一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路技术方案

本实用新型专利技术提供了一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路，包括一积液瓶，所述积液瓶上表面设置有多个管道连接孔；一光阻瓶，所述光阻瓶内设置有光阻袋，所述光阻袋内装有光阻液；一光阻瓶阀门，设置于所述光阻瓶和积液瓶的连接管道上；一光阻补液泵；一光阻补液泵阀门，设置于所述光阻补液泵和积液瓶的连接管道上；一排气管，连接所述积液瓶；一微型瓶，设置于排气管管路上，并在侧面设置通孔连接两端的排气管；一微型瓶阀门。本实用新型专利技术在排气管路上设置增加一个带有液位感知的微型瓶来定期排出倒流到排气管路上的光阻从而防止排气管路堵塞，防止积液瓶的排气管路堵塞，倒流的光阻会聚集在微型瓶中不会导致排气管路堵塞。

An Exhaust Pipeline of Photoresistive Fluid Replenishment System for Glue-coated Developer

The utility model provides an exhaust pipeline of the photoresistive fluid replenishing system of a glue-coated developer, which comprises a hydrophobic bottle with multiple pipe connecting holes on the upper surface of the hydrophobic bottle, a photoresistive bottle with a photoresistive bag inside, a photoresistive bottle valve arranged on the connecting pipeline of the photoresistive bottle and the hydrophobic bottle, and a photoresistive fluid replenishing pump. The valve of a light-resistance fluid replenishment pump is arranged on the connecting pipe of the light-resistance fluid replenishment pump and the liquid accumulation bottle; an exhaust pipe is connected with the liquid accumulation bottle; a miniature bottle is arranged on the exhaust pipeline, and a through hole is arranged on the side to connect the exhaust pipes at both ends; and a miniature bottle valve is arranged. The utility model adds a miniature bottle with liquid level sensing on the exhaust pipeline to regularly discharge the light resistance flowing back to the exhaust pipeline so as to prevent the blockage of the exhaust pipeline and the blockage of the exhaust pipeline of the liquid accumulation bottle. The light resistance of the backflow will gather in the miniature bottle and will not cause the blockage of the exhaust pipeline.

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路
本技术涉及一种半导体设备，尤其涉及一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路。
技术介绍
现有的涂胶显影机光阻补液系统管路上设置有积液瓶和排气管路，现有的光阻补液时阀门打开，在光阻瓶中的光阻袋还有光阻补液时系统正常运行，当光阻袋中的光阻补液用完后，由于整个光阻补液系统是密闭环境，因此光阻袋逐渐的缩小，最后光阻袋会将补液的管路的管口阻塞，再继续补液时光阻补液泵就会抽不动导致报警，现有的机器设计是在积液瓶上接排气管路，光阻补液泵报警了后，打开积液瓶上的排气管路的阀门使整个补液系统气压重新正常，但是在打开阀门后，排气管路中的光阻液不可避免的要与空气发生接触，而光阻液在接触到空气后容易变硬变干，短时间内排气管路可以正常使用，时间一长，硬化的光阻液积累多了，就容易在阀门处累积并堵塞住阀门通孔。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能有效防止排气管中的固化的光阻液阻塞住排气管的涂胶显影机光阻补液系统的排气管路。本技术为解决上述技术问题采用以下技术方案：一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路，包括一积液瓶，所述积液瓶上表面设置有多个管道连接孔；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路，其特征在于：包括一积液瓶，所述积液瓶上表面设置有多个管道连接孔；一光阻瓶，所述光阻瓶内设置有光阻袋，所述光阻袋内装有光阻液；所述光阻瓶管道连接所述积液瓶；一光阻瓶阀门，设置于所述光阻瓶和积液瓶的连接管道上；一光阻补液泵，水平设置，所述光阻补液泵管道连接所述积液瓶；一光阻补液泵阀门，设置于所述光阻补液泵和积液瓶的连接管道上；一排气管，连接所述积液瓶；一微型瓶，设置于排气管管路上，并在侧面设置通孔连接两端的排气管；一微型瓶阀门，设置于积液瓶和微型瓶之间的排气管上。

【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路，其特征在于：包括一积液瓶，所述积液瓶上表面设置有多个管道连接孔；一光阻瓶，所述光阻瓶内设置有光阻袋，所述光阻袋内装有光阻液；所述光阻瓶管道连接所述积液瓶；一光阻瓶阀门，设置于所述光阻瓶和积液瓶的连接管道上；一光阻补液泵，水平设置，所述光阻补液泵管道连接所述积液瓶；一光阻补液泵阀门，设置于所述光阻补液泵和积液瓶的连接管道上；一排气管，连接所述积液瓶；一微型瓶，设置于排气管管路上，并在侧面设置通孔连接两端的排气管；一微型瓶阀门，设置于积液瓶和微型瓶之间的排气管上。2.根据权利要求1所述的涂胶显影机光阻补液系统的排气管路，其特征在于：还包括一光阻喷头，管道连接所述光...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄斌，程奥博，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31