The utility model belongs to the technical field of single crystal furnace, in particular to a heat dissipation mechanism of quasi-single crystal ingot furnace body. The heat dissipation mechanism of the quasi-single crystal ingot furnace body includes the lower furnace body, the support seat, the guide rail seat and the air door mechanism. The middle part of the lower furnace body is provided with a support axle sleeve, the top part of the support axle sleeve is provided with a plurality of guide rails through the connecting arm, the guide rail seat is provided with a sliding trolley, the air door mechanism includes a bottom plate and a hot one, and the hot one is located on the water cooling plate. The first and second dampers are driven by connecting rods and corresponding first and second dampers respectively. The utility model has the advantages of simple structure, convenient use, avoiding stuck phenomenon, guaranteeing heat dissipation effect, controllable water cooling and heat exchange at the bottom, auxiliary heating at the bottom of the melting stage, vertical heat dissipation downward at the long crystal stage, effective protection of the bottom seed crystal, and guaranteeing the safety of the furnace.
【技术实现步骤摘要】
一种准单晶铸锭炉炉体散热机构
本技术属于单晶炉
,具体涉及一种准单晶铸锭炉炉体散热机构。
技术介绍
准单晶铸锭炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,是基于准单晶铸锭炉的工艺生长无错位单晶的设备,准单晶(MonoLike)是基于多晶铸锭的工艺,在长晶时通过部分使用单晶籽晶,获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片,这种通过铸锭的方式形成单晶硅的技术,其功耗只比普通多晶硅多,所生产的单晶硅的质量接近直拉单晶硅,简单地说,这种技术就是用多晶硅的成本,生产单晶硅的技术,当下量产的准单晶技术大部分为有籽晶铸锭,这种技术先把籽晶、硅料掺杂元素放置在坩埚中,籽晶一般位于坩埚底部,再加热融化硅料,并保持籽晶不被完全融掉,最后控制降温,调节固液相的温度梯度,确保单晶从籽晶位置开始生长,这种技术的难点在于确保在熔化硅料阶段,籽晶不被完全融化,还有控制好温度梯度的分布,这个是提高晶体生长速度和晶体质量的关键,为了满足准单晶对于温度梯度的工艺要求,需要在炉内达到1450摄氏度的情况下打开风门,来进行逐渐降温的过程,传统的设计是将炉体钢笼提升实现炉体散热,此散热方式无法满足准单晶对于温度梯度的要求,不利于单晶生长,影响单晶品质。
技术实现思路
本技术为了弥补现有技术的缺陷,提供了一种准单晶铸锭炉炉体散热机构。本技术是通过如下技术方案实现的:一种准单晶铸锭炉炉体散热机构,包括下炉体、支撑座、导轨座和风门机构,所述下炉体内中间部位设有支撑轴套,支撑轴套顶部通过连接臂设有多个导轨座,导轨座上设有导轨,导轨上设有滑动小车,所述风门机构包括底板和热门,底板 ...
【技术保护点】
1.一种准单晶铸锭炉炉体散热机构,包括下炉体、上炉体、钢笼、支撑座、导轨座和风门机构,其特征在于,所述下炉体内中间部位设有支撑轴套,支撑轴套顶部通过连接臂设有多个导轨座,导轨座上设有导轨,导轨上设有滑动小车,所述风门机构包括底板和热门,底板位于水冷盘上,热门包括第一风门和第二风门,各滑动小车分别通过连接杆与对应的第一风门和第二风门进行传动,所述上炉体内设有钢笼,钢笼对应下炉体内的风门机构,所述钢笼顶部设有多个出气孔,上炉体上对应各出气孔设有多个排气孔,所述上炉体一侧设有真空抽气孔,上炉体顶部设有进气管,进气管延伸至钢笼内。
【技术特征摘要】
1.一种准单晶铸锭炉炉体散热机构,包括下炉体、上炉体、钢笼、支撑座、导轨座和风门机构,其特征在于,所述下炉体内中间部位设有支撑轴套,支撑轴套顶部通过连接臂设有多个导轨座,导轨座上设有导轨,导轨上设有滑动小车,所述风门机构包括底板和热门,底板位于水冷盘上,热门包括第一风门和第二风门,各滑动小车分别通过连接杆与对应的第一风门和第二风门进行传动,所述上炉体内设有钢笼,钢笼对应下炉体内的风门机构,所述钢笼顶部设有多个出气孔,上炉体上对应各出气孔设有多个排气孔,所述上炉体一侧设有真空抽气孔,上炉体顶部设有进气管,进气管延伸至钢笼内。2.根据权利要求1所述的一种准单晶铸锭炉炉体散热机构,其特征在于:所述底板上位于中间部位设有两个第二风门,底板上位于中间部位的两第二风门两侧对称设有第一风门,各风门底部位于底板的一侧均设有拉滑块,拉滑块与底板之间位于底板上设有滑轨,拉滑块在底板上的滑轨上进行滑动,连接杆贯穿各拉滑块与对应的风门连接处设有拉滑块固定板,底板四角为圆弧形缺口角。3.根据权利要求1所述的一种准单晶铸锭炉炉体散热机构,其特征在于:所述支撑轴套内设有传动轴,传动轴位于各导轨的一端设有转盘,转盘上对应各导轨上的滑动小车设有拉杆,通过下炉体底部的驱动轴与驱动设备连接带动传动轴进行转动,使传动轴带动转盘通过拉...
【专利技术属性】
技术研发人员:华焱,
申请(专利权)人:常州四杰机械科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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