一种炉盖隔水条制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉设备技术领域，尤其是一种炉盖隔水条，包括炉盖内封板，所述炉盖内封板为倒扣的碗状，所述炉盖内封板中部设置有第一安装孔，所述炉盖内封板上设置有隔水条组，所述隔水条组焊接在炉盖内封板的表面，所述隔水条组包括第一隔水条，所述第一隔水条一端与第一安装孔连接，所述第一隔水条另一端依次连接第二安装孔、第三安装孔、第四安装孔、第五安装孔以及第六安装孔，所述炉盖内封板边缘设置有定位阶梯。通过设置隔水条组，隔水条组形成水道，冷却水通过水管进入水道，对炉盖进行冷却散热，不会烫伤操作者，降低操作人员的安全隐患。安全隐患。安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
一种炉盖隔水条


[0001]本技术涉及单晶炉设备
，尤其是一种炉盖隔水条。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉由提拉头、副室、炉盖、炉筒、下炉筒、底座机架、坩埚下传动装置、分水器已经水路布置、氩气管道布置、真空泵以及真空除尘装置、电源以及电控柜构成。
[0003]单晶炉炉盖包括外封头和内封头，外封头设置在内封头外侧，外封头和内封头之间设置有水道，单晶炉的工作环境是高温高压的，散热不及时会有安全隐患，严重的甚至可能产生爆炸，现有炉盖中的水道设计层数太少，散热效率不高且操作人员在进行观察操作时极易被观察视窗烫伤，给操作人员带来了很大的安全隐患。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是：提供一种散热效果好、降低操作人员安全隐患的一种炉盖隔水条。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案如下：包括炉盖内封板，所述炉盖内封板为倒扣的碗状，所述炉盖内封板中部设置有第一安装孔，所述炉盖内封板上设置有隔水条组，所述隔水条组焊接在炉盖内封板的表面，所述隔水条组包括第一隔水条，所述第一隔水条一端与第一安装孔连接，所述第一隔水条另一端依次连接第二安装孔、第三安装孔、第四安装孔、第五安装孔以及第六安装孔，所述炉盖内封板边缘设置有定位阶梯。通过设置隔水条组，隔水条组形成水道，冷却水通过水管进入水道，对炉盖进行冷却散热，避免单晶炉内部温度过高产生安全隐患，同时避免安装在炉盖内的部件应温度过高导致的玻璃破裂的问题，保护炉盖内的部件，通过设置定位阶梯式炉盖内封板方便与外盖连接密封，优选的定位阶梯上还可以设置定位孔用于固定炉盖内封板与外盖，防止水流窜出。
[0006]进一步的，所述第一安装孔为颈部内筒安装口，所述第二安装孔为加料提升口，所述第三安装孔为观察窗口，所述第四安装孔为红外线检测装置，所述第五安装孔为水冷屏提升口，所述第六安装孔为相机安装口。
[0007]较佳的，所述观察窗口的形状为长椭圆形，所述观察窗口设置于所述颈部内筒安装口下方，所述观察窗口为双层结构，所述观察窗内层为石英玻璃，所述观察窗口外层为镀金玻璃。镀金玻璃对热辐射和红外线的反射能力强，确保单晶炉内的高温不会对观察人员产生损害。
[0008]进一步的，所述红外线检测装置设置于水冷屏提升口与观察窗口之间，所述红外线检测装置为红外测温仪。实时监测炉体内晶体生长面的温度和炉体内的温度，使生长出的单晶体质量更高。
[0009]较佳的，所述相机安装口设置于红外线检测装置一侧，所述相机安装口内设置有
CCD相机。通过CCD相机拍出的图片测量出的炉体液面距离像素值和单晶棒直径像素值，来换算实际的液位及单晶棒直径，实现单晶硅生产过程的自动化、智能化控制，提高单晶棒的等径生成质量，以提升半导体行业的生产效率。
[0010]进一步的，所述第一隔水条呈螺旋形分布在炉盖内封板的圆周上，所述第一隔水条为不锈钢板，所述第一隔水条上设置有扰流板。通过将第一隔水条设置成螺旋型，延长冷却水流流通时间，增强散热效果，通过设置扰流板减缓冷却水流速，提高冷却效果。
[0011]较佳的，所述水冷屏提升口外侧的第一隔水条设置有缺口，所述缺口通过第二隔水条连接。
[0012]进一步的，所述第一隔水条与第二隔水条垂直于炉盖内封板的表面。防止水流溢出，便于和外盖体连接。
[0013]较佳的，所述定位阶梯上还设置有rc接头，相邻所述rc接头相对于炉盖内封板的圆心间隔4.5
°
。通过设置rc接头连接进水管和出水管进行水冷散热，有效降低炉体内部温度，防止内部部件损坏。
