一种自动剪籽晶的炉体制造技术

技术编号:36254823 阅读:54 留言:0更新日期:2023-01-07 09:49
本实用新型专利技术涉及单晶硅制造设备技术领域,尤其是一种自动剪籽晶的炉体,副炉室和剪断装置,所述剪断装置连接在所述副炉室的外表面上,所述剪断装置包括驱动装置、连接座和剪刀,所述连接座和剪刀之间通过定位装置连接,本申请在副炉室外壁上安装了可以调节轴向和径向方向的自动剪刀,实现了籽晶的自动剪断,在使用大型单晶炉时,无需人工手持剪刀进行登高作业,消减了操作人员所需面临的风险,单晶硅生产线的安全得到了提升。产线的安全得到了提升。产线的安全得到了提升。

【技术实现步骤摘要】
一种自动剪籽晶的炉体


[0001]本技术涉及单晶硅制造设备
,尤其是一种自动剪籽晶的炉体。

技术介绍

[0002]单晶硅制造完成后,需要将单晶硅移除单晶炉后进行转运。
[0003]现有的常规操作流程如下:
[0004]1、闸板关闭,移开副炉室;
[0005]2、提拉头下放成品,直至成品完全离开副炉室,且籽晶露出;
[0006]3、人工手持剪刀将籽晶剪断;
[0007]4、成品脱离单晶炉,转运成品。
[0008]人工剪断籽晶的步骤只适用于小型单晶炉,在大型单晶炉上的可操作性较低,且操作人员需要承担极大的安全风险。
[0009]如何设计一种可以自行剪断籽晶的设备成为了使用大型单晶炉前亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0010]本技术的目的是:克服现有技术中的不足,提供一种可以自动剪断籽晶的炉体结构。
[0011]为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案如下:
[0012]一种自动剪籽晶的炉体,副炉室和剪断装置,所述剪断装置连接在所述副炉室的外表面上,所述剪断装置包括驱动装置、连接座和剪刀,所述连接座和剪刀之间通过定位装置连接。
[0013]进一步的,所述定位装置包括高度调节装置和径向调节装置。
[0014]进一步的,所述连接座包括炉室连接板和水平板,所述炉室连接板垂直连接在所述水平板上。
[0015]进一步的,所述径向调节装置连接在所述高度调节装置与所述连接座之间。
[0016]进一步的,所述径向调节装置包括气缸和导向装置,所述气缸和导向装置的端部同时与所述剪断装置的连接座连接。
[0017]进一步的,所述导向装置包括直线滑杆和直线轴承,所述直线滑杆的尾部套接有限位套,所述连接座包括滑动座一和滑动座二,所述直线滑杆的前端与所述滑动座一连接,所述驱动装置为气缸,所述气缸的活塞杆与所述滑动座二连接,所述滑动座一与滑动座二之间连接有弹簧,所述弹簧的最大弹力大于所述直线轴承与直线滑杆之间的摩擦力。
[0018]进一步的,所述剪刀包括两片刀片,所述刀片包括摇柄和孔,两片刀片的孔内插有同一根销轴,所述销轴与所述滑动座一连接,两片刀片的摇柄分别从左右两侧伸出与所述滑动座二连接。
[0019]进一步的,所述高度调节装置包括丝杆升降机,所述丝杆升降机的连接端朝下,所
述丝杆升降机的连接端连接有横板,所述径向调节装置连接在所述横板上。
[0020]进一步的,所述丝杆升降机的数量为二,两个丝杆升降机之间通过传动轴传递动力,所述横板同时与两个丝杆升降机连接。
[0021]进一步的,当所述丝杆升降机的连接端位于最高处时,所述剪断装置的最低处高于所述副炉室下端的法兰盘的上表面。
[0022]采用本技术的技术方案的有益效果是:
[0023]1、本申请在副炉室外壁上安装了可以调节轴向和径向方向的自动剪刀,实现了籽晶的自动剪断,在使用大型单晶炉时,无需人工手持剪刀进行登高作业,消减了操作人员所需面临的风险,单晶硅生产线的安全得到了提升。
[0024]2、剪刀与径向调节装置连接而不是与高度调节装置连接并且由于弹簧的最大弹力大于直线轴承与直线滑杆的摩擦力的设计,使得本申请只有在限位套与直线轴承接触后,弹簧才会被压缩,即剪刀才会工作,这就使得气缸即可以作为径向调节装置的动力源也可以作为剪刀的动力源,节省了一套动力源,使得本申请的结构更加简单。
[0025]3、由于籽晶位于副炉室的轴线上,考虑到剪刀伸入的易控性,剪刀伸入的最优路线即是沿着径向伸入,这就使得剪刀的伸入机构必须处于径向上,再考虑到横板的升降稳定向,横板的拉升着力点位于连接板的两侧较优。而本申请选用两套通过传动轴联动丝杠升降机来拉升横板,不经能够保证横板升降的稳定性,也能确保高度调节机构的动力源数量最小,使得本申请的结构更加简单且可靠。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。其中
[0027]图1为本申请的斜视图;
[0028]图2为本申请另一个角度的斜视图;
[0029]图3为图2中画圈处的放大图;
[0030]图4为本申请在工作时的示意图;
[0031]图5为本申请的仰视图。
[0032]11、炉室连接板;12、水平板;21、气动马达;22、丝杆升降机;23、传动轴;24、横板;31、气缸;32、直线滑杆;33、直线轴承;34、限位套;35、连接板;41、滑动座一;42、滑动座二;43、弹簧;44、刀片;45、销轴;46、销;51、副炉室主体;52、法兰盘;6、籽晶。
具体实施方式
[0033]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本技术的基本结构,因此其仅显示与本技术有关的构成。本技术利用结构示意图等进行详细描述,示意图只是实例,其在此不应限制本技术保护的范围。此外,在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间。
[0034]请参阅图1

