实施方式1的止回阀的剖视图。图2的(B)是示出关闭状态下的实施方式1的止回阀的剖视图。图3的(A)是示出打开状态下的实施方式2的止回阀的剖视图。图3的(B)是示出关闭状态下的实施方式2的止回阀的剖视图。图4的(A)是实施方式3的止回阀的分解立体图。图4的(B)是示出实施方式3的止回阀的立体图。图5是安装有直插式接头的状态的实施方式3的止回阀的立体图。图6的(A)是示出打开状态下的实施方式3的止回阀的剖视图。图6的(B)是示出关闭状态下的实施方式3的止回阀的剖视图。标号说明1：机构；30：保持工作台；300：提供部；300a：保持面；301：框体；31：连通路；32：混合部；33：分支路；330：真空阀；39：吸引源；38：水提供源；37：水路径；371：止水阀；372：节流阀；40：空气提供源；41：空气路径；42：分支部；44：空气阀；45：节流阀；46：空气提供路；47：空气驱动部；5：实施方式1的止回阀；50：筒；50c：抵接面；50d：水流入口；51：浮体；52：遮蔽部；5A：实施方式2的止回阀；50e：水流入口；54：遮蔽部；5B：实施方式3的止回阀；55：第1套筒；551：遮蔽部；56：第2套筒；58A、B：直插式接头。具体实施方式图1所示的机构1例如是配设在切削加工装置或磨削加工装置等的机构，具有本专利技术的止回阀5，其中，该切削加工装置利用未图示的切削刀具对吸引保持在保持工作台30上的被加工物进行切削而将其切开，该磨削加工装置利用未图示的磨削磨具将吸引保持在保持工作台30上的被加工物薄化至期望的厚度。图1所示的保持工作台30例如其外形为圆形状，具有：提供部300，其由多孔部件等构成，能够对半导体晶片等板状的被加工物进行吸附，并且能够将混合了空气和水的混合流体提供到保持工作台30上；以及框体301，其对提供部300进行支承。提供部300的露出面是能够对板状的被加工物进行吸引保持的保持面300a。如图1所示，例如由金属配管或者具有挠性的树脂管构成的连通路31的一端31a贯通保持工作台30的框体301的底部而与提供部300连通。连通路31的另一端31b的一侧与使空气和水进行混合的混合部32连通。从连通路31分支出分支路33，分支路33与由真空泵或喷射器等真空产生装置构成的吸引源39连通。在分支路33上配设有真空阀330，该真空阀330能够切换成使分支路33与吸引源39连通的状态和敞开在大气中的状态。在真空阀330打开的状态下，通过使吸引源39进行动作而产生的吸引力经由分支路33和连通路31而传递至提供部300的保持面300a，保持工作台30能够将被加工物吸引保持在保持面300a上。混合部32例如是具有3个连接口的腔室，连接口中的一个如上述那样与连通路31的另一端31b连接，连接口中的另一个与供水流过的水路径37的一端连接。水路径37的另一端与由泵等构成的水提供源38连接。在使混合部32与水提供源38连通的水路径37上例如配设有对水路径37的开闭进行控制的止水阀371，在水路径37内的比止水阀371靠下游侧的位置连接有用于对流入混合部32的水的量进行调整的节流阀372。混合部32的最后一个连接口与使混合部32和空气提供源40连通的空气路径41的一端41a连接。空气提供源40由压缩机和空气储存罐等构成，其连接在空气路径41的另一端41b侧，能够使被压缩的空气流入空气路径41。在空气路径41的上游侧(另一端41b侧)配设有三向管等分支部42，分支部42与一端和空气驱动部47连通的空气提供路46的另一端连接。空气驱动部47例如是通过空气的提供来进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种止回阀，该止回阀在机构中配置在混合部与分支部之间，防止水从该混合部流入到空气驱动部，该机构具有：提供部，其提供将空气与水混合在一起的混合流体；混合部，其对空气和水进行混合；连通路，其使该混合部与该提供部连通；空气路径，其使该混合部与空气提供源连通；水路径，其使该混合部与水提供源连通；以及空气提供路，其使该分支部和该空气驱动部连通，该分支部配设在该空气路径上，该空气驱动部通过空气的提供来进行驱动，其中，该止回阀具有：竖立设置的筒，其使下端与该混合部连通，使上端与空气提供源连通；以及浮体，其漂浮在从下端进入到该筒内的水的水面上并沿上下方向移动，在该浮体被定位在该筒内的上端之后能够将该空气路径切断，在该浮体从该筒内的上端离开之后能够向该混合部提供空气。

【技术特征摘要】
2018.01.17 JP 2018-0055221.一种止回阀，该止回阀在机构中配置在混合部与分支部之间，防止水从该混合部流入到空气驱动部，该机构具有：提供部，其提供将空气与水混合在一起的混合流体；混合部，其对空气和水进行混合；连通路，其使该混合部与该提供部连通；空气路径，其使该混合部与空气提供源连通；水路径，其使该混合部与水提供源连通；以及空气提供路，其使该分支部和该空气驱动部连通，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山中聪，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本,JP