一种水冷屏水道制造技术

技术编号:35480601 阅读:24 留言:0更新日期:2022-11-05 16:31
本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种水冷屏水道,包括水冷内屏和水冷外屏,水冷内屏嵌设在水冷外屏内,水冷内屏的底部和水冷外屏的底部连接有密封板,水冷内屏的外侧设置有隔水板组,隔水板组的外圈抵住水冷外屏的内侧,水冷内屏上还设置有第一竖隔板、第二竖隔板和第三竖隔板,第一竖隔板、第二竖隔板和第三竖隔板均垂直于隔水板组连接;水冷内屏还设置有进水口和出水口,进水口设置在第一竖隔板和第二竖隔板之间,出水口设置在第三竖隔板旁。本实用新型专利技术通过隔水板组、第一竖隔板、第二竖隔板和第三竖隔板限定了水冷屏内部的冷却液流动空间,在配合进水口和出水口对冷却液进行流通方向设定,以提高冷却效果。以提高冷却效果。以提高冷却效果。

【技术实现步骤摘要】
一种水冷屏水道


[0001]本技术涉及单晶炉
,具体涉及一种水冷屏水道。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]现有技术中,各厂家所使用的水冷屏均采用中空金属腔体,内部通入冷却水。但是对于中空的腔体内部并没有进行设计,仅接入进水管和出水管,通过冷却液在内部流通带走热量。内部并没有设定冷却液的流向以及水冷屏的固定结构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术的缺点,而提出了一种水冷屏水道。
[0005]本技术提供了如下的技术方案:
[0006]一种水冷屏水道,包括水冷内屏和水冷外屏,所述水冷内屏嵌设在所述水冷外屏内,所述水冷内屏的底部和所述水冷外屏的底部连接有密封板,所述水冷内屏的外侧设置有隔水板组,所述隔水板组的外圈抵住所述水冷外屏的内侧,所述水冷内屏上还设置有第一竖隔板、第二竖隔板和第三竖隔板,所述第一竖隔板、所述第二竖隔板和所述第三竖隔板均垂直于所述隔水板组连接;
[0007]所述水冷内屏还设置有进水口和出水口,所述进水口设置在所述第一竖隔板和所述第二竖隔板之间,所述出水口设置在所述第三竖隔板旁。
[0008]优选的,所述隔水板组设置有九个隔水板,所述隔水板为C形板,所述隔水板等间距设置在所述水冷内屏的外侧。
[0009]优选的,顶部所述隔水板一端与第三竖隔板的底端连接,且顶部所述隔水板另一端靠近所述第一竖隔板,其余所述隔水板分为两组,一组所述隔水板与所述第一竖隔板连接,另一组所述隔水板与所述第二竖隔板连接,底部所述隔水板的一端与所述第二竖隔板的底端连接。
[0010]优选的,顶部所述隔水板的壁厚为22.168mm,底部所述隔水板的壁厚为29.405mm,其余所述隔水板的壁厚为33.908mm,相邻所述隔水板间隔为34mm。
[0011]优选的,所述水冷内屏为一体化的两段式结构,上段所述水冷内屏为圆台结构,且上段所述水冷内屏设置有圆台型的通孔,下段所述水冷内屏为圆柱筒结构,下段所述水冷内屏的顶部与上段所述水冷内屏的底部匹配,上段所述水冷内屏的侧壁倾角为76
°
;所述水冷外屏为一体化的两段式结构,下段所述水冷外屏为圆台结构,且下段所述水冷外屏设置有圆台型的通孔,上段所述水冷外屏为圆柱筒结构,上段所述水冷外屏的底部与下段所述水冷外屏的顶部匹配,下段所述水冷外屏的侧壁倾角为76
°

[0012]优选的,所述第二竖隔板和第三竖隔板对称设置在所述水冷内屏外侧,所述第一竖隔板的长度大于所述第二竖隔板的长度。
[0013]优选的,所述进水口连接有进水管,所述出水口连接有出水管。
[0014]优选的,所述水冷内屏的底部和所述水冷外屏的底部连接有密封板,所述密封板为环形板结构且剖面为U型,所述密封板设置有固定结构,所述密封板与所述水冷屏的接触面均设有密封圈。
[0015]优选的,所述固定结构包括安装外壳,所述安装外壳内设置有调节齿轮,所述调节齿轮连接有齿杆,所述齿杆的外端连接有固定凸块,所述水冷内屏的外侧和所述水冷外屏的内侧均设置有固定凹槽,所述固定凸块与所述固定凹槽匹配。
[0016]优选的,密封板和所述调节齿轮上均设置有固定螺纹孔,且所述固定螺纹孔大小匹配,所述固定螺纹孔内设置有固定螺栓。
[0017]本技术的有益效果是:
[0018]通过隔水板组、第一竖隔板、第二竖隔板和第三竖隔板限定了水冷屏内部的冷却液流动空间,在配合进水口和出水口对冷却液进行流通方向设定,以提高冷却效果;
[0019]通过底部密封板连接水冷内屏和水冷外屏,提高了对水冷屏底部的密封效果,同时通过固定结构使得水冷屏可以拆卸替换。
附图说明
[0020]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:
[0021]图1是本技术结构示意图;
[0022]图2是水冷内屏结构示意图;
[0023]图3是隔水板结构示意图;
[0024]图4是顶部隔水板结构示意图;
[0025]图中标记为:1