图5,一种自动剪籽晶的炉体,副炉室和剪断装置,所述剪断装置连接
在所述副炉室的外表面上,所述剪断装置包括驱动装置、连接座和剪刀,所述连接座和剪刀之间通过定位装置连接。
[0035]本申请在副炉室外壁上安装了可以调节轴向和径向方向的自动剪刀,实现了籽晶6的自动剪断,在使用大型单晶炉时,无需人工手持剪刀进行登高作业,消减了操作人员所需面临的风险,单晶硅生产线的安全得到了提升。
[0036]请参阅图1

图2,定位装置包括高度调节装置和径向调节装置。
[0037]设置高度调节装置和径向调节装置使得剪断装置在不工作的时候远离法兰,避免对副炉室的移动造成影响。
[0038]请参阅图1,连接座包括炉室连接板11和水平板12,所述炉室连接板11垂直连接在所述水平板12上。
[0039]优选的,所述炉室连接板11为与副炉室主体51外壁形状相匹配的弯板,以获得最大的连接面积。
[0040]请参阅图1

图2,径向调节装置连接在所述高度调节装置与所述连接座之间。
[0041]只有径向调节装置与所述连接座连接,才有可能使得径向调节装置的动力源也能作为剪断装置的动力源。
[0042]请参阅图1

图2,径向调节装置包括气缸31和导向装置,所述气缸31和导向装置的端部同时与所述剪断装置的连接座连接。所述气缸31与所述导向装置通过连接板35与所述横板24连接。
[0043]请参阅图1

图2,导向装置包括直线滑杆32和直线轴承33,所述直线滑杆32的尾部套接本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动剪籽晶的炉体,其特征在于:副炉室和剪断装置,所述剪断装置连接在所述副炉室的外表面上,所述剪断装置包括驱动装置、连接座和剪刀,所述连接座和剪刀之间通过定位装置连接。2.根据权利要求1所述的一种自动剪籽晶的炉体,其特征在于:所述定位装置包括高度调节装置和径向调节装置。3.根据权利要求2所述的一种自动剪籽晶的炉体,其特征在于:所述连接座包括炉室连接板和水平板,所述炉室连接板垂直连接在所述水平板上。4.根据权利要求2所述的一种自动剪籽晶的炉体,其特征在于:所述径向调节装置连接在所述高度调节装置与所述连接座之间。5.根据权利要求4所述的一种自动剪籽晶的炉体,其特征在于:所述径向调节装置包括气缸和导向装置,所述气缸和导向装置的端部同时与所述剪断装置的连接座连接。6.根据权利要求5所述的一种自动剪籽晶的炉体,其特征在于:所述导向装置包括直线滑杆和直线轴承,所述直线滑杆的尾部套接有限位套,所述连接座包括滑动座一和滑动座二,所述直线滑杆的前端与所述滑动座一连接,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:华焱刘森李东
申请(专利权)人:常州四杰机械科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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