[0014]进一步，所述接头连接有进水管，所述进水管与第一隔水条连通，所述远离进水管一侧设置有出水管，所述进水管及出水管外端与供水设备连通。
[0015]采用本技术的技术方案的有益效果是：通过设置隔水条组，隔水条组形成水道，冷却水通过水管进入水道，对炉盖进行冷却散热，避免单晶炉内部温度过高产生安全隐患，同时降低炉盖内部件的温度，使得操作者不会被烫伤，降低操作人员的安全隐患。
[0016]通过将第一隔水条设置成螺旋型，延长冷却水流流通时间，增强散热效果，通过设置扰流板减缓冷却水流速，提高冷却效果。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
[0018]图1为本技术所述的一种炉盖隔水条的正面结构示意图；
[0019]图2为本技术所述的一种炉盖隔水条的三维结构示意图；
[0020]图3为本技术所述的一种炉盖隔水条的俯视图。
具体实施方式
[0021]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。本技术利用结构示意图等进行详细描述，示意图只是实例，其在此不应限制本技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间。
[0022]参照图1~图3，本技术公开了一种炉盖隔水条，包括：炉盖内封板100，所述炉盖内封板100为倒扣的碗状，所述炉盖内封板100中部设置有第一安装孔101，所述炉盖内封板100上设置有隔水条组200，所述隔水条组200焊接在炉盖内封板100的表面，所述隔水条组200包括第一隔水条201，所述第一隔水条201一端与第一安装孔101连接，所述第一隔水
条201另一端依次连接第二安装孔102、第三安装孔103、第四安装孔104、第五安装孔105以及第六安装孔106，所述炉盖内封板100边缘设置有定位阶梯300。通过设置隔水条组200，隔水条组200形成水道，冷却水通过水管进入水道，对炉盖进行冷却散热，避免单晶炉内部温度过高产生安全隐患，同时降低炉盖内部件的温度，使得操作者不会被烫伤，降低操作人员的安全隐患，避免安装在炉盖内的部件应温度过高导致的玻璃破裂的问题，保护炉盖内的部件，通过设置定位阶梯300便于炉盖内封板100方便与外盖连接密封，优选的定位阶梯300上还可以设置定位孔用于固定炉盖内封板100和外盖，防止水流窜出。
[0023]进一步，所述第一安装孔101为颈部内筒安装口101a，所述第二安装孔102为加料提升口102a，所述第三安装孔103为观察窗口103a，所述第四安装孔104为红外线检测装置104a，所述第五安装孔105为水冷屏提升口105a，所述第六安装孔106为相机安装口106a。
[0024]较佳的，所述观察窗口103a的形状为长椭圆形，所述观察窗口103a设置于所述颈部内筒安装口101a下方，所述观察窗口103a为双层结构，所述观察窗103a内层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种炉盖隔水条，其特征在于：包括炉盖内封板(100)，所述炉盖内封板(100)为倒扣的碗状，所述炉盖内封板(100)中部设置有第一安装孔(101)，所述炉盖内封板(100)上设置有隔水条组(200)，所述隔水条组(200)焊接在炉盖内封板(100)的表面，所述隔水条组(200)包括第一隔水条(201)，所述第一隔水条(201)一端与第一安装孔(101)连接，所述第一隔水条(201)另一端依次连接第二安装孔(102)、第三安装孔(103)、第四安装孔(104)、第五安装孔(105)以及第六安装孔(106)，所述炉盖内封板(100)边缘设置有定位阶梯(300)，所述第一安装孔(101)为颈部内筒安装口(101a)，所述第二安装孔(102)为加料提升口(102a)，所述第三安装孔(103)为观察窗口(103a)，所述第四安装孔(104)为红外线检测装置(104a)，所述第五安装孔(105)为水冷屏提升口(105a)，所述第六安装孔(106)为相机安装口(106a)，所述观察窗口(103a)的形状为长椭圆形，所述观察窗口(103a)设置于所述颈部内筒安装口(101a)下方，所述观察窗口(103a)为双层结构，所述观察窗口(103a)内层为石英玻璃，所述观察窗口(103a)外层为镀金玻璃，所述第一隔水条(201)呈螺旋形分布在炉盖内封板(100...

【专利技术属性】
技术研发人员：华焱，刘森，李东，
申请(专利权)人：常州四杰机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：