水冷外屏,2

水冷内屏,3

隔水板组,4

第一竖隔板,5

第二竖隔板,6

第三竖隔板,7

冷却水道,图中箭头为冷却液流动方向。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0027]根据图1

图4所示,一种水冷屏水道包括水冷内屏2和水冷外屏1,水冷内屏2嵌设在水冷外屏1内,水冷内屏2的底部和水冷外屏1的底部连接有密封板,水冷内屏2的外侧设置有隔水板组3,隔水板组3的外圈抵住水冷外屏1的内侧,水冷内屏2上还设置有第一竖隔板4、第二竖隔板5和第三竖隔板6,第一竖隔板4、第二竖隔板5和第三竖隔板6均垂直于隔水板组3连接;
[0028]水冷内屏2还设置有进水口和出水口,进水口设置在第一竖隔板和第二竖隔板之间,出水口设置在第三竖隔板旁。进水口连接有进水管,出水口连接有出水管。
[0029]通过第一竖隔板4、第二竖隔板5、第三竖隔板6和隔水班组3形成冷却液流通的冷却水道7,冷却液从第一竖隔板4和第二竖隔板5之间的进水口流入,竖直相下达到水冷屏的底部,并从底部隔水板与第一隔水板4之间的缺口处向上流通,且冷却液从每层冷却水道7
的缺口向上流动,直至到达顶部冷却水道7。
[0030]当冷却液达到顶部冷却水道7,从第三竖隔板6旁的出水口流出,通过逐层向上的流动,充分与水冷内屏2接触并吸收热量。
[0031]隔水板组3设置有九个隔水板,隔水板为C形板,隔水板等间距设置在水冷内屏2的外侧。
[0032]顶部隔水板一端与第三竖隔板6的底端连接,且顶部隔水板另一端靠近第一竖隔板4,其余隔水板分为两组,一组隔水板与第一竖隔板4连接,另一组隔水板与第二竖隔板5连接,底部隔水板的一端与第二竖隔板5的底端连接。
[0033]顶部隔水板的壁厚为22.168mm,底部隔水板的壁厚为29.405mm,其余隔水板的壁厚为33.908mm,相邻隔水板间隔为34mm。
[0034]水冷内屏2为一体化的两段式结构,上段水冷内屏2为圆台结构,且上段水冷内屏2设置有圆台型的通孔,下段水冷内屏2为圆柱筒结构,下段水冷内屏2的顶部与上段水冷内屏2的底部匹配,上段水冷内屏2的侧壁倾角为76
°
;水冷外屏1为一体化的两段式结构,下段水冷外屏1为圆台结构,且下段水冷外屏1设置有圆台型的通孔本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水冷屏水道,其特征在于,包括水冷内屏和水冷外屏,所述水冷内屏嵌设在所述水冷外屏内,所述水冷内屏的底部和所述水冷外屏的底部连接有密封板,所述水冷内屏的外侧设置有隔水板组,所述隔水板组的外圈抵住所述水冷外屏的内侧,所述水冷内屏上还设置有第一竖隔板、第二竖隔板和第三竖隔板,所述第一竖隔板、所述第二竖隔板和所述第三竖隔板均垂直于所述隔水板组连接;所述水冷内屏还设置有进水口和出水口,所述进水口设置在所述第一竖隔板和所述第二竖隔板之间,所述出水口设置在所述第三竖隔板旁。2.根据权利要求1所述的一种水冷屏水道,其特征在于,所述隔水板组设置有九个隔水板,所述隔水板为C形板,所述隔水板等间距设置在所述水冷内屏的外侧。3.根据权利要求2所述的一种水冷屏水道,其特征在于,顶部所述隔水板一端与第三竖隔板的底端连接,且顶部所述隔水板另一端靠近所述第一竖隔板,其余所述隔水板分为两组,一组所述隔水板与所述第一竖隔板连接,另一组所述隔水板与所述第二竖隔板连接,底部所述隔水板的一端与所述第二竖隔板的底端连接。4.根据权利要求3所述的一种水冷屏水道,其特征在于,顶部所述隔水板的壁厚为22.168mm,底部所述隔水板的壁厚为29.405mm,其余所述隔水板的壁厚为33.908mm,相邻所述隔水板间隔为34mm。5.根据权利要求1所述的一种水冷屏水道,其特征在于,所述水冷内屏为一体化的两段式结构,上段所述水冷内屏为圆台结构,且上段所述水冷内屏设置有圆台型的通孔,下段所述水...

【专利技术属性】
技术研发人员:华焱刘森李东
申请(专利权)人:常州四杰机械科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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