温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路，包括一积液瓶，所述积液瓶上表面设置有多个管道连接孔；一光阻瓶，所述光阻瓶内设置有光阻袋，所述光阻袋内装有光阻液；一光阻瓶阀门，设置于所述光阻瓶和积液瓶的连接管道上；一光阻补液泵；一光阻补...